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Untitled - Materials Science Institute of Madrid - Consejo Superior de ...

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7. Láminas <strong>de</strong>lgadas ferro-piezo-eléctricas<br />

obtenidas por ablación con láser<br />

El <strong>de</strong>pósito <strong>de</strong> láminas ferro-piezo-eléctricas se realiza<br />

mediante la técnica <strong>de</strong> ablación con láser (KrF) pulsado.<br />

La actividad se dirige hacia la integración <strong>de</strong> óxidos<br />

ferroeléctricos y otros con alta permitividad dieléctrica<br />

sobre substratos semiconductores (InP, GaAs y Si) apropiados<br />

para las tecnologías micro y optoelectrónicas.<br />

Mediante XPS, RBS, SEM y XRD se estudian en <strong>de</strong>talle las<br />

intercaras creadas entre el ferroeléctrico y el substrato,<br />

electrodo o capas intermedias <strong>de</strong>positadas para facilitar<br />

la integración. El estudio sistemático <strong>de</strong> la rugosidad<br />

<strong>de</strong> la superficie <strong>de</strong>l film por AFM ayuda en la comprensión<br />

<strong>de</strong> los mecanismos <strong>de</strong> crecimiento involucrados<br />

en la técnica <strong>de</strong> ablación, poniendo <strong>de</strong> manifiesto<br />

en algunos casos los procesos <strong>de</strong> difusión y sombreado<br />

geométrico. Las microscópicas eléctrica (EFM) y<br />

túnel permiten observar a nivel nanoscópico la dinámica<br />

<strong>de</strong> los dominios ferroeléctricos responsables <strong>de</strong> las<br />

respuestas ferro- y piezo- eléctricas y la dinámica <strong>de</strong><br />

sus fronteras.<br />

7. Pulsed laser <strong>de</strong>position <strong>of</strong> ferro-piezoelectric<br />

thin films<br />

Ferro and piezoelectric thin films are prepared by pulsed<br />

laser (KrF) <strong>de</strong>position un<strong>de</strong>r different atmospheres<br />

and substrate temperatures. Interest is focused on<br />

semiconductor/oxi<strong>de</strong> integration. Most <strong>of</strong> the present<br />

activity is addressed to the direct gap InP and GaAs<br />

substrates <strong>of</strong> interest in optoelectronics monolithic<br />

<strong>de</strong>vices, moreover high-k and ferroelectric oxi<strong>de</strong>s are<br />

consi<strong>de</strong>red for memory cells on microelectronics Si<br />

substrate. XPS, RBS, SEM and XRD are used to study the<br />

nature and composition <strong>of</strong> oxi<strong>de</strong>/substrate or electro<strong>de</strong><br />

interfaces. Roughness <strong>of</strong> the film surface help in the<br />

un<strong>de</strong>rstanding <strong>of</strong> the growth mechanisms <strong>of</strong> PLD films.<br />

Diffusion and shadowing appear as the more relevant<br />

growth mo<strong>de</strong>s. Voltage biased force microscopy and<br />

tunnel microscopy disclose the size and dynamics <strong>of</strong><br />

the ferroelectric domains as well as the charge stored in<br />

domain walls.<br />

1. A. Urbieta, P. Fernán<strong>de</strong>z, J. Piqueras, E. Vasco and C. Zaldo, J. Optoelectronics and Advanced <strong>Materials</strong> 6, 183-188 (2004).<br />

2. S. Kaciulis, A. Cusmà G. Pa<strong>de</strong>letti, L. Pandolfi, M. Viticoli and C. Zaldo, Surface and Interface Analysis vol 36, pag. 1151-1154 (2004).<br />

Proyectos: Proyecto CAM 07N/0077/2002 (2003-2004). Monocristales y Láminas <strong>de</strong>lgadas piezoeléctricos para dispositivos <strong>de</strong> última<br />

generación. Dr. A.Kling, cooperación CSIC-ICCTI; Dr. M.Viticoli, cooperación CSIC-Universidad <strong>de</strong> Catania.<br />

8. Mecanosíntesis <strong>de</strong> perovskitas tri- y<br />

bidimensionales<br />

Se ha empleado la activación mecanoquímica como ruta<br />

alternativa para la síntesis <strong>de</strong> diversos óxidos con<br />

estructura tipo perovskita, <strong>de</strong> utilidad para su empleo<br />

como precursores en la elaboración <strong>de</strong> materiales electrocerámicos.<br />

Se ha conseguido la síntesis a temperatura<br />

ambiente, o mecanosíntesis, <strong>de</strong> perovskitas tridimensionales<br />

pertenecientes a la disolución sólida Sr 1-<br />

xBa x<br />

TiO 3<br />

, con propieda<strong>de</strong>s que pue<strong>de</strong>n variar entre un<br />

dieléctrico (x=0) y un ferroeléctrico (x=1), y <strong>de</strong> la perteneciente<br />

a la disolución sólida PZN-PT,<br />

0.92Pb(Zn 1/3 Nb 2/3 )O 3 -0.08PbTiO 3 , <strong>de</strong> interés por sus propieda<strong>de</strong>s<br />

piezoeléctricas. Igualmente, ha sido posible<br />

mecanosintetizar la primera perovskita en capas,<br />

Sr 2<br />

TiO 4<br />

, con estructura tipo K 2<br />

NiO 4<br />

. Todos estos óxidos<br />

se obtienen con un tamaño <strong>de</strong> partícula nanométrico,<br />

en tiempos <strong>de</strong> reacción mecánica muy cortos, resultando<br />

idóneos para su procesado en forma <strong>de</strong> cerámicas<br />

<strong>de</strong>nsas, con altas prestaciones.<br />

8. Two- and three-dimensional perovskites<br />

obtained through mechanosynthesis<br />

Mechanosynthesis has been employed in the preparation<br />

<strong>of</strong> several oxi<strong>de</strong>s with a perovskite-type structure,<br />

potentially useful as precursors for electroceramic<br />

materials. Complete synthesis by mechanical activation<br />

at room temperature (mechanosynthesis) was achieved<br />

in the case <strong>of</strong> three-dimensional perovskites in the solid<br />

solution Sr 1- x Ba x TiO 3 , ranking from dielectric (x=0) to<br />

ferroelectric (x=1) behavior; and similarly in the solid<br />

solution PZN-PT, 0.92Pb(Zn 1/3 Nb 2/3 )O 3 -0.08PbTiO 3 , <strong>of</strong><br />

interest due to its piezoelectric behavior. For the first<br />

time, a layered perovskite, Sr 2 TiO 4 , having the K 2 NiO 4<br />

structure type, has been mechanosynthesized. All these<br />

oxi<strong>de</strong>s are obtained in short reaction times with nanometer-size<br />

particles, and are apt for being processed<br />

into <strong>de</strong>nse, high performance ceramic bodies.<br />

1. M. Algueró, J. Ricote, A. Castro, J. Am. Ceram. Soc. 87, 772-778 (2004).<br />

2. T. Hungría, A.B. Hungría, A. Castro, J. Solid State Chem. 177, 1559-1566 (2004).<br />

3. T. Hungría, A.B. Hungría, M. Algueró, A. Castro, VIII Congreso Nacional <strong>de</strong> Materiales, ISBN:84-9705-594-2, SPUPV, 1149-1156 (2004).<br />

Proyectos: MAT2001-0561, MAT2002-00463, CAM (07N/0076/2002) y Programa Ramón y Cajal<br />

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