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Nanotechnologie in der Schule - Prof. Dr. Thomas Wilhelm

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h<br />

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4.1 Historisches<br />

Für U = 100 kV ergibt sich beispielsweise e<strong>in</strong> χ = 1, 4297 und daraus e<strong>in</strong>e Wellenlänge<br />

von λ = 0, 0037 nm. Diese Wellenlänge ist <strong>der</strong> hun<strong>der</strong>ttausendste Teil <strong>der</strong> Wellenlänge von<br />

violettem Licht. Dementsprechend vergrößert sich auch das Auflösungsvermögen.<br />

Jedoch ist das TEM nur mit E<strong>in</strong>schränkungen nutzbar. Es eignet sich hervorragend für die<br />

Beobachtung von Volumeneigenschaften von Festkörpern, jedoch s<strong>in</strong>d Oberflächenstruk-<br />

turen nur sehr bed<strong>in</strong>gt auflösbar. Die für die Transmission notwendige Elektronenenergie<br />

nimmt aufgrund von Streuverlusten stark mit <strong>der</strong> Dicke <strong>der</strong> zu untersuchenden Probe<br />

zu. Man kann jedoch nur schwer mit Elektronen, die e<strong>in</strong>e Energie über 100 keV haben,<br />

arbeiten. Aus diesem Grund ist die Transmissionsmikroskopie nur auf sehr dünne Objek-<br />

te anwendbar. Jedoch unterscheiden sich <strong>der</strong>en Eigenschaften signifikant von denen <strong>der</strong><br />

Volumen-Materie. Außerdem kann e<strong>in</strong> Elektron mit ger<strong>in</strong>ger Energie sehr leicht von La-<br />

dungen sowie magnetischen Fel<strong>der</strong>n <strong>in</strong>nerhalb <strong>der</strong> zu untersuchenden Materie bee<strong>in</strong>flusst<br />

werden und so das Messergebnis deutlich verfälschen [B<strong>in</strong>81],[Rub04, Seite 50].<br />

Bereits 1956 war es möglich, e<strong>in</strong>zelne atomare Netzebenen mit e<strong>in</strong>em Abstand von 1, 2 nm<br />

<strong>in</strong> e<strong>in</strong>igen 10 nm dicken e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>en Schichten aufzulösen [Rub04, Seite 50]. Heutzutage<br />

kann man mit dem TEM durchaus Abstände von weniger als 0, 1 nm auflösen.<br />

4.1.5 Das Rastertunnelmikroskop<br />

Diese genannten Nachteile versucht das Rastertunnelmikroskop zu kompensieren. E<strong>in</strong><br />

großer Unterschied zu allen bis dato bekannten Mikroskoptypen ist, dass ke<strong>in</strong>e freien Teil-<br />

chen, seien es Photonen o<strong>der</strong> Elektronen, verwendet werden. Folglich s<strong>in</strong>d ke<strong>in</strong>e Teilchen-<br />

quellen und daher auch ke<strong>in</strong>e L<strong>in</strong>sen o<strong>der</strong> elektromagnetische Fel<strong>der</strong> zur Fokussierung des<br />

Teilchenstrahls notwendig. E<strong>in</strong>zig die <strong>in</strong> <strong>der</strong> Probe bef<strong>in</strong>dlichen Elektronen werden als<br />

Oberflächen<strong>in</strong>formationsquelle verwendet.<br />

Historische Entwicklung<br />

1981 bekamen die Forscher Gerd B<strong>in</strong>nig und He<strong>in</strong>rich Rohrer vom IBM Zurich Re-<br />

search Laboratory, Rüschlikon, Schweiz, den Nobelpreis <strong>in</strong> Physik für die Entwicklung des<br />

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