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Deliverables and Services - IHP Microelectronics

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A N G e B o t e u N d L e I S t u N G e N – d e L I V e r A B L e S A N d S e r V I C e S<br />

- Beratung zu drahtlosen Sensornetzen und deren<br />

Anwendungen<br />

- Beratung zu fehlertolerantem Design für Anwendungen<br />

in der Raumfahrt und der Automobilindustrie<br />

Transfer von Technologien und Technologie-Modulen<br />

Das <strong>IHP</strong> bietet den Transfer seiner 0,25-µm-BiCMOS-<br />

Technologien und Technologiemodule (HBT, LDMOS)<br />

an. Die technologischen Parameter entsprechen weitgehend<br />

den oben für MPW & Prototyping genannten.<br />

Unterstützung bei Prozess-Modulen<br />

Das <strong>IHP</strong> bietet Unterstützung bei der Realisierung spezieller<br />

Prozess-Module für Forschung und Entwicklung<br />

und für Prototyping bei geringen Volumina für St<strong>and</strong>ard-Prozess-Module<br />

und Prozess-Schritte.<br />

Verfügbar sind u.a. folgende Prozess-Module:<br />

- St<strong>and</strong>ard-Prozesse (Implantation, Ätzen, CMP &<br />

Abscheidung von Schichtstapeln wie thermisches<br />

SiO 2 , PSG, Si 3 N 4 , Al , TiN, W)<br />

- Epitaxie (Si, Si:C, SiGe, SiGe:C)<br />

- Optische Lithographie (i-Linie und 248 nm bis<br />

hinab zu 100 nm Strukturgröße)<br />

- Verkürzte Prozessabläufe.<br />

- Elektrische Messungen und Tests.<br />

Fehleranalyse und Diagnostik<br />

Das <strong>IHP</strong> bietet Unterstützung bei der Ausbeuteerhöhung<br />

durch Fehleranalyse mit modernen Ausrüstungen<br />

wie z.B. AES, AFM, FIB, LST, REM, SIMS, ToFSIMS, STM<br />

und TEM.<br />

- Consultancy for wireless sensor networks <strong>and</strong><br />

applications<br />

- Consultancy for fault tolerant design for space<br />

applications <strong>and</strong> automotive applications<br />

transfer of technologies <strong>and</strong> technology Modules<br />

IHp offers its 0.25 µm BiCMoS technologies <strong>and</strong> technology<br />

modules (HBt-Modules, lDMoS-Modules) for<br />

transfer. the technological parameters comply to a<br />

large extent with the parameters described above for<br />

MpW & prototyping.<br />

process Module Support<br />

IHp offers support for advanced process modules for<br />

research <strong>and</strong> development purposes <strong>and</strong> small volume<br />

prototyping.<br />

process modules available include:<br />

- St<strong>and</strong>ard processes (implantation, etching,<br />

CMp & deposition of layer stacks such<br />

as thermal Sio 2 , pSG, Si 3 n 4 , Al , tin, W)<br />

- epitaxy (Si, Si:C, SiGe, SiGe:C)<br />

- optical lithography (i-line <strong>and</strong> 248 nm down<br />

to 100 nm structure size)<br />

- Short-flow processing.<br />

- electrical characterization <strong>and</strong> testing.<br />

Failure Mode Analysis <strong>and</strong> diagnostics<br />

IHp offers support for yield enhancement through failure<br />

mode analysis with state-of-the-art equipment,<br />

including AeS, AFM, FIB, lSt, SeM, SIMS, toFSIMS, StM<br />

<strong>and</strong> teM.<br />

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an: For more information please contact:<br />

Dr. Wolfgang Kissinger (General contact) Dr. René Scholz (MPW & Prototyping contact)<br />

<strong>IHP</strong> <strong>IHP</strong><br />

Im Technologiepark 25 Im Technologiepark 25<br />

15236 Frankfurt (Oder), Germany 15236 Frankfurt (Oder), Germany<br />

Email: kissinger@ihp-microelectronics.com Email : scholz@ihp-microelectronics.com<br />

Tel: +49 335 56 25 410 Tel : +49 335 56 25 647<br />

Fax: +49 335 56 25 222 Fax +49 335 56 25 327<br />

A n n u A l R e p o R t 2 0 0 9

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