neue Endversion16112006.indd - ULV Leoben - Montanuniversität ...
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Leitfähigkeits-<br />
Rasterkraftmikroskopie<br />
Andrey Andreev<br />
Institut für Physik<br />
Scannig Probe Microscopy Group<br />
an der MUL seit: 1/2005<br />
Zur Person:<br />
Dr. Univ. Nizhniy Novgorod, Rußland (1990). Nizhniy Novgorod Univ.<br />
& Inst. f. Mikrostrukturphysik der Russ. Akademie der Wissenschaften<br />
(1981-2002). PostDoc: JK Univ. Linz (1994-96). Forschungsassistent: JK<br />
Univ. Linz (1999-2004). Seit 2005 Univ-Ass. an der MUL<br />
Universitätslehrerverband der<br />
<strong>Montanuniversität</strong> <strong>Leoben</strong> (<strong>ULV</strong>)<br />
Leitfähigkeitsrasterkraftmikroskopie (C-AFM) erlaubt es, gleichzeitig Oberflächentopographie<br />
und elektrische Eigenschaften von funktionalen Dünnschichten auf der<br />
Nanometerskala zu charakterisieren.<br />
Spitzen:<br />
mit hoch dotiertem Diamant<br />
beschichtete Si-Spitzen<br />
Kooperationen:<br />
Johannes Kepler Universität Linz<br />
University of California<br />
Technische Universität Graz<br />
Technische Universität Dresden<br />
FZ Rossendorf<br />
Zukünftige Aspekte:<br />
Aufbau der s.g. „Kelvin Probe“-<br />
Rasterkraftmikroskopie in <strong>Leoben</strong>:<br />
Austrittsarbeit von Halbleiterschichten<br />
kann auf Nanometerskala<br />
gemessen werden<br />
Strombilder von ZrO 2 /Si-Strukturen<br />
mit unterschiedlicher ZrO 2 -Dicken<br />
Wie bei einem gewöhnlichen Rasterkraftmikroskop tastet<br />
das C-AFM mit einer Spitze die Oberfläche einer Probe ab.<br />
Während der Aufnahme der Topographie wird gleichzeitig<br />
eine Spannung zwischen Oberfäche und leitfähige Spitze<br />
angelegt: es entsteht ein Strombild mit hoher lateraler Auflösung.<br />
Wir können auch einen beliebigen Punkt auf der Oberfläche<br />
ansteuern und dann eine Spannungsrampe anlegen: so<br />
wird eine lokale I(U)-Kurve gemessen.<br />
Unterschiedliche Anwendungen der C-AFM:<br />
S. Kremmer, et al. J. Appl. Phys. 97 (2005), 074315.<br />
Strombild von einer Piezokeramik<br />
in der Nähe von einer Elektrode<br />
Forschungsschwerpunkte:<br />
C-AFM charakterisierung von Silizium- und anderen<br />
Gateoxiden auf der Nanometerskala<br />
C-AFM charakterisierung von Piezo-und Elektrokeramiken<br />
Untersuchung von selbstorganisierten organischen<br />
Halbleiterschichten<br />
Elektrische charakterisierung von organischen Bauelementen<br />
auf der Nanometerskala
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