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Deutsche Tagung f ¨ur Forschung mit ... - SNI-Portal

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Weiche Materie Poster: Do., 13:00–15:30 D-P345<br />

Röntgenkleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall von dünnen, lamellaren<br />

Diblockcopolymerfilmen in der Bornschen Näherung <strong>mit</strong> gestörten<br />

Wellen<br />

C.M. Papadakis 1 , P. Busch 2 , M. Rauscher 3 , D.-M. Smilgies 2 , D. Posselt 4<br />

1 Physikdepartment E13, Technische Universität München, James-Franck-Str. 1, 85747<br />

Garching – 2 Cornell University, Ithaca NY, USA – 3 MPI für Metallforschung und<br />

Universität Stuttgart – 4 IMFUFA, Roskilde University, Dänemark<br />

Mit Röntgenkleinwinkelstreuung unter streifendem Einfall (GISAXS) können dünne<br />

Blockcopolymerfilme im Hinblick auf ihre mesoskopische Struktur und die Orientierung<br />

der phasenseparierten Domänen charakterisiert werden [1]. Durch die Wahl kleiner<br />

Einfallswinkel wird die Sensitivität für die Filmstrukturen erhöht, allerdings können<br />

die Streubilder nicht mehr durch die kinematische Theorie beschrieben werden.<br />

Wir haben den Streuquerschnitt für lamellare Blockcopolymerfilme in der Bornschen<br />

Näherung <strong>mit</strong> gestörten Wellen berechnet, einer dynamischen Streutheorie [2]. Sowohl<br />

die parallele als auch die senkrechte Orientierung der Lamellen zur Substratoberfläche<br />

wurden berechnet und <strong>mit</strong> experimentellen Streubildern von dünnen Filmen<br />

aus Poly(styrol-b-butadien) (PS-b-PB) Diblockcopolymeren verglichen. Die Streubilder<br />

von Filmen <strong>mit</strong> senkrechten Lamellen zeigen Bragg rods bei den vom Bragg-Gesetz her<br />

erwarteten Positionen. Filme <strong>mit</strong> parallelen Lamellen zeigen Intensitätsmaxima entlang<br />

der Filmnormalen, deren Positionen durch die Beugung der Röntgenstrahlung an der<br />

Filmoberfläche und durch Reflektion an der Film-Substrat-Grenzfläche erklärt werden<br />

können (Abb. 1). Auf diese Art können die lamellare Orientierung im Film sowie die<br />

Lamellendicke genau bestimmt werden.<br />

[1] C.M. Papadakis, P. Busch, D. Posselt, D.-M. Smilgies, Adv. Solid State Phys. 44<br />

(2004) 327.<br />

[2] P. Busch, M. Rauscher, D.-M. Smilgies, D. Posselt, C.M. Papadakis, J. Appl. Cryst.,<br />

erscheint im Juni 2006.<br />

Abb. 1: Intensitätsprofile entlang<br />

der Filmnormalen eines<br />

PS-b-PB Films <strong>mit</strong> parallelen<br />

Lamellen der Dicke 197 ˚A<br />

(dünne, obere Linie). DWBA-<br />

Modellrechnung der diffusen<br />

Streuung (dicke Linie) sowie<br />

Beiträge der führenden Terme<br />

(farbige, dünne Linien).<br />

Es wurden zwei verschiedene<br />

Einfallswinkel gewählt.

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