Matias URDAMPILLETA - TEL

tel-00770488, version 1 - 7 Jan 2013
(a)
Hauteur (nm)
125
100
75
50
25
0
0
2
4
6
8
Métal
UV3
10
Position latérale (µm)
(b)
(c) (d)
Hauteur (nm)
125
100
75
50
25
0
UV3
LOR3A
0
2
4
6
8
10
Position latérale (µm)
2000 −1 2000 −2 400
85¦C