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Deutsche Tagung f ¨ur Forschung mit ... - SNI-Portal

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Nanostrukturen und Grenzflächen Vortrag: Mi., 11:00–11:30 M-V9<br />

Instabilität und Selbstorganisation bei der Bestrahlung von Schichtpaketen<br />

<strong>mit</strong> hochenergetischen Ionen<br />

Wolfgang Bolse 1<br />

1 Institut für Strahlenphysik, Universität Stuttgart<br />

Energetische Ionen sind ein Werkzeug <strong>mit</strong> einzigartigen Eigenschaften zur Erzeugung<br />

von Nano- und Submikrometerstrukturen auf oder in der Nähe der Oberfläche von<br />

Festkörpern. Bei seiner Abbremsung wird ein großer Teil der kinetischen Energie des<br />

Ions nahezu instantan in ein hochlokalisiertes Volumen von nm-Dimensionen (zumindest<br />

in lateraler Richtung) im Festkörper deponiert. Die dabei erreichte Energiedichte<br />

übersteigt bei weitem die Bindungsenergien im Festkörper und resultiert in einer<br />

nano-skaligen Zone <strong>mit</strong> extremen Nicht-Gleichgewichtsbedingungen. Da dies in einer<br />

kalten Umgebung stattfindet, kühlt die angeregte Zone innerhalb weniger 10 bis 100 ps<br />

wieder ab. Derart intensive, hochlokalisierte und extrem kurze Festkörperanregungen<br />

werden von keiner anderen Methode zur Materialmodifikation erreicht. Einzelne Ionen<br />

können daher dazu verwendet werden, Nicht-Gleichgewichtsstrukturen <strong>mit</strong> neuartigen<br />

physikalischen Eigenschaften direkt auf einer nm-Skala zu erzeugen, die dann als Ausgangsbasis<br />

für funktionelle Nano-Strukturen dienen. Einzelionenbestrahlung ist aber<br />

nicht der einzige Weg zur Erzeugung von von Nano- bzw. Submikrometerstrukturen<br />

<strong>mit</strong> energetischen Ionen. Erhöht man die Ionenfluenz und da<strong>mit</strong> die Dichte der durch<br />

Ioneneinschläge modifizierten Bereiche, so führt die Wechselwirkung und der Überlapp<br />

dieser Zonen oft zu Oberflächeninstabilitäten und Selbstorganisationseffekten, in deren<br />

Folge großflächige und oft periodische, nanometrische Muster und Strukturen entstehen,<br />

deren Eigenschaften weit über eine einfache Superposition der Einzelioneneffekte<br />

hinaus gehen. In diesem Beitrag sollen einige kürzlich erzielte Ergebnisse zu Instabilitäten<br />

und Selbstorganisationsprozessen in Dünnschichtsystem unter Bestrahlung <strong>mit</strong><br />

hochenergetischen Ionen (MeV/amu) und ihre potentielle Anwendung zur Herstellung<br />

großflächiger Anordnungen von maßgeschneiderten Nano- und Submikrometerstrukturen<br />

diskutiert werden.

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