Etude et conception de structures de filtrage actif radiofréquence ...

Chapitre IV : Filtre actif LC compensé du premier ordre
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)
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2.8
2.6
2.4
2.2
2
1.8
1.6
1.4
1.2
1 1.5 2 2.5 3 3.5 4 4.5 5
Fréquence (GHz)
Figure IV-11 : Epaisseur de peau δ par rapport à la fréquence
Dans le plan parallèle à la surface des inductances, ces valeurs sont non négligeables
car les largeurs de lignes D utilisées varient de 8 à 15 µm (pourcentage de pénétration par
rapport à la largeur est de 10%-35%). Dans le plan perpendiculaire à la surface, l’épaisseur du
métal ne dépasse pas 3µm. Cette épaisseur est très proche de δ (pourcentage de pénétration
par rapport à l’épaisseur est de 41% - 92%). Rappelons que pour minimiser l’effet de peau, les
épaisseurs du métal doivent être au moins deux fois δ à une fréquence donnée.
En plus de cet effet de peau, le champ magnétique généré par les lignes adjacentes
change encore la distribution du courant. On observe donc une densité de courant plus
importante aux extrémités des lignes métalliques comme illustré sur la figure IV-10 (c) qui
correspond à l’effet de proximité. Cet effet a un impact important sur l’augmentation de la
résistance métallique aux fréquences qui dépassent 6 GHz. En revanche, pour les fréquences
inférieures comme 2 GHz, les lignes de l’inductance doivent être très proches pour renforcer
les couplages et augmenter ainsi la valeur de l’inductance globale comme illustré dans le
paragraphe suivant. On définit S la séparation entre les lignes métalliques de l’inductance.
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