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Deliverables and Services - IHP Microelectronics

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A U S G E w ä H L T E P R O J E K T E – S E L E C T E d P R O J E C T S<br />

Dabei wurden die Ergebnisse mit denen einer alternativen<br />

SiGe-Bipolartechnologie verglichen. Letztere unterscheidet<br />

sich von der des <strong>IHP</strong> in den HBT- Spezifikationen<br />

(z.B. <strong>and</strong>ere Grenzfrequenzen), dem Backend<br />

(Al-Metallisierung (<strong>IHP</strong>) zu Kupfer-Metallisierung)<br />

und den passiven Bauelementen (NMOS-Akkumulationsvaraktoren<br />

(<strong>IHP</strong>) als variable Kapazitäten zu reinen<br />

Bipolar-Varaktoren).<br />

Folgende Resultate konnten im Rahmen des Projektes<br />

erreicht werden:<br />

Es wurden spannungsgesteuerte Oszillatoren in differentieller<br />

Colpitts-Topologie entworfen und mit der<br />

SG25H1-Technologie des <strong>IHP</strong> hergestellt (Abb. 16).<br />

Für Schaltungen mit einem einstufigen Leistungsverstärker<br />

konnte durch Auswahl eines SiGe-Transistortyps<br />

mit maximaler Oszillationsfrequenz f max = 240 GHz die<br />

im Projekt als Ziel gesetzte Ausgangsleistung über +16<br />

dBm bei 77 GHz erreicht werden. Das Phasenrauschen<br />

bei 77 GHz betrug –90 dBc / Hz @ 1 MHz Offset.<br />

Additionally, these results were compared with results<br />

of an alternative SiGe bipolar process. this process<br />

differs from the IHp technology by HBt specifications<br />

(e.g. different transit frequencies), backend<br />

(Al (IHp) compared to Cu metallization), <strong>and</strong> passive<br />

components (nMoS accumulation (IHp) compared to<br />

bipolar varactors).<br />

the following results were achieved within the project:<br />

Differential voltage-controlled oscillators in Colpitts<br />

topology were designed for IHp’s SG25H1 technology<br />

(Fig. 16). When choosing a transistor-type with maximum<br />

oscillation frequency f max = 240 GHz, circuits<br />

with single-stage output buffer yielded the targeted<br />

output power of +16 dBm at 77 GHz. phase noise at<br />

77 GHz was –90 dBc / Hz @ 1 MHz offset.<br />

Abb. 16: Spannungsgesteuerter Oszillator mit einstufigem<br />

Leistungsverstärker für 77-GHz-Radarsignalgeneratoren.<br />

Fig. 16: Voltage controlled oscillator with single-stage output<br />

buffer for 77 GHz radar signal generators.<br />

A n n u A l R e p o R t 2 0 0 7<br />

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