Nanotechnologie in der Schule - Prof. Dr. Thomas Wilhelm
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5 Spitzenpräparation<br />
Abb. 5.1: Rasterelektronenaufnahme e<strong>in</strong>er geschnittenen Spitze [Ric01]<br />
5.2 Ätzmethode<br />
E<strong>in</strong>e deutlich günstigere und bessere Variante, Spitzen für das Rastertunnelmikroskop her-<br />
zustellen ist das elektrochemische Ätzen. Hierbei verwendet man meist e<strong>in</strong>en <strong>Dr</strong>aht aus<br />
Wolfram. Jedoch oxidiert Wolfram sehr schnell an Luft. Aus diesem Grund sollte vor je<strong>der</strong><br />
Spitzenherstellung <strong>der</strong> <strong>Dr</strong>aht beispielsweise mit e<strong>in</strong>em fe<strong>in</strong>en Schleifpapier „gere<strong>in</strong>igt“ wer-<br />
den. Anschließend wird <strong>der</strong> <strong>Dr</strong>aht <strong>in</strong> e<strong>in</strong>er 20%-igen NaOH-Lösung geätzt. Diese Methode<br />
wurde auch im Rahmen dieser Zulassungsarbeit angewandt. Bei Spannungen größer als<br />
+1, 43 V setzt an <strong>der</strong> Kathode folgende Reaktion e<strong>in</strong> [Sch97]:<br />
= −2, 48 V<br />
Kathode 6 H2O + 6 e – −→ 3 H2 + 6 OH – ε0 red<br />
Anode W + 8 OH – −→<br />
2 –<br />
WO4 + 4 H2O + 6e – ε0 ox = −1, 05 V<br />
W + 2 OH – +2H2O −→<br />
2 –<br />
WO4 + 3 H2 ε0 = +1, 43 V<br />
Die Ätzgeschw<strong>in</strong>digkeit ist am Übergang Luft-Lauge am größten [Sch97]. Folglich nimmt<br />
<strong>der</strong> <strong>Dr</strong>aht an dieser Stelle am schnellsten ab bis er irgendwann unter se<strong>in</strong>em Eigengewicht<br />
abreißt. In diesem Moment ist <strong>der</strong> Ätzprozess zu stoppen, da ansonsten die Spitze weiter<br />
abgeätzt und wie<strong>der</strong> run<strong>der</strong> würde. Dies erreicht man mit e<strong>in</strong>er geschickten Regelelektronik<br />
(siehe Abschnitt 6.2.2 auf Seite 77). F<strong>in</strong>det <strong>der</strong> Abschaltvorgang im richtigen Moment statt,<br />
kann man davon ausgehen, dass man e<strong>in</strong>e nahezu ideale Spitze erhält.<br />
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