Fundamentos del Láser Segunda parte: Tipos de Láseres
Fundamentos del Láser Segunda parte: Tipos de Láseres Fundamentos del Láser Segunda parte: Tipos de Láseres
Esquema de formación del Excimero - El dimero excitado puede ser formado por un haz de electrones o por una descarga sobre una mezcla de gases a alta presión - La descarga es menos eficiente (4%) pero más simple - Descarga a alta presión (2-5 bar): 90% buffer (He,Ne,Ar),
Descripción Simple de las rutas para la formación del excimero - Los dimeros excitados y iónicos son formados por colisión electrónica a través de dos rutas principales X: átomo buffer (He, Ne Ar), Y: gas noble donor (Ar,Kr,Xe), Z: átomo de halógeno (Cl, F), ZM: precursor halógeno Ruta Meta-estable: domina en la descarga (electrones baja energía) a) X* + 2X → X 2 * + X b) X 2 * + Y → 2X + Y*, c) Y* + ZM → YZ* + M Ruta Iónica: domina en bombeo “e-beam” a) X + + 2X → X 2 + + X and Z2 + e - → Z - + Z b) X 2 + + Y → 2X + Y + , c) Y + + Z - + X → YZ* + X “Quenching”: YZ* + Z(o X)→ Y+Z+Z(o X) o YZ* + Y + X → Y 2 Z* + X “Quenching” depende de la composición de la mezcla, velocida de ns
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Esquema <strong>de</strong> formación <strong><strong>de</strong>l</strong> Excimero<br />
- El dimero excitado pue<strong>de</strong> ser formado por un haz <strong>de</strong> electrones<br />
o por una <strong>de</strong>scarga sobre una mezcla <strong>de</strong> gases a alta presión<br />
- La <strong>de</strong>scarga es menos eficiente (4%) pero más simple<br />
- Descarga a alta presión (2-5 bar):<br />
90% buffer (He,Ne,Ar),
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