Deliverables and Services - IHP Microelectronics

7. Erhöhte Leitfähigkeit in Si-Versetzungsnetzwerken
Es wurde festgestellt, dass die Leitfähigkeit in einem
Versetzungsnetzwerk um etwa einen Faktor Zehntausend
ansteigt. Dabei wird davon ausgegangen, dass
sowohl die Konzentration der Ladungsträger als auch
deren Beweglichkeit um jeweils einen Faktor 100
wachsen. Derartige Leitfähigkeitskanäle sind für die
Entwicklung neuartiger THz-Bauelemente von Interesse.
8. Silizium für die Mikroelektronik
Auf diesem Arbeitsgebiet wurde die Kooperation
mit der deutschen Industrie fortgesetzt. In der Zusammenarbeit
mit der Siltronic AG für zukünftige
Si-Wafer wurden im Rahmen eines dreijährigen Forschungsprojektes
die experimentellen und theoretischen
Arbeiten zur Sauerstoffpräzipitation weitergeführt.
Mit der Centrotherm GmbH + Co. KG und ASM
Germany arbeitet das IHP gemeinsam in Projekten zu
Anlagenprozessen.
d A S J A H R 2 0 0 7 – U P d A T E 2 0 0 7
7. enhanced conductivity in silicon dislocation
networks
It was measured, that the conductivity in a dislocation
network increases by a factor of ten thousand.
It is assumed that the concentration of the charge
carriers as well as their mobility both increase by a
factor of 100. Such channels of conductivity are interesting
for the development of new types of tHz
devices.
8. Silicon for microelectronics
the cooperation with the German industry was
continued in this area. In the cooperation with
Siltronic AG for future silicon wafers the experimental
and theoretical investigations on oxygen precipitation
was continued in a three years project. IHp
collaborates with Centrothern GmbH & Co. KG and
ASM Germany in process technology projects.
Prof. Dr. Ernst Rietschel, Präsident der Leibniz-Gemeinschaft, bei
der Übergabe des „Preises des wissenschaftlichen Nachwuchses“ des
Fördervereins „Freunde des IHP e.V.“ am 1. September 2007.
prof. ernst Rietschel, president of the leibniz Association,
awarding the “price of the junior scientists” of the association
“Friends of the IHp”, September 1, 2007.
A n n u A l R e p o R t 2 0 0 7
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