Deliverables and Services - IHP Microelectronics

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DFG Cluster – Antrag unter Beteiligung von Gruppen aus der Mikroelektronik und der Katalyse ein. Darüberhinaus wurde zum Thema Graphen ein weiteres DFG – Projekt („Insitu Raman and (SR)-XPS investigations on catalytic graphene growth and metal gate oxidation: From catalysis to a graphene transistor on Si without layertransfer“) und ein BMBF-Projekt („Entwicklung grundlegender Graphen-Technologien für zukünftige hochsensitive Sensoranwendungen“) beantragt. Das Joint Lab IHP / BTU arbeitet auf dem Gebiet der Si- Photonik im Rahmen des vom BMBF geförderten Projektes SiliconLight an einer Si-basierten MIS-LED unter Nutzung von dünnen Hoch-k-Schichten und durch Waferbonden erzeugten Versetzungsnetzwerken. Grundlagen dafür wurden mit dem bereits 2008 abgeschlossenen Projekt SiLEM (Silizium-Lichtemitter) gelegt. In Zusammenarbeit mit dem MPI Halle und dem Forschungszentrum Jülich konnte gezeigt werden, dass die Integration von Versetzungs-Netzwerken in den Kanal von MOS-FETs den Drainstrom signifikant erhöht, auch für kleine Drain- und Gate-Spannungen. Das Projekt SiGe-TE wurde vom BMBF bewilligt. In diesem Projekt soll untersucht werden, ob Versetzungsnetzwerke auch für die Herstellung Si-basierter thermoelektrischer Generatoren mit hohem ZT-Wert (beschreibt die Effizienz thermoelektrischer Materialien) geeignet sind, um die Abwärme der Chips in elektrische Energie zurückzuwandeln. 26 A n n u A l R e p o R t 2 0 0 9 d A S J A H r 2 0 0 9 – u p d A t e 2 0 0 9 gations on catalytic graphene growth and metal gate oxidation: From catalysis to a graphene transistor on Si without layer-transfer”) and a BMBF-supported project (“Development of basic graphene technologies for future highly-sensitive sensor applications”) were submitted. the Joint lab IHp / Btu is working in the field of silicon photonics within the BMBF-supported project Siliconlight on Si-based MIS-leD using thin High-klayers and dislocation networks, generated with wafer bonding. the basic ideas for this were generated in the project SileM (Silicon light emitter), which was finished in 2008. together with the MpI Halle and the Research Center Jülich, it was demonstrated that the integration of dislocation networks in the channel of MoS-Fets will significantly increase the drain current, even for low drain- and gate-voltages. the project SiGe-t was granted by the BMBF. the aim of this project is to investigate if dislocation networks are also usable for producing Si-based thermoelectric generators with a high Zt-value (describes the efficiency of thermoelectric materials) for reconverting the power losses of chips to electricity.
Im kürzlich begonnenen Projekt SINOVA werden gemeinsam mit der RWTH Aachen und anderen Partnern - aufbauend auf den Ergebnissen des in 2008 erfolgreich abgeschlossenen Projektes Bandstrukturdesign – grundlegende Arbeiten zu Herstellung und Eigenschaften von Multi-Quantumwells aus nanokristallinen Silizium-Schichten durchgeführt. Derartige Schichtsysteme sind u.a. für Solarzellen der 3. Generation von Interesse. Schwerpunkt der Arbeiten am Joint Lab IHP / BTU Cottbus ist die Kristallisation der Schichten mittels neuartiger Verfahren. Die Kooperation mit der Siltronic AG auf dem Gebiet zukünftiger Si-Wafer wird fortgesetzt. Im Rahmen eines Forschungsprojektes werden die experimentellen und theoretischen Arbeiten zur Sauerstoffpräzipitation weitergeführt. Auf dem Gebiet Silizium für die Photovoltaik werden im Rahmen des durch das BMU geförderten Projektes SolarFocus durch das Joint Lab IHP / BTU Methoden der Synchrotron-Mikroskopie weiterentwickelt und auf multikristallines Silizium angewandt. Dabei konnten kleine Ausscheidungen analysiert werden. In den Arbeiten zum Projekt AVANTSolar geht es darum, die Entwicklung verbesserter Verfahren zur Herstellung von Solarsilizium durch Expertise zur elektrischen Aktivität von Kristalldefekten und spezifische diagnostische Verfahren zu unterstützen. Ein weiteres Projekt, das die Nutzung neuartiger Si-Materialien für die energieeffizientere Herstellung von Solarzellen bei Conergy beinhaltet, wurde bewilligt. d A S J A H r 2 0 0 9 – u p d A t e 2 0 0 9 In the new project SInoVA basic research for manufacturing and properties of multi quantum wells from nanocrystalline layers will be carried out together with the RWtH Aachen and other partners. this work will build on the results of the project bandstructure design, which was successfully finished in 2008. these layer systems are among others of interest for 3rd generation solar cells. Focus of the activities at the Joint lab IHp / Btu Cottbus are new layer crystallization techniques. the cooperation with the Siltronic AG for future silicon wafers will continue. experimental and theoretical investigations on oxygen precipitates will be conducted. In the framework of the BMu-funded project Solar- Focus synchrotron-microscopic methods were built and applied for multicrystalline silicon for photovoltaics. Very small precipitates could be analyzed with this equipment. Goal of the research in the project AVAntSolar is to support the development of better techniques for the production of solar silicon, using expertise on electrical activity of crystal defects and specific diagnostic techniques. Another project for using new silicon materials for the energy efficient production of solar cells together with the company Conergy was started. A n n u A l R e p o R t 2 0 0 9 27
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