Fundamentos del Láser Segunda parte: Tipos de Láseres

Descripción Simple de las rutas para la formación del excimero
- Los dimeros excitados y iónicos son formados por colisión
electrónica a través de dos rutas principales
X: átomo buffer (He, Ne Ar), Y: gas noble donor (Ar,Kr,Xe),
Z: átomo de halógeno (Cl, F), ZM: precursor halógeno
Ruta Meta-estable: domina en la descarga (electrones baja energía)
a) X* + 2X → X 2 * + X
b) X 2 * + Y → 2X + Y*, c) Y* + ZM → YZ* + M
Ruta Iónica: domina en bombeo “e-beam”
a) X + + 2X → X 2 + + X and Z2 + e - → Z - + Z
b) X 2 + + Y → 2X + Y + , c) Y + + Z - + X → YZ* + X
“Quenching”: YZ* + Z(o X)→ Y+Z+Z(o X) o YZ* + Y + X → Y 2 Z* + X
“Quenching” depende de la composición de la mezcla, velocida de ns