Deliverables and Services - IHP Microelectronics
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wurden mit dem Schlussbericht erfolgreich beendet.<br />
Das Gemeinsame Labor beteiligt sich an Arbeiten, um<br />
bisher ungenutzte Eigenschaften des Siliziums für einen<br />
künftigen Einsatz auf neuen Gebieten zu erschließen,<br />
so z.B. für thermo-elektrische Generatoren im<br />
Rahmen des BMBF-Projektes „SiGeTE“.<br />
Basierend auf den Ergebnissen dieser Vorlaufforschung –<br />
zu der z.B. Si-basierte Lichtemitter, Si-basierte Nanostrukturen<br />
wie c-Si / SiO 2 -Schichtstapel oder die kontrollierte<br />
Ausnutzung der physikalischen Eigenschaften<br />
von Versetzungen zählt – werden für das <strong>IHP</strong> Entscheidungen<br />
für seine zukünftige inhaltliche Ausrichtung<br />
vorbereitet.<br />
Die langfristigen Forschungsschwerpunkte des Gemeinsamen<br />
Labors zum Komplex „Silizium“ sollen Beiträge<br />
zur Weiterentwicklung der Mikroelektronik, zur Einführung<br />
einer Si-basierten Nanoelekronik, zur Einführung<br />
einer Si-basierten Photonik und zur Unterstützung der<br />
Si-basierten Photovoltaik liefern. Auf dem letztgenannten<br />
Gebiet ist das Gemeinsame Labor in der BTU-Forschungeinrichtung<br />
CeBra (Centrum für Energietechnologie<br />
Br<strong>and</strong>enburg, siehe www.tu-cottbus.de/cebra/)<br />
verankert.<br />
Die grundlegende Such- und Vorlaufforschung zu neuen<br />
und verbesserten Si-Eigenschaften durch Einsatz<br />
von Methoden des Defect Engineering sind auf die unten<br />
aufgeführten Schwerpunkte ausgerichtet. Es wurde<br />
damit begonnen, auch Ge in die Arbeiten einzubeziehen.<br />
Die Schwerpunkte der Arbeit werden im Rahmen<br />
von Projekten, meist in Arbeitsteilung mit externen<br />
Partnern und unter Hinzuziehung von BTU-Lehrstühlen,<br />
verfolgt:<br />
- Versetzungs-Engineering in Silizium für Lichtemitter<br />
und <strong>and</strong>ere Anwendungen,<br />
- Si-Nanostrukturen,<br />
- Si-Wafer für zukünftige Technologiegenerationen,<br />
- Elektrische Aktivität von Kristalldefekten in Solar-Si,<br />
- Entwicklung spezieller Meß- und Diagnoseverfahren,<br />
insbesondere Synchrotrontechniken.<br />
66 A n n u A l R e p o R t 2 0 0 9<br />
G e M e I N S A M e L A B o r e – J o I N t L A B S<br />
<strong>and</strong> nuclear Safety), one project funded by the technologiestiftung<br />
Berlin <strong>and</strong> two industry funded projects.<br />
the results of the project SIleM (Integratable<br />
Si-emitter <strong>and</strong> detectors), funded by the BMBF, were<br />
successfully finished <strong>and</strong> summarized in the final report.<br />
the Joint lab participates in research aimed at<br />
using silicon properties that have not been used to<br />
date for new application areas, e.g. for thermoelectrical<br />
generators within the project SiGete , supported<br />
by the BMBF.<br />
Based on the results of this forerunning research, e.g.<br />
Si-based light emitter, Si-based nanostructures such<br />
as c-Si / Sio 2 layer stacks or controlled application of<br />
the physical properties of dislocations as active device<br />
components, decisions for the future research of<br />
the IHp are prepared.<br />
the long-term research focus of the Joint lab for the<br />
complex “silicon” is aimed at delivering contributions<br />
for the future development of microelectronics,<br />
for the implementation of Si-based nanoelectronics<br />
<strong>and</strong> Si-based photonics, <strong>and</strong> for the support of Si-based<br />
photovoltaics. With the latter research field, the<br />
Joint lab is connected with the Btu research facility<br />
CeBra (Center for energy technology Br<strong>and</strong>enburg,<br />
see also www.tu-cottbus.de/cebra/).<br />
the basic <strong>and</strong> forerunning research related to new<br />
<strong>and</strong> improved Si properties using methods of defect<br />
engineering is directed towards the areas listed below.<br />
the material Germanium has also been started to<br />
be included. the main activities are organized in the<br />
form of projects, usually carried out in collaboration<br />
with external partners <strong>and</strong> including Btu chairs when<br />
useful:<br />
- Dislocation-engineering in silicon for light<br />
emitters <strong>and</strong> other applications,<br />
- Si-nanostructures,<br />
- Si-wafer for future technology generations,<br />
- electrical activity of crystal defects in solar<br />
silicon,<br />
- Development of special methods for measurement<br />
<strong>and</strong> diagnostics, in particular synchrotron techniques.