CRYSTALSIX - Schoonover, Inc.

CrystalSix Sensor Operating Manual
Chapter 3
Installation of the Shutter Control Valve Assembly
3.1 Installation with 1” Bolts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Installation with 2 3/4” Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3 Electrical and Pneumatic Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3.1 Electrical . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Chapter 4
Maintenance
4.1 General precautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Maintain the Temperature of the Crystal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Use the Optimum Crystal Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.3 Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Crystal Holder Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3 Retainer Spring Adjustment Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.4 Alignment instruction for INFICON CrystalSix sensor (IPN 750-446) . . 4-3
4.4.1 Alignment Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.4.2 Disassembly Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.4.3 Assembly Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.5 Troubleshooting the CrystalSix Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.6 Replacing the Bellows Assembly [lPN 750286-P2] . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
Chapter 5
Feedthrough Outline Drawings
IPN 074-155G
TOC - 2