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Deliverables and Services - IHP Microelectronics

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Das Gemeinsame Labor beteiligt sich an Arbeiten, um<br />

bisher ungenutzte Eigenschaften des Siliziums für einen<br />

künftigen Einsatz auf neuen Gebieten zu erschließen.<br />

Basierend auf den Ergebnissen dieser Vorlaufforschung –<br />

zu der z.B. Si-basierte Lichtemitter, Si-basierte Nanostrukturen<br />

wie c-Si / SiO 2 -Schichtstapel und Si-Nanodrähte<br />

oder die kontrollierte Platzierung von Biomolekülen<br />

auf Si für Biochips zählen – werden für das<br />

<strong>IHP</strong> Entscheidungen für seine zukünftige inhaltliche<br />

Ausrichtung vorbereitet.<br />

Die langfristigen Forschungsschwerpunkte des Gemeinsamen<br />

Labors zum Komplex „Silizium“ sollen Beiträge<br />

zur Weiterentwicklung der Mikroelektronik, zur Einführung<br />

einer Si-basierten Nanoelekronik, zur Einführung<br />

einer Si-basierten Photonik, und zur Unterstützung<br />

der Si-basierten Photovoltaik liefern. Auf dem letztgenannten<br />

Gebiet ist das Gemeinsame Labor in der<br />

BTU-Forschungseinrichtung CeBra (Centrum für Energietechnologie<br />

Br<strong>and</strong>enburg, siehe www.tu-cottbus.<br />

de / cebra / ) verankert.<br />

Die grundlegende Such- und Vorlaufforschung zu neuen<br />

und verbesserten Si-Eigenschaften durch Einsatz<br />

von Methoden des Defect Engineering sind auf die folgenden<br />

Schwerpunkte gerichtet und werden im Rahmen<br />

von Projekten, meist in Arbeitsteilung mit externen<br />

Partnern, verfolgt<br />

- Versetzungs-Engineering in Silizium für<br />

Lichtemitter und <strong>and</strong>ere Anwendungen<br />

- Si-Nanostrukturen<br />

- Si-Wafer für zukünftige Technologie-Generationen<br />

- Elektrische Aktivität von Kristalldefekten in<br />

Solar-Silizium<br />

- Entwicklung spezieller Mess- und Diagnoseverfahren<br />

7 A n n u A l R e p o R t 2 0 0 7<br />

G E M E I N S A M E L A B O R E – J O I N T L A B S<br />

Safety), one project funded by Volkswagenstiftung<br />

<strong>and</strong> two projects with the industry.<br />

the Joint lab participates in research aimed at using<br />

silicon properties that have not been used to date for<br />

new application areas.<br />

Based on the results of this forerunning research, e.g.<br />

Si-based light emitter, Si-based nanostructures such<br />

as c-Si / Sio 2 layer stacks <strong>and</strong> Si nanowires or the controlled<br />

placement of biomolecules on Si for biochips,<br />

decisions for the future research of the IHp are prepared.<br />

the long term research focus of the Joint lab for the<br />

complex “silicon” is aimed at delivering contributions<br />

for the future development of microelectronics,<br />

for the implementation of Si-based nanoelectronics<br />

<strong>and</strong> Si-based photonics, <strong>and</strong> for the support of Si-based<br />

photovoltaics. With the latter research field, the<br />

Joint lab is connected with the Btu research facility<br />

CeBra (Center for energy technology Br<strong>and</strong>enburg,<br />

see also www.tu-cottbus.de / cebra / ).<br />

the basic <strong>and</strong> forerunning research related to new<br />

<strong>and</strong> improved Si properties using methods of defect<br />

engineering is directed towards the following areas<br />

<strong>and</strong> is organized in the form of projects, usually carried<br />

out in collaboration with external partners.<br />

- Dislocation-engineering in silicon for light<br />

emitters <strong>and</strong> other applications<br />

- Si-nanostructures<br />

- Si-wafer for future technology generations<br />

- electrical activity of crystal defects in solar silicon<br />

- Development of special methods for measurement<br />

<strong>and</strong> diagnostics

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