CRYSTALSIX - Schoonover, Inc.
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CrystalSix Sensor Operating Manual<br />
Table Of Contents<br />
Chapter 1<br />
Sensor Specifications<br />
1.1 Specifications for CrystalSix Sensor 750-446-G1 . . . . . . . . . . . . . . . . .1-1<br />
1.1.1 Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2<br />
1.1.1.1 Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2<br />
1.1.1.2 Other. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2<br />
1.1.1.3 Utilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-2<br />
1.1.2 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3<br />
1.1.3 Unpacking Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-3<br />
1.1.4 Inventory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1-4<br />
IPN 074-155G<br />
Chapter 2<br />
Sensor Installation<br />
2.1 Crystals in the CyrstalSix Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1<br />
2.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-1<br />
2.1.2 Care of the Ceramic Retainer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-2<br />
2.2 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4<br />
2.2.1 IC/5 Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-4<br />
2.2.2 XTC/2 or XTC/C Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-5<br />
2.2.3 IC/4 or IC/4 PLUS Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-6<br />
2.2.4 IC-6000 or XTC Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7<br />
2.3 General Guidelines for CrystalSix Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2-7<br />
2.3.1 Crystal Sensor Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11<br />
2.4 CrystalSix Sensor Installation when used with an IC/5 . . . . . . . . . . . . 2-13<br />
2.4.1 Programming the Relay Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13<br />
2.4.2 Wiring the Relay Outputs with Relay I/O boards 760-162-G1 or<br />
760-162-G1/G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13<br />
2.5 CrystalSix Sensor Installation when used with an XTC/2 or XTC/C . . . 2-14<br />
2.6 CrystalSix Sensor Installation when used with an IC/4 or IC/4 PLUS . .2-14<br />
2.6.1 Programming the Relay Outputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-14<br />
2.6.2 Wiring the Relay Outputs with Relay I/O boards 755-122-G1 or<br />
755-122-G1/G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-15<br />
2.7 CrystalSix Sensor Requirement When Not Installed With<br />
An IC/5, XTC/2, XTC/C, IC/4, or IC/4 PLUS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-17<br />
TOC - 1
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