Fundamentos del Láser Segunda parte: Tipos de Láseres
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<strong>Láser</strong> Excimer<br />
- Los láseres excimer son los más po<strong>de</strong>rosos láseres en la<br />
región UV<br />
- Líneas <strong>de</strong> emisión XeF (351 y 353 nm), XeCl (308 nm),<br />
KrF (248 nm), ArF (193nm)<br />
- Su operación está basada<br />
en la formación y <strong>de</strong>scomposición<br />
radiativa <strong>de</strong> un<br />
excitado dimero <strong>de</strong> gas<br />
noble-halógeno (excimers)
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