European Patent Bulletin 2012/09 - European Patent Office

European Patent Bulletin 2012/09 - European Patent Office European Patent Bulletin 2012/09 - European Patent Office

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(C21C) I.1(2) Procédé de contrôle de température du bain de métal lors du processus de soufflage dans un convertisseur (71) SMS Siemag AG, Eduard-Schloemann- Strasse 4, 40237 Düsseldorf, DE (72) Reichel, Johann, 40489, Düsseldorf, DE (74) Klüppel, Walter, Hemmerich & Kollegen Patentanwälte Hammerstraße 2, 57072 Siegen, DE C21C 5/46 → (51) C21C 5/30 C21C 5/46 → (51) G01N 21/71 (51) C21D 1/34 (11) 2 423 337 A2 C21D 1/673 C21D 9/46 B21D 37/16 (25) De (26) De (21) 11005174.5 (22) 25.06.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 24.08.2010 DE 102010035322 (54) Verfahren zum Temperieren von metallenen Platinen und Wärmetauschervorrichtung für metallene Platinen Method for tempering metallic circuit boards and heat exchanger device for metallic circuit boards Procédé de thermorégulation de platines métalliques et dispositif d'échange thermique pour platines métalliques (71) Schuler SMG GmbH & Co. KG, Louis-Schuler-Strasse 1, 68753 Waghäusel, DE (72) Nickler, Steffen, 68753 Waghäusel, DE Salamon, Ulrich, 76698 Ubstadt-Weiher, DE (74) Lasch, Hartmut, LICHTI - Patentanwälte Postfach 41 07 60, 76207 Karlsruhe, DE C21D 1/58 → (51) C10M 171/00 C21D 1/673 → (51) C21D 1/34 C21D 8/06 → (51) C22C 38/00 C21D 9/00 → (51) B62D 25/04 C21D 9/46 → (51) C21D 1/34 C21D 9/50 → (51) G21C 19/02 C22C 1/05 → (51) C22C 29/16 C22C 5/04 → (51) B22F 9/24 C22C 5/06 → (51) B22F 9/24 (51) C22C 9/01 (11) 2 423 338 A1 C22F 1/08 A61C 8/00 B21C 37/04 (25) En (26) En (21) 11178499.7 (22) 23.08.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 24.08.2010 US 376608 P (54) Formeinstellung eines Dentalbogens mit Formspeicherlegierung Shape setting a shape memory alloy dental arch Configuration de la forme d'une arcade dentaire en alliage à mémoire de forme (71) Ormco Corporation, 1717 West Collins Avenue, Orange, CA 92867, US (72) Johnson, Alfred David, San Leandro, CA California 94577, US Europäisches Patentblatt European Patent Bulletin Bulletin européen des brevets Alauddin, Samuel S, Orange, CA California 92867, US (74) Jackson, Martin Peter, J.A. Kemp & Co. 14 South Square Gray's Inn, London WC1R 5JJ, GB (51) C22C 9/04 (11) 2 423 339 A1 C22F 1/08 C22F 1/00 (25) Ja (26) En (21) 10767017.6 (22) 16.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) JP 2010/056854 16.04.2010 (87) WO 2010/122960 2010/43 28.10.2010 (30) 24.04.2009 JP 2009106162 (54) HOCHFESTE KUPFERLEGIERUNG HIGH-STRENGTH COPPER ALLOY ALLIAGE DE CUIVRE À RÉSISTANCE ÉLEVÉE (71) San-Etsu Metals Co., Ltd, 4-1, Yoshihisa 1chome, Takaoka-shi, Toyama 9330002, JP Kondoh, Katsuyoshi, 11-13 Sakurai 1-chome Minoh-shi, Osaka 562-0043, JP (72) KONDOH, Katsuyoshi, Minoh-shi Osaka 562- 0043, JP KOSAKA, Yoshiharu, Tonami-shi Toyama 939-1315, JP KOJIMA, Akimichi, Tonami-shi Toyama 939- 1315, JP (74) Kirschner, Klaus Dieter, et al, Puschmann Borchert Bardehle Patentanwälte Partnerschaft Bajuwarenring 21, 82041 Oberhaching, DE C22C 13/00 → (51) B23K 35/26 (51) C22C 14/00 (11) 2 423 340 A1 C22F 1/18 B21K 3/04 B23H 7/00 B26D 1/00 B26F 3/00 B30B 11/00 F01D 5/00 B23P 15/02 (25) En (26) En (21) 11179093.7 (22) 26.08.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 30.08.2010 US 870909 (54) Verfahren und System zur Herstellung von Turbinenmotorkomponenten aus gamma- Titanaluminid Process and system for fabricating gamma tial turbine engine components Procédé et système pour fabriquer des composants de moteur à turbine en TiAl gamma (71) United Technologies Corporation, One Financial Plaza, Hartford, CT 06101, US (72) Das, Gopal, Simsbury, CT 06070, US (74) Leckey, David Herbert, Dehns St Bride's House 10 Salisbury Square, London EC4Y 8JD, GB (51) C22C 14/00 (11) 2 423 341 A1 C22F 1/18 (25) De (26) De (21) 11187502.7 (22) 25.11.2008 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR (30) 13.12.2007 DE 102007060587 (54) Titanaluminidlegierungen Titanium aluminide alloys Alliages d'aluminure de titane (71) Helmholtz-Zentrum Geesthacht Zentrum für Material- und Küstenforschung GmbH, Max- Planck-Strasse 1, 21502 Geesthacht, DE (72) Appel, Fritz, 21502 Geesthacht, DE 274 Anmeldungen Applications Demandes (09/2012) 29.02.2012 Paul, Jonathan, 21029 Hamburg, DE Oehring, Michael, 21502 Geesthacht, DE (74) Seemann, Ralph, Patentanwälte Seemann & Partner Ballindamm 3, 20095 Hamburg, DE (62) 09010152.8 / 2 145 967 08020431.6 / 2 075 349 (51) C22C 19/05 (11) 2 423 342 A1 C22F 1/10 (25) En (26) En (21) 11178329.6 (22) 22.08.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 26.08.2010 JP 2010188982 (54) Geschmiedete Legierung für Dampfturbinen und Dampfturbinenrotor damit Forged alloy for steam turbine and steam turbine rotor using the same Alliage forgé pour turbine à vapeur et rotor de turbine à vapeur l'utilisant (71) Hitachi Ltd., 6-6 Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-8280, JP (72) Kamoshida, Hironori, Tokyo, 100-8220, JP Imano, Shinya, Tokyo, 100-8220, JP Sato, Jun, Tokyo, 100-8220, JP (74) Beetz & Partner, Patentanwälte Steinsdorfstrasse 10, 80538 München, DE (51) C22C 29/16 (11) 2 423 343 A1 C22C 1/05 (25) Ja (26) En (21) 10767159.6 (22) 23.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) JP 2010/057247 23.04.2010 (87) WO 2010/123104 2010/43 28.10.2010 (30) 24.04.2009 JP 2009105956 (54) KERAMIK FÜR ZIERELEMENT UND ZIER- ELEMENT DAMIT CERAMICS FOR DECORATIVE COMPONENT AND DECORATIVE COMPONENT USING SAME CÉRAMIQUES POUR COMPOSANT DÉCORATIF ET COMPOSANT DÉCORATIF UTILISANT CELLES-CI (71) Kyocera Corporation, 6, Takedatobadonocho Fushimi-ku, Kyoto-shi Kyoto 612-8501, JP (72) OHTA, Mizuho, Kirishima-shi Kagoshima 899-4396, JP (74) HOFFMANN EITLE, Patent- und Rechtsanwälte Arabellastraße 4, 81925 München, DE (51) C22C 38/00 (11) 2 423 344 A2 C21D 8/06 B21B 1/16 (25) Ko (26) En (21) 10767329.5 (22) 23.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) KR 2010/002568 23.04.2010 (87) WO 2010/123315 2010/43 28.10.2010 (88) 10.03.2011 (30) 23.04.2009 KR 20090035699 (54) HOCHFESTER STAHLWALZDRAHT MIT HOHER ZÄHIGKEIT SOWIE HERSTEL- LUNGSVERFAHREN DAFÜR HIGH STRENGTH, HIGH TOUGHNESS STEEL WIRE ROD, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME FIL MACHINE EN ACIER DE RÉSISTANCE ET DE SOLIDITÉ ÉLEVÉES, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION (71) Posco, 1, Koedong-dong Nam-gu, Pohang Kyungsangbook-do 790-300, KR

(C22C) I.1(2) (72) KIM, Dong-Hyun, Pohang Kyungsangbookdo 790-360, KR LEE, You-Hwan, Pohang Kyungsangbook-do 790-360, KR LEE, Sang-Yoon, Pohang Kyungsangbookdo 790-360, KR CHO, Hyung-Keun, Pohang Kyungsangbookdo 790-360, KR (74) Zech, Stefan Markus, Meissner, Bolte & Partner GbR Postfach 86 06 24, 81633 München, DE (51) C22C 38/22 (11) 2 423 345 A1 D21G 3/00 (25) En (26) En (21) 11170995.2 (22) 22.06.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 23.08.2010 SE 1050861 (54) Kaltgewalztes und gehärtetes Stahlbandprodukt Cold rolled and hardened strip steel product Produit d'acier de bande durcie et laminée à froid (71) Sandvik Intellectual Property AB, 811 81 Sandviken, SE (72) Sundqvist, Maria, S-811 36 Sandviken, SE C22C 47/06 → (51) B22F 1/00 C22C 49/14 → (51) B22F 1/00 C22F 1/00 → (51) C22C 9/04 C22F 1/08 → (51) C22C 9/01 C22F 1/08 → (51) C22C 9/04 C22F 1/10 → (51) C22C 19/05 C22F 1/18 → (51) C22C 14/00 (51) C23C 4/00 (11) 2 423 346 A1 C23C 4/02 C23C 4/12 F01D 5/18 F01D 5/28 C23C 14/22 (25) En (26) En (21) 11179392.3 (22) 30.08.2011 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR BA ME (30) 30.08.2010 US 871028 (54) Minimierung der Blockierung von Öffnungen in Turbinenmotorbauteilen Minimizing Blockage of Holes in Turbine Engine Components Minimisation du blocage de trous dans des composants de moteur de turbine (71) United Technologies Corporation, One Financial Plaza, Hartford, CT 06101, US (72) Zimmerman, Benjamin Joseph, Enfield, CT Connecticut 06082, US (74) Leckey, David Herbert, Dehns 10 Salisbury Square, London Greater London EC4Y 8JD, GB C23C 4/02 → (51) C23C 4/00 (51) C23C 4/12 (11) 2 423 347 A1 C23C 14/00 C23C 14/08 C23C 14/30 C23C 28/00 C23C 30/00 F01D 5/28 F01D 25/00 (25) En (26) En Europäisches Patentblatt European Patent Bulletin Bulletin européen des brevets (21) 10174520.6 (22) 30.08.2010 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR BA ME RS (54) Verfahren zum Bilden einer Wärmegrenzbeschichtung und Turbinenkomponente mit der Wärmegrenzbeschichtung Method for forming a thermal barrier coating and a turbine component with the thermal barrier coating Procédé de formation de revêtement de barrière thermique et composant de turbine avec le revêtement de barrière thermique (71) SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, Wittelsbacherplatz 2, 80333 München, DE (72) Lampenscherf, Stefan, 85586 Poing, DE Casu, Alessandro, 47057 Duisburg, DE Kulkarni, Anand A., Oviedo, FL 32766, US C23C 4/12 → (51) C23C 4/00 C23C 14/00 → (51) C23C 4/12 C23C 14/08 → (51) C23C 4/12 C23C 14/16 → (51) B81C 1/00 C23C 14/22 → (51) C23C 4/00 (51) C23C 14/24 (11) 2 423 348 A1 H01M 4/1395 (25) Ja (26) En (21) 10767061.4 (22) 20.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) JP 2010/057011 20.04.2010 (87) WO 2010/123004 2010/43 28.10.2010 (30) 21.04.2009 JP 2009103431 (54) BEDAMPFUNGSSYSTEM UND BEDAMP- FUNGSVERFAHREN VACUUM DEPOSITION SYSTEM AND VACUUM DEPOSITION METHOD SYSTÈME DE DÉPÔT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT SOUS VIDE (71) Ulvac, Inc., 2500, Hagisono, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP (72) SHIMADA, Tetsuya, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP HIDA, Masanori, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP ODAGI, Hideyuki, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP MIKAMI, Shun, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP AODAI, Makoto, Tsukuba-shi Ibaraki 300- 2635, JP KURAUCHI Toshiharu, Tsukuba-shi Ibaraki 300-2635, JP (74) Körber, Martin Hans, Mitscherlich & Partner Patent- und Rechtsanwälte Sonnenstraße 33, 80331 München, DE (51) C23C 14/24 (11) 2 423 349 A1 H01L 51/50 H05B 33/10 (25) Ja (26) En (21) 10767084.6 (22) 21.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) JP 2010/057058 21.04.2010 (87) WO 2010/123027 2010/43 28.10.2010 (30) 24.04.2009 JP 2009105871 05.03.2010 JP 2010048734 (54) DAMPFABLAGERUNGSVORRICHTUNG UND DAMPFABLAGERUNGSVERFAHREN 275 Anmeldungen Applications Demandes (09/2012) 29.02.2012 VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND VAPOR DEPOSITION METHOD APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR (71) Tokyo Electron Limited, 3-1 Akasaka 5chome Minato-ku, Tokyo 107-6325, JP (72) ONO, Yuji, Sendai City Miyagi 981-3137, JP EDURA, Tomohiko, Sendai City Miyagi 981- 3137, JP HAYASHI, Teruyuki, Sendai City Miyagi 981- 3137, JP TAMURA, Akitake, Nirasaki City Yamanashi 407-0192, JP SAITO, Misako, Nirasaki City Yamanashi 407-0192, JP KUWADA, Hirotaka, Sendai City Miyagi 981- 3137, JP OTSUKI, Shimon, Sendai City Miyagi 981- 3137, JP (74) Manitz, Gerhart, Manitz, Finsterwald & Partner GbR Martin-Greif-Strasse 1, 80336 München, DE C23C 14/30 → (51) C23C 4/12 (51) C23C 14/50 (11) 2 423 350 A1 (25) En (26) En (21) 10174387.0 (22) 27.08.2010 (84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR BA ME RS (54) Substratträger und Aufbauverfahren dafür Carrier for a substrate and a method for assembling the same Support pour substrat et son procédé d'assemblage (71) Applied Materials, Inc., 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054, US (72) Brüning, Andre, 63811 Stockstadt, DE Heimel, Oliver, 34590 Wabern, DE Hinterschuster, Reiner, 63546 Hammersbach, DE Wolf, Hans Georg, 63526 Erlensee, DE (74) Schley, Jan Malte, Fish & Richardson P.C. Mies-van-der-Rohe-Straße 8, 80807 Munich, DE C23C 14/50 → (51) C23C 14/56 C23C 14/54 → (51) B81C 1/00 (51) C23C 14/56 (11) 2 423 351 A1 C23C 14/50 C23C 16/54 (25) Ja (26) En (21) 10766805.5 (22) 14.04.2010 (84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR (86) JP 2010/002709 14.04.2010 (87) WO 2010/122742 2010/43 28.10.2010 (30) 22.04.2009 JP 2009104192 (54) VORRICHTUNG ZUM FORMEN EINER DÜNNSCHICHT UND VERFAHREN ZUM FORMEN EINER DÜNNSCHICHT APPARATUS FOR FORMING THIN FILM AND METHOD FOR FORMING THIN FILM APPAREIL POUR FORMER UN FILM MINCE ET PROCÉDÉ POUR FORMER UN FILM MINCE (71) Panasonic Corporation, 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi Osaka 571-8501, JP (72) Shinokawa Yasuharu, Osaka 540-6207, JP Shibutani,Satoshi, Osaka 540-6207, JP Honda ,Kazuyoshi, Osaka 540-6207, JP Kamiyama,Yuma, Osaka 540-6207, JP Yamamoto ,Masahiro, Osaka 540-6207, JP (74) TBK, Bavariaring 4-6, 80336 München, DE

(C22C) I.1(2)<br />

(72) KIM, Dong-Hyun, Pohang Kyungsangbookdo<br />

790-360, KR<br />

LEE, You-Hwan, Pohang Kyungsangbook-do<br />

790-360, KR<br />

LEE, Sang-Yoon, Pohang Kyungsangbookdo<br />

790-360, KR<br />

CHO, Hyung-Keun, Pohang Kyungsangbookdo<br />

790-360, KR<br />

(74) Zech, Stefan Markus, Meissner, Bolte &<br />

Partner GbR Postfach 86 06 24, 81633<br />

München, DE<br />

(51) C22C 38/22 (11) 2 423 345 A1<br />

D21G 3/00<br />

(25) En (26) En<br />

(21) 1117<strong>09</strong>95.2 (22) 22.06.2011<br />

(84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR<br />

GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK<br />

MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR<br />

BA ME<br />

(30) 23.08.2010 SE 1050861<br />

(54) Kaltgewalztes und gehärtetes Stahlbandprodukt<br />

Cold rolled and hardened strip steel<br />

product<br />

Produit d'acier de bande durcie et laminée<br />

à froid<br />

(71) Sandvik Intellectual Property AB, 811 81<br />

Sandviken, SE<br />

(72) Sundqvist, Maria, S-811 36 Sandviken, SE<br />

C22C 47/06 → (51) B22F 1/00<br />

C22C 49/14 → (51) B22F 1/00<br />

C22F 1/00 → (51) C22C 9/04<br />

C22F 1/08 → (51) C22C 9/01<br />

C22F 1/08 → (51) C22C 9/04<br />

C22F 1/10 → (51) C22C 19/05<br />

C22F 1/18 → (51) C22C 14/00<br />

(51) C23C 4/00 (11) 2 423 346 A1<br />

C23C 4/02 C23C 4/12<br />

F01D 5/18 F01D 5/28<br />

C23C 14/22<br />

(25) En (26) En<br />

(21) 11179392.3 (22) 30.08.2011<br />

(84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR<br />

GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK<br />

MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR<br />

BA ME<br />

(30) 30.08.2010 US 871028<br />

(54) Minimierung der Blockierung von Öffnungen<br />

in Turbinenmotorbauteilen<br />

Minimizing Blockage of Holes in Turbine<br />

Engine Components<br />

Minimisation du blocage de trous dans<br />

des composants de moteur de turbine<br />

(71) United Technologies Corporation, One<br />

Financial Plaza, Hartford, CT 06101, US<br />

(72) Zimmerman, Benjamin Joseph, Enfield, CT<br />

Connecticut 06082, US<br />

(74) Leckey, David Herbert, Dehns 10 Salisbury<br />

Square, London Greater London EC4Y 8JD,<br />

GB<br />

C23C 4/02 → (51) C23C 4/00<br />

(51) C23C 4/12 (11) 2 423 347 A1<br />

C23C 14/00 C23C 14/08<br />

C23C 14/30 C23C 28/00<br />

C23C 30/00 F01D 5/28<br />

F01D 25/00<br />

(25) En (26) En<br />

Europäisches <strong>Patent</strong>blatt<br />

<strong>European</strong> <strong>Patent</strong> <strong>Bulletin</strong><br />

<strong>Bulletin</strong> européen des brevets<br />

(21) 10174520.6 (22) 30.08.2010<br />

(84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR<br />

GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK<br />

MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR<br />

BA ME RS<br />

(54) Verfahren zum Bilden einer Wärmegrenzbeschichtung<br />

und Turbinenkomponente<br />

mit der Wärmegrenzbeschichtung<br />

Method for forming a thermal barrier<br />

coating and a turbine component with the<br />

thermal barrier coating<br />

Procédé de formation de revêtement de<br />

barrière thermique et composant de<br />

turbine avec le revêtement de barrière<br />

thermique<br />

(71) SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, Wittelsbacherplatz<br />

2, 80333 München, DE<br />

(72) Lampenscherf, Stefan, 85586 Poing, DE<br />

Casu, Alessandro, 47057 Duisburg, DE<br />

Kulkarni, Anand A., Oviedo, FL 32766, US<br />

C23C 4/12 → (51) C23C 4/00<br />

C23C 14/00 → (51) C23C 4/12<br />

C23C 14/08 → (51) C23C 4/12<br />

C23C 14/16 → (51) B81C 1/00<br />

C23C 14/22 → (51) C23C 4/00<br />

(51) C23C 14/24 (11) 2 423 348 A1<br />

H01M 4/1395<br />

(25) Ja (26) En<br />

(21) 10767061.4 (22) 20.04.2010<br />

(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB<br />

GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT<br />

NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR<br />

(86) JP 2010/057011 20.04.2010<br />

(87) WO 2010/123004 2010/43 28.10.2010<br />

(30) 21.04.20<strong>09</strong> JP 20<strong>09</strong>103431<br />

(54) BEDAMPFUNGSSYSTEM UND BEDAMP-<br />

FUNGSVERFAHREN<br />

VACUUM DEPOSITION SYSTEM AND<br />

VACUUM DEPOSITION METHOD<br />

SYSTÈME DE DÉPÔT SOUS VIDE ET<br />

PROCÉDÉ DE DÉPÔT SOUS VIDE<br />

(71) Ulvac, Inc., 2500, Hagisono, Chigasaki-shi<br />

Kanagawa 253-8543, JP<br />

(72) SHIMADA, Tetsuya, Chigasaki-shi Kanagawa<br />

253-8543, JP<br />

HIDA, Masanori, Chigasaki-shi Kanagawa<br />

253-8543, JP<br />

ODAGI, Hideyuki, Chigasaki-shi Kanagawa<br />

253-8543, JP<br />

MIKAMI, Shun, Chigasaki-shi Kanagawa<br />

253-8543, JP<br />

AODAI, Makoto, Tsukuba-shi Ibaraki 300-<br />

2635, JP<br />

KURAUCHI Toshiharu, Tsukuba-shi Ibaraki<br />

300-2635, JP<br />

(74) Körber, Martin Hans, Mitscherlich & Partner<br />

<strong>Patent</strong>- und Rechtsanwälte Sonnenstraße 33,<br />

80331 München, DE<br />

(51) C23C 14/24 (11) 2 423 349 A1<br />

H01L 51/50 H05B 33/10<br />

(25) Ja (26) En<br />

(21) 10767084.6 (22) 21.04.2010<br />

(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB<br />

GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT<br />

NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR<br />

(86) JP 2010/057058 21.04.2010<br />

(87) WO 2010/123027 2010/43 28.10.2010<br />

(30) 24.04.20<strong>09</strong> JP 20<strong>09</strong>105871<br />

05.03.2010 JP 2010048734<br />

(54) DAMPFABLAGERUNGSVORRICHTUNG<br />

UND DAMPFABLAGERUNGSVERFAHREN<br />

275<br />

Anmeldungen<br />

Applications<br />

Demandes (<strong>09</strong>/<strong>2012</strong>) 29.02.<strong>2012</strong><br />

VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND<br />

VAPOR DEPOSITION METHOD<br />

APPAREIL DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR<br />

ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE<br />

VAPEUR<br />

(71) Tokyo Electron Limited, 3-1 Akasaka 5chome<br />

Minato-ku, Tokyo 107-6325, JP<br />

(72) ONO, Yuji, Sendai City Miyagi 981-3137, JP<br />

EDURA, Tomohiko, Sendai City Miyagi 981-<br />

3137, JP<br />

HAYASHI, Teruyuki, Sendai City Miyagi 981-<br />

3137, JP<br />

TAMURA, Akitake, Nirasaki City Yamanashi<br />

407-0192, JP<br />

SAITO, Misako, Nirasaki City Yamanashi<br />

407-0192, JP<br />

KUWADA, Hirotaka, Sendai City Miyagi 981-<br />

3137, JP<br />

OTSUKI, Shimon, Sendai City Miyagi 981-<br />

3137, JP<br />

(74) Manitz, Gerhart, Manitz, Finsterwald & Partner<br />

GbR Martin-Greif-Strasse 1, 80336<br />

München, DE<br />

C23C 14/30 → (51) C23C 4/12<br />

(51) C23C 14/50 (11) 2 423 350 A1<br />

(25) En (26) En<br />

(21) 10174387.0 (22) 27.08.2010<br />

(84) AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR<br />

GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK<br />

MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR<br />

BA ME RS<br />

(54) Substratträger und Aufbauverfahren dafür<br />

Carrier for a substrate and a method for<br />

assembling the same<br />

Support pour substrat et son procédé<br />

d'assemblage<br />

(71) Applied Materials, Inc., 3050 Bowers<br />

Avenue, Santa Clara, CA 95054, US<br />

(72) Brüning, Andre, 63811 Stockstadt, DE<br />

Heimel, Oliver, 34590 Wabern, DE<br />

Hinterschuster, Reiner, 63546 Hammersbach,<br />

DE<br />

Wolf, Hans Georg, 63526 Erlensee, DE<br />

(74) Schley, Jan Malte, Fish & Richardson P.C.<br />

Mies-van-der-Rohe-Straße 8, 80807 Munich,<br />

DE<br />

C23C 14/50 → (51) C23C 14/56<br />

C23C 14/54 → (51) B81C 1/00<br />

(51) C23C 14/56 (11) 2 423 351 A1<br />

C23C 14/50 C23C 16/54<br />

(25) Ja (26) En<br />

(21) 10766805.5 (22) 14.04.2010<br />

(84) AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB<br />

GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT<br />

NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR<br />

(86) JP 2010/0027<strong>09</strong> 14.04.2010<br />

(87) WO 2010/122742 2010/43 28.10.2010<br />

(30) 22.04.20<strong>09</strong> JP 20<strong>09</strong>104192<br />

(54) VORRICHTUNG ZUM FORMEN EINER<br />

DÜNNSCHICHT UND VERFAHREN ZUM<br />

FORMEN EINER DÜNNSCHICHT<br />

APPARATUS FOR FORMING THIN FILM<br />

AND METHOD FOR FORMING THIN FILM<br />

APPAREIL POUR FORMER UN FILM<br />

MINCE ET PROCÉDÉ POUR FORMER UN<br />

FILM MINCE<br />

(71) Panasonic Corporation, 1006, Oaza Kadoma,<br />

Kadoma-shi Osaka 571-8501, JP<br />

(72) Shinokawa Yasuharu, Osaka 540-6207, JP<br />

Shibutani,Satoshi, Osaka 540-6207, JP<br />

Honda ,Kazuyoshi, Osaka 540-6207, JP<br />

Kamiyama,Yuma, Osaka 540-6207, JP<br />

Yamamoto ,Masahiro, Osaka 540-6207, JP<br />

(74) TBK, Bavariaring 4-6, 80336 München, DE

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