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Mikroskopie und Tomographie Poster: Mi., 14:00–16:30 M-P106
Fokussierung harter Röntgenstrahlung mit linearen
Off-Axis-Reflexionszonenplatten
Sebastian Kalbfleisch 1 , Tim Salditt 1
1 Institut für Röntgenphysik, Georg-August-Universität Göttingen
Für viele hochauflösende Imaging-Experimente mit harter Röntgenstrahlung ist die
fokussierende Optik die entscheidende Komponente.
Reflexionszonenplatten (RZP) bieten einen vielversprechenden Ansatz, das Prinzip
der Fresnelsche Zonenplatten auf harte Röntgenstrahlung zu übertragen ohne an die
Grenzen der Strukturierung zu stoßen [1,2]. Die Off-Axis-Konstruktion trennt den Fokus
räumlich von der spekulär reflektierten nullten Ordnung der Zonenplatte (Abb. 1).
Damit wird die Untergrundstrahlung stark reduziert. Wegen des kleinen Totalreflexionswinkels
liegen die Zonenbreiten einer RZP im Bereich einiger Mikrometer und sind
daher einfach zu strukturieren. Simulationen zeigen, dass mit diesen Strukturgrößen
Fokusdurchmesser im Bereich von unter 100 nm erreicht werden können (Abb. 2).
Wir präsentieren Untersuchungen zur Auswirkung der Winkel- und Wellenlängenakzeptanz
sowie der Substratbeschaffenheit (Ebenheit) auf die Fokusgröße auf Grundlage
von Simulationen, sowie erste experimentelle Ergebnisse mit Off-Axis-Zonenplatten.
[1] A.G. Michette et al., Optics Comm. 245 (2005), 249-253
[2] Yu.A. Basov et al., Optics Comm. 109 (1994), 324-327
Abb. 1: Schematischer Strahlengang einer
Off-Axis-Refelxionszonenplatte: Fokus
und spekulär reflektierte nullte Ordnung
sind räumlich getrennt.
Abb. 2: Simulation der Fokusgröße einer
Off-Axis-Reflexionszonenplatte: Brennweite
10 cm, λ = 1.54 ˚A, Halbwertsbreite
87 nm