Diffusionspumpe - DPS-Vakuum
Diffusionspumpe - DPS-Vakuum
Diffusionspumpe - DPS-Vakuum
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Betriebsanleitung<br />
inkl. Herstellererklärung<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
DIF 400<br />
BP 805 177 BD (0206) 1
Produktidentifikation<br />
Gültigkeit<br />
Bestimmungsgemässer<br />
Gebrauch<br />
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich.<br />
Übertragen Sie deshalb diese Angaben auf das Ebenbild.<br />
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar<br />
Typ:<br />
No:<br />
F-No:<br />
V: Hz kW<br />
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer PTD07510.<br />
Sie finden die Artikelnummer (No) auf dem Typenschild.<br />
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong>n dienen dem Erzeugen von Hochvakuum.<br />
2 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
Inhalt<br />
Produktidentifikation 2<br />
Gültigkeit 2<br />
Bestimmungsgemässer Gebrauch 2<br />
1 Beschreibung 4<br />
1.1 Übersicht 4<br />
1.2 Funktion 5<br />
1.3 Verwendung einer <strong>Diffusionspumpe</strong> in einem Pumpstand 5<br />
2 Sicherheit 6<br />
2.1 Verwendete Symbole 6<br />
2.2 Personalqualifikation 6<br />
2.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 6<br />
2.4 Verantwortung und Gewährleistung 7<br />
3 Technische Daten 8<br />
4 Einbau 10<br />
4.1 Transportsicherung entfernen 11<br />
4.2 Cold Cap montieren 12<br />
4.3 Betriebsmittel einfüllen 16<br />
4.4 <strong>Vakuum</strong>anschluss 18<br />
4.5 Kühlwasseranschluss 20<br />
4.6 Elektrischer Anschluss 22<br />
4.7 Temperaturschutzschalter-Befestigung 26<br />
4.8 Temperaturmelder-Befestigung 26<br />
5 Erste Inbetriebnahme 27<br />
6 Betrieb 28<br />
7 Ausbau 30<br />
7.1 Elektrischer Anschluss 31<br />
7.2 Kühlwasseranschluss 33<br />
7.3 <strong>Vakuum</strong>anschluss 33<br />
7.4 Cold Cap demontieren 34<br />
7.5 Betriebsmittel ablassen 36<br />
8 Störungsbehebung 39<br />
8.1 Temperaturschutzschalter (Option) zurücksetzen 39<br />
9 Instandhaltung / Instandsetzung 40<br />
9.1 Betriebsmittelstand kontrollieren 41<br />
9.2 Betriebsmittel nachfüllen 41<br />
9.3 <strong>Diffusionspumpe</strong> reinigen, Düsensatz ersetzen 42<br />
9.4 Heizplatte ersetzen 45<br />
10 Optionen 52<br />
10.1 Kühlwasserwächter 52<br />
10.2 Temperaturschutzschalter 52<br />
10.3 Temperaturmelder 52<br />
10.4 Baffle 53<br />
10.5 Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung 53<br />
11 Verbrauchsmaterial 54<br />
11.1 Betriebsmittel 54<br />
12 Ersatzteile 55<br />
12.1 Dichtungssatz 55<br />
12.2 Heizplatte 56<br />
12.3 Heizplatten-Kontaktpaste 56<br />
12.4 Düsensatz 56<br />
13 Produkt zurücksenden 57<br />
14 Produkt entsorgen 57<br />
Kontaminationserklärung 58<br />
Herstellererklärung 59<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 3
1 Beschreibung<br />
1.1 Übersicht<br />
Temperaturschutzschalter<br />
Temperaturmelder<br />
Kühlwasserkreislauf für das<br />
Cold Cap<br />
Kühlwasseranschlüsse für<br />
das Cold Cap<br />
Kühlwasseranschluss für<br />
das Gehäuse (Rücklauf)<br />
Vorvakuumanschluss<br />
Kühlwasseranschluss für<br />
das Gehäuse (Vorlauf)<br />
Anschluss für die Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung<br />
(Option)<br />
Angeschweisste Mutter<br />
zum Abstützen des Gehäuses<br />
Vorvakuumbaffle<br />
zum Reduzieren des<br />
Betriebsmittelverbrauchs<br />
bei hohem Gasdurchsatz<br />
Heizung zum Erhitzen<br />
des Betriebsmittels<br />
Schauglas zum Kontrollieren<br />
des Betriebsmittelstandes<br />
Hochvakuumanschluss<br />
Kühlwasserkreislauf für<br />
das Gehäuse<br />
Gehäuse<br />
Befestigungssockel für den<br />
Temperaturschutzschalter<br />
Elektrische Anschlussdose<br />
Befestigungssockel für den<br />
Temperaturmelder<br />
Cold Cap zum Reduzieren<br />
der Betriebsmittelrückströmung<br />
von der<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> in die<br />
<strong>Vakuum</strong>kammer<br />
Düsensatz zum<br />
Beschleunigen und<br />
Lenken des Betriebsmitteldampfes<br />
Der Temperaturschutzschalter (Option) verhindert das Überhitzen der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Der Temperaturmelder (Option) wird in Verbindung mit einer Pumpstandsteuerung<br />
eingesetzt. Er meldet der Pumpstandsteuerung, dass die Betriebstemperatur erreicht<br />
ist. Die Betriebstemperatur liegt je nach verwendetem Betriebsmittel zwischen<br />
150 °C und 180 °C am Befestigungssockel.<br />
4 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
1.2 Funktion<br />
Betriebsmittelkreislauf<br />
Pumpwirkung<br />
1.3 Verwendung einer<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> in<br />
einem Pumpstand<br />
Der Betriebsmitteldampfstrahl<br />
wird durch den<br />
Düsensatz beschleunigt<br />
und in einem bestimmten<br />
Neigungswinkel auf das<br />
gekühlte Gehäuse gelenkt.<br />
Die Heizung erhitzt das<br />
im Siederaum befindliche<br />
Betriebsmittel bis zur<br />
Verdampfung.<br />
Strömungsrichtung der<br />
Gasmoleküle<br />
An der gekühlten Gehäusewand<br />
kondensiert<br />
das Betriebsmittel und<br />
fliesst als dünner Ölfilm<br />
in den Siederaum zurück.<br />
Purifikationszone<br />
Siederaum<br />
Der Vorvakuumdruck gewährleistet das Ausbreiten des Betriebsmitteldampfstrahles<br />
in der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Gasmoleküle aus dem Bereich des Hochvakuumanschlusses, die in den Betriebsmitteldampfstrahl<br />
gelangen, erhalten einen Impuls in Richtung des Dampfstrahles,<br />
wodurch eine Pumpwirkung entsteht.<br />
Dabei können Gasmoleküle in das Betriebsmittel hineindiffundieren. Das Betriebsmittel<br />
durchläuft auf dem Rücktransport in den Siederaum eine Zone erhöhter<br />
Temperatur, die Purifikationszone. In der Purifikationszone werden leichte Verunreinigungen<br />
und Gasmoleküle vom Betriebsmittel getrennt und ebenfalls an die<br />
Vorvakuumpumpe abgegeben.<br />
Beispiel eines <strong>Vakuum</strong>schemas:<br />
<strong>Vakuum</strong>kammer<br />
Belüftungsventil<br />
Hochvakuummessröhre<br />
Hochvakuumventil<br />
Baffle<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
Vorvakuumventil<br />
Vorvakuumpumpe<br />
Bypassventil<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Bypassleitung<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 5
2 Sicherheit<br />
2.1 Verwendete Symbole<br />
2.2 Personalqualifikation<br />
2.3 Grundlegende<br />
Sicherheitsvermerke<br />
GEFAHR<br />
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.<br />
WARNUNG<br />
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.<br />
Hinweis<br />
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen<br />
oder geringfügigen Sachschäden führen.<br />
Tip, Empfehlung<br />
6,1 Massangaben in mm<br />
� � Siehe Seite ...<br />
Fachpersonal<br />
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen<br />
ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und<br />
über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend<br />
geschult wurden.<br />
�� Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen<br />
Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.<br />
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen (� � 8) und<br />
Prozessmedien.<br />
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung<br />
des Produkts.<br />
�� Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und<br />
Einhaltung der Schutzmassnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in<br />
diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.<br />
�� Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination.<br />
Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen<br />
Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein.<br />
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter.<br />
6 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
2.4 Verantwortung und<br />
Gewährleistung<br />
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der<br />
Betreiber oder Drittpersonen<br />
�� dieses Dokument missachten<br />
�� das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen<br />
�� am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen, usw.) vornehmen<br />
�� das Produkt mit Zubehör und Optionen betreiben, welches in den zugehörigen<br />
Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.<br />
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt<br />
beim Betreiber.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 7
3 Technische Daten<br />
<strong>Vakuum</strong>anschluss<br />
Elektrischer Anschluss<br />
Kenndaten<br />
Betriebsmittel<br />
Vorvakuumpumpe<br />
Allgemein<br />
Hochvakuumanschluss<br />
Klammerflansch DN 400 ISO-K 1)<br />
Vorvakuumanschluss<br />
Klammerflansch DN 100 ISO-K<br />
Netzspannungen<br />
Frequenz<br />
3×400 / 3×230 VAC<br />
50 … 60 Hz<br />
Leistungsaufnahme 5.4 kW (3×1.8 kW)<br />
Saugvermögen für Luft 2) bei 1×10 -4 mbar 5000 l/s<br />
Saugleistung für Luft 2) bei
Abmessungen<br />
DN 400 ISO-K*<br />
Hochvakuumanschluss<br />
Vorvakuumanschluss<br />
Elektrischer Anschluss<br />
DN 100 ISO-K<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 9<br />
M20<br />
Kühlwasseranschluss ø13 mm<br />
Schauglas<br />
* Ohne Rille für Sprengring
4 Einbau<br />
Sichtkontrolle<br />
Berührungsschutz<br />
Transport<br />
Wärmeabstrahlung<br />
>25 kg<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Beschädigtes Produkt<br />
Die Inbetriebnahme eines beschädigten Produktes kann lebensgefährlich<br />
sein.<br />
Bei sichtbaren Beschädigungen das Produkt nicht einbauen.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Heisse Oberfläche<br />
Im Betrieb wird die <strong>Diffusionspumpe</strong> auf �220 °C erwärmt. Das Berühren<br />
des unteren Gehäuseteils kann zu Verbrennungen führen.<br />
Bauen Sie die <strong>Diffusionspumpe</strong> so ein, dass ein unabsichtliches Berühren<br />
unmöglich ist.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Schweres Produkt (75 kg)<br />
Das Heben und Transportieren des Produkts durch eine Person kann<br />
zu Verletzungen führen.<br />
Das Produkt gemäss den örtlichen Vorschriften und Richtlinien des<br />
Betreiberlandes heben und transportieren.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Brandgefahr<br />
Durch Wärmeabstrahlung der Heizung können sich Teile in der Nähe<br />
entzünden.<br />
Bei weniger als 150 mm Bodenfreiheit zwischen Gehäuseboden und<br />
Unterlage sind Isolationsplatten zum Dämmen der Wärmestrahlung<br />
anzubringen.<br />
10 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
>150 mm
4.1 Transportsicherung<br />
entfernen<br />
Schutzdeckel<br />
Transportsicherung<br />
Vorgehen<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich<br />
Verschmutzungen erhöhen die Abpumpzeit.<br />
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug<br />
benutzen.<br />
Hinweis<br />
Schutzdeckel aufbewahren und nach jedem Ausbau wieder aufsetzen.<br />
Hinweis<br />
Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder<br />
montieren.<br />
Transportsicherung und Schutzdeckel entfernen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 11
4.2 Cold Cap montieren<br />
Vorgehen<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich<br />
Verschmutzungen erhöhen die Abpumpzeit.<br />
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug<br />
benutzen.<br />
� Zentrierbolzen herausschrauben.<br />
12 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
� Cold Cap befestigen.<br />
O-Ring, FPM<br />
ø20.24×2.62<br />
Unterlagscheibe<br />
Innensechskantschraube<br />
M6×16<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 13<br />
Gr. 5<br />
� Kühlrohr befestigen.<br />
Unterlagscheibe<br />
Mutter<br />
gegenhalten
� Zentrierbolzen bis auf mechanischen Anschlag hineinschrauben.<br />
� Cold Cap-Position kontrollieren und gegebenenfalls korrigieren.<br />
Gegebenenfalls<br />
Mutter lösen<br />
und Cold Cap-<br />
Position korrigieren.<br />
Zentrierbolzen muss mit<br />
der Oberkante des<br />
Cold Caps bündig sein.<br />
Oberkante des<br />
Cold Caps<br />
Zentrierbolzen<br />
14 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
� Winkelstück montieren.<br />
� Schlauchtülle montieren.<br />
Schlauchtülle ø13<br />
Gewinde<br />
abdichten<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 15
4.3 Betriebsmittel einfüllen<br />
Betriebsmittel<br />
Betriebsmittelwechsel<br />
Auswahlkriterien<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich<br />
Verschmutzungen erhöhen die Abpumpzeit.<br />
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug<br />
benutzen.<br />
Da die <strong>Diffusionspumpe</strong> gereinigt ausgeliefert wird, kann eines der unten aufgeführten<br />
Betriebsmittel frei ausgewählt werden.<br />
Bei jedem Betriebsmittelwechsel muss die <strong>Diffusionspumpe</strong> gereinigt werden<br />
(� � 42).<br />
Die Wahl des Betriebsmittels hängt von der vakuumtechnischen Anwendung ab. In<br />
der Tabelle sind einige Auswahlkriterien aufgeführt.<br />
Mineralöl Silikonöl Pentaphenyläther<br />
66 A DC 704 AN 175 Santovac 5<br />
Bevorzugter Druckbereich 5×10 -7 … 10 -3 mbar 10 -7 … 10 -3 mbar 10 -8 … 10 -3 mbar 10 -7 … 10 -3 Beständigkeit<br />
mbar<br />
gegen Chemikalien<br />
gut<br />
besser<br />
sehr gut<br />
gegen Oxidation<br />
gut<br />
besser<br />
sehr gut<br />
gegen thermische Zersetzung<br />
gut<br />
besser<br />
sehr gut<br />
Theoret. Dampfdruck bei 20 °C 4×10 -8 mbar 2×10 -8 mbar 4×10 -10 mbar 1×10 -10 mbar<br />
Weitere Informationen finden Sie in den Verkaufsunterlagen.<br />
Bestellnummern � � 54.<br />
16 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
Einfüllen<br />
� Vorvakuumbaffle entfernen.<br />
� Betriebsmittel durch den Vorvakuumanschluss einfüllen, bis der optimale<br />
Betriebsmittelstand erreicht ist.<br />
Hinweis<br />
� Vorvakuumbaffle einsetzen.<br />
Achten Sie beim Einfüllen auf den senkrechten Stand der<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Das Betriebsmittel verteilt sich nur langsam in der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Darum kann der aktuelle Betriebsmittelstand erst nach<br />
�3 min abgelesen werden.<br />
Betriebsmittelfüllmenge:<br />
maximal 3000 cm 3<br />
optimal 2500 cm 3<br />
minimal 2000 cm 3<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 17
4.4 <strong>Vakuum</strong>anschluss<br />
Einbaulage<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich<br />
Verschmutzungen erhöhen die Abpumpzeit.<br />
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug<br />
benutzen.<br />
Die <strong>Diffusionspumpe</strong> muss unbedingt senkrecht eingebaut werden. Wir empfehlen,<br />
die <strong>Diffusionspumpe</strong> an den angeschweissten Muttern abzustützen.<br />
Abstützung<br />
Sicherungsmutter<br />
Gewindestange (M20)<br />
schwenkbare Druckscheibe<br />
18 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
4.4.1 Hochvakuumanschluss<br />
4.4.2 Vorvakuumanschluss<br />
Der Hochvakuumanschluss erfolgt mittels einer Klammerflanschverbindung der<br />
Nennweite DN 400 ISO-K.<br />
SW19<br />
8 Klammern erforderlich<br />
Bestellnummer:<br />
PF300101-T<br />
(1 Klammer enthalten)<br />
DN 400 ISO-K<br />
O-Ring, FPM<br />
ø405.26×7<br />
(im Lieferumfang enthalten)<br />
Weitere Informationen finden Sie in den Verkaufsunterlagen.<br />
Der Vorvakuumanschluss erfolgt mittels einer Klammerflanschverbindung der<br />
Nennweite DN 100 ISO-K.<br />
SW17<br />
4 Klammern erforderlich<br />
Bestellnummer:<br />
PF300100-T<br />
(1 Klammer enthalten)<br />
DN 100 ISO-K<br />
O-Ring, FPM<br />
ø107.2×5.34<br />
(im Lieferumfang enthalten)<br />
Weitere Informationen finden Sie in den Verkaufsunterlagen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 19
4.5 Kühlwasseranschluss<br />
Kühlwasserkreisläufe<br />
Minimaler Kühlwasserdurchfluss<br />
für den Gehäusekreislauf<br />
Druckabfall im Vor- und<br />
Rücklauf<br />
Anforderungen an das<br />
Kühlwasser<br />
Um eine optimale Kühlung der <strong>Diffusionspumpe</strong> zu erreichen, sind folgende Parameter<br />
massgebend:<br />
�� Kühlwassertemperatur im Rücklauf und<br />
�� Kühlwasserdurchfluss.<br />
Die <strong>Diffusionspumpe</strong> hat zwei getrennte Kühlwasserkreisläufe:<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für das Cold Cap<br />
��30°C<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für das Gehäuse<br />
Anschluss für<br />
den Vorlauf<br />
20 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
��30°C<br />
Anschluss für<br />
den Rücklauf<br />
Da die Kühlwassertemperatur im Rücklauf nur im Betrieb ermittelt werden kann,<br />
empfehlen wir, anhand des folgenden Diagramms eine Voreinstellung vorzunehmen:<br />
[l/h]<br />
1000<br />
Min. Kühl- 800<br />
wasserdurch 600<br />
fluss bei einer<br />
Kühlwassertemperatur<br />
von �30 °C<br />
im Rücklauf<br />
400<br />
300<br />
200<br />
0<br />
24 °C 20 °C 12 °C 0 1 2 [bar]<br />
Kühlwassertemperatur<br />
im Vorlauf [°C]<br />
Hinweis<br />
3 4 5<br />
�p Druckabfall im<br />
Gehäusewasserkreislauf<br />
Beachten Sie den Druckabfall im Vor- und Rücklauf der Kühlwasserkreisläufe.<br />
� � 300003636/TS1/000/04.
Anschluss<br />
In die Vorläufe sind Absperrventile einzubauen. Die Rückläufe sollten durch Kühlwasserwächter<br />
überwacht werden, die bei ungenügendem Kühlwasserdurchfluss<br />
die Heizung der <strong>Diffusionspumpe</strong> ausschalten.<br />
Kühlwasserwächter<br />
(Option)<br />
Hinweis<br />
Achten Sie darauf, dass die Kühlwasserschläuche das Gehäuse nicht<br />
berühren.<br />
Absperrventil<br />
Kühlwasserwächter<br />
(Option)<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Absperrventil<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Cold Cap<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Gehäuse<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 21
4.6 Elektrischer Anschluss<br />
Personalqualifikation<br />
Vorgehen<br />
Der Netzanschluss erfolgt über das Klemmbrett in der elektrischen Anschlussdose.<br />
Vergleichen Sie vor dem Anschliessen die örtliche Netzspannung mit den Angaben<br />
auf dem Typenschild (� � 2). Falls Sie eine andere Netzspannung haben, nehmen<br />
Sie bitte mit Ihrer nächstgelegenen Pfeiffer Vacuum-Servicestelle Kontakt auf.<br />
Fachpersonal<br />
Der elektrische Anschluss ist von einem Elektrofachmann auszuführen.<br />
� Elektrische Anschlussdose öffnen.<br />
22 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
Gr. 5
3×400 VAC<br />
Sternschaltung (ab Werk)<br />
3×230 VAC<br />
Dreieckschaltung<br />
� Je nach Netzspannung (3×400 VAC / 3×230 VAC) müssen die Drahtbrücken<br />
angeschlossen sein.<br />
Drahtquerschnitt 1.5 mm 2<br />
Drahtquerschnitt 2.5 mm 2<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 23<br />
L1<br />
1.8 kW<br />
L1<br />
1.8 kW<br />
L2 L3<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
1.8 kW<br />
1.8 kW<br />
L2 L3<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
1.8 kW<br />
1.8 kW<br />
N PE<br />
� Netzkabel bereitstellen.<br />
Das Netzkabel muss einer Temperatur von 60 °C standhalten und flexibel<br />
sein.<br />
Netzspannung Strom Kabelquerschnitt *) Netzkabel<br />
3×400 VAC 7.8 A 4×1.5 mm 2<br />
3P+PE<br />
3×230 VAC 13.5 A 4×2.5 mm 2<br />
3P+PE<br />
*)<br />
Kabelquerschnitt nach EN 60204<br />
PE
� Netzkabel vorbereiten.<br />
abmanteln<br />
und ablängen<br />
abisolieren<br />
verdrillen und<br />
Aderendhülsen<br />
und Kabelschuh<br />
aufsetzen<br />
Kabelschuh und<br />
Aderendhülsen<br />
verpressen<br />
24 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
ø4.2<br />
� Netzkabel in die elektrische Anschlussdose einziehen und Adern anklemmen.<br />
� Kabelverschraubung anziehen.<br />
L1<br />
L2<br />
Gr. 2<br />
L3
� Zugentlastungsbride anziehen.<br />
� Elektrische Anschlussdose schliessen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 25<br />
Gr. 5<br />
� Netzkabel an die Steuerung anschliessen.<br />
GEFAHR<br />
Gr. 4<br />
Vorsicht: Netzspannung<br />
Das Arbeiten an spannungsführenden Teilen ist lebensgefährlich.<br />
Die Steuerung muss stromlos und gegen Wiedereinschalten<br />
gesichert sein, bevor die elektrische Verbindung hergestellt<br />
wird.<br />
Hinweis<br />
Netzkabel gemäss den örtlichen Vorschriften installieren. Das<br />
Netzkabel darf das Gehäuse nicht berühren.
4.7 Temperaturschutzschalter-Befestigung<br />
4.8 Temperaturmelder-<br />
Befestigung<br />
Der Temperaturschutzschalter wird mit zwei M4-Schrauben am Befestigungssockel<br />
angeschraubt.<br />
26 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
M4<br />
39<br />
Temperaturschutzschalter<br />
(Option)<br />
Der Temperaturmelder wird mit zwei M4-Schrauben am Befestigungssockel<br />
angeschraubt.<br />
27<br />
M4<br />
Temperaturmelder<br />
(Option)
5 Erste Inbetriebnahme<br />
Heisse Oberfläche<br />
Leicht entzündbare Stoffe<br />
Erhitztes Betriebsmittel<br />
Voraussetzungen<br />
Vorgehen<br />
°C<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Heisse Oberfläche<br />
Das Berühren des Gehäuses (Temperatur � 220 °C) kann zu Verbrennungen<br />
führen.<br />
Schutzhandschuhe tragen.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Brandgefahr<br />
Leicht entzündbare Stoffe können sich in der Nähe der <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
entzünden.<br />
Keine leicht entzündbaren Stoffe in der Nähe der <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
aufbewahren.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Brandgefahr<br />
Erhitztes Betriebsmittel kann sich bei Atmosphärendruck entzünden.<br />
Erhitztes Betriebsmittel nie dem Atmosphärendruck aussetzen, d.h.<br />
die <strong>Diffusionspumpe</strong> darf während des Betriebs nicht belüftet werden.<br />
�� <strong>Diffusionspumpe</strong> eingebaut (� � 10).<br />
�� Temperaturschutzschalter an der Pumpstandsteuerung angeschlossen<br />
(� � 26).<br />
�� Temperaturmelder an der Pumpstandsteuerung angeschlossen (� � 26).<br />
�� Pumpstand betriebsbereit.<br />
Erste Inbetriebnahme<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> betriebsbereit<br />
Betriebsmittelstand kontrollieren (��� 41).<br />
<strong>Vakuum</strong>system auf �0,1 mbar evakuieren.<br />
Wasserkühlungen in Betrieb nehmen (Absperrventile öffnen).<br />
Heizung einschalten.<br />
Anheizzeit abwarten (��� 8).<br />
Die <strong>Diffusionspumpe</strong> erwärmt sich je nach Betriebsmittel<br />
auf die Betriebstemperatur von 150 °C ... 180 °C am<br />
Befestigungssockel des Temperaturmelders.<br />
Temperaturmelder (Option) gemäss separatem Dokument<br />
einstellen.<br />
Kühlwassertemperatur in den Rückläufen kontrollieren.<br />
Erhöhen Sie die Kühlwassermenge, wenn die Kühlwassertemperatur<br />
in einem Rücklauf �30 °C ist.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 27
6 Betrieb<br />
Heisse Oberfläche<br />
Leicht entzündbare Stoffe<br />
Erhitztes Betriebsmittel<br />
Übersicht<br />
°C<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Heisse Oberfläche<br />
Das Berühren des Gehäuses (Temperatur � 220 °C) kann zu Verbrennungen<br />
führen.<br />
Schutzhandschuhe tragen.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Brandgefahr<br />
Leicht entzündbare Stoffe können sich in der Nähe der <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
entzünden.<br />
Keine leicht entzündbaren Stoffe in der Nähe der <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
aufbewahren.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Brandgefahr<br />
Erhitztes Betriebsmittel kann sich bei Atmosphärendruck entzünden.<br />
Erhitztes Betriebsmittel nie dem Atmosphärendruck aussetzen, d.h.<br />
die <strong>Diffusionspumpe</strong> darf während des Betriebs nicht belüftet werden.<br />
Beispiel eines <strong>Vakuum</strong>schemas:<br />
<strong>Vakuum</strong>kammer<br />
Belüftungsventil<br />
Hochvakuummessröhre<br />
Hochvakuumventil<br />
Baffle<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
Vorvakuumventil<br />
Vorvakuumpumpe<br />
Bypassventil<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Vorvakuummessröhre<br />
Bypassleitung<br />
28 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
<strong>Diffusionspumpe</strong> einschalten<br />
Bedingungen für eine betriebsbereite<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> zusammen<br />
mit einem Pumpstand<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> ausschalten<br />
Bedingungen für eine ausser<br />
Betrieb gesetzte <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
zusammen mit einem<br />
Pumpstand<br />
Stillstand<br />
Einschalten<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
betriebsbereit<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
�<br />
Betriebsmittelstand kontrollieren (��� 41).<br />
<strong>Vakuum</strong>system auf �0,1 mbar evakuieren.<br />
Wasserkühlungen in Betrieb nehmen (Absperrventile öffnen).<br />
Heizung einschalten.<br />
Anheizzeit abwarten (��� 8).<br />
�� Während der Anheizzeit sollte das Hochvakuumventil geschlossen sein. Bei<br />
betriebsbereiter <strong>Diffusionspumpe</strong> darf das Hochvakuumventil erst geöffnet<br />
werden, wenn die <strong>Vakuum</strong>kammer auf �0.1 mbar evakuiert ist.<br />
�� Bei geschlossenem Hoch- und Vorvakuumventil kann die <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
betriebsbereit gehalten werden, solange der Vorvakuumdruck in der <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
nicht über die Vorvakuumbeständigkeit von 0.5 mbar ansteigt.<br />
Ausschalten<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
ausser Betrieb<br />
�<br />
�<br />
�<br />
Heizung ausschalten.<br />
Abkühlzeit abwarten (��� 8).<br />
Nach Ablauf der Abkühlzeit Wasserkühlungen ausser<br />
Betrieb nehmen (Absperrventile schliessen).<br />
Nach dem Ausschalten der Heizung ist das Hochvakuumventil sofort, das Vorvakuumventil<br />
um 5 … 10 min verzögert zu schliessen.<br />
Wir empfehlen, das gesamte <strong>Vakuum</strong>system im evakuierten Zustand stillzusetzen.<br />
Belüftungen erhöhen die Desorptionsrate der Innenwände und des Betriebsmittels.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 29
7 Ausbau<br />
Kontamination<br />
Kontakt mit Betriebsmittel<br />
Transport<br />
<strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Voraussetzungen<br />
>25 kg<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Kontaminierte Teile<br />
Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen.<br />
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle<br />
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen<br />
Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Betriebsmittel<br />
Der Kontakt mit dem Betriebsmittel kann Allergien auslösen.<br />
Synthetische Handschuhe tragen.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Schweres Produkt (75 kg)<br />
Das Heben und Transportieren des Produkts durch eine Person kann<br />
zu Verletzungen führen.<br />
Das Produkt gemäss den örtlichen Vorschriften und Richtlinien des<br />
Betreiberlandes heben und transportieren.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich<br />
Verschmutzungen erhöhen die Abpumpzeit.<br />
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug<br />
benutzen.<br />
�� <strong>Diffusionspumpe</strong> ausgeschaltet (� � 29) und auf Raumtemperatur abgekühlt.<br />
�� <strong>Vakuum</strong>system belüftet.<br />
�� Steuerung stromlos.<br />
30 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
7.1 Elektrischer Anschluss<br />
Elektrofachmann<br />
Vorgehen<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Netzspannung<br />
Das Arbeiten an spannungsführenden Teilen ist lebensgefährlich.<br />
Die Steuerung muss stromlos und gegen Wiedereinschalten gesichert<br />
sein, bevor die elektrische Anschlussdose geöffnet wird.<br />
Fachpersonal<br />
Der elektrische Anschluss ist von einem Elektrofachmann zu demontieren.<br />
� Elektrische Anschlussdose öffnen.<br />
� Zugentlastungsbride lösen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 31<br />
Gr. 5<br />
Gr. 4
� Kabelverschraubung lösen.<br />
� Adern lösen und Netzkabel entfernen.<br />
L2<br />
L1<br />
32 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
Gr. 3<br />
� Elektrische Anschlussdose schliessen.<br />
L3<br />
Gr. 2<br />
Gr. 5
7.2 Kühlwasseranschluss<br />
7.3 <strong>Vakuum</strong>anschluss<br />
�� Absperrventile in den Vorläufen schliessen.<br />
�� Schläuche demontieren und Kühlwasserkreisläufe entleeren.<br />
<strong>Vakuum</strong>anschlüsse demontieren.<br />
Absperrventil<br />
schliessen<br />
Absperrventil<br />
schliessen<br />
Restwasser läuft aus<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Cold Cap<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Gehäuse<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 33
7.4 Cold Cap demontieren<br />
� Schlauchnippel demontieren.<br />
Schlauchtülle ø13<br />
� Winkelstück demontieren.<br />
� Zentrierbolzen herausschrauben.<br />
Gewinde<br />
abdichten<br />
34 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
� Kühlrohr lösen.<br />
Unterlagscheibe<br />
� Cold Cap lösen.<br />
gegenhalten<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 35<br />
Mutter<br />
O-Ring, FPM<br />
ø20.24×2.62<br />
Gr. 5<br />
Unterlagscheibe<br />
Innensechskantschraube<br />
M6×16
7.5 Betriebsmittel ablassen<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Betriebsmittel<br />
Der Kontakt mit dem Betriebsmittel kann Allergien auslösen.<br />
Synthetische Handschuhe tragen.<br />
� Düsensatz herausziehen.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: Verformungsgefahr<br />
Die dünnwandigen Aluminiumteile sind leicht verformbar.<br />
Die Aluminiumteile müssen mit besonderer Sorgfalt behandelt<br />
werden.<br />
36 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
� Vorvakuumbaffle herausziehen.<br />
� Betriebsmittel ablassen (oder absaugen).<br />
N<br />
10 l<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe<br />
Betriebsmittel muss speziell entsorgt werden.<br />
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vorschriften<br />
entsorgen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 37
� Vorvakuumbaffle, Düsensatz und Cold Cap wieder montieren.<br />
� Schutzdeckel aufsetzen.<br />
38 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
8 Störungsbehebung<br />
zu wenig<br />
oder<br />
zu viel<br />
Betriebsmittel<br />
Betriebsmittelstand<br />
kontrollieren<br />
8.1 Temperaturschutzschalter<br />
(Option)<br />
zurücksetzen<br />
Saugvermögen<br />
schlecht<br />
Betriebsmittel<br />
verschmutzt<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
reinigen<br />
schlechte<br />
Heizungsauflage<br />
Betriebsmittel<br />
verschmutzt<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
reinigen<br />
Störungsbehebung<br />
Enddruck<br />
schlecht<br />
Instandhaltung / Instandsetzung ��� 40<br />
zu wenig<br />
oder<br />
zu warmes<br />
Kühlwasser<br />
Kühlwasserbedarf<br />
��� 20<br />
Leck im<br />
<strong>Vakuum</strong>system<br />
Leck<br />
beheben<br />
Heizplatte<br />
defekt<br />
Heizplatte<br />
ersetzen<br />
Heizung<br />
funktioniert<br />
nicht<br />
Temperaturschutzschalter<br />
ausgelöst<br />
Temperaturschutzschalter<br />
zurücksetzen<br />
Abschnitt 8.1<br />
Wurde die Heizung durch den Temperaturschutzschalter (Option) ausgeschaltet,<br />
ist wie folgt vorzugehen:<br />
Kühlwassermenge erhöhen<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> ca. 2 min abkühlen lassen<br />
Rückstelltaste drücken<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 39
9 Instandhaltung / Instandsetzung<br />
Kontamination<br />
Kontakt mit Betriebsmittel<br />
Betriebsmittelstand<br />
kontrollieren<br />
Betriebsmittelstand<br />
kontrollieren<br />
und bei Bedarf<br />
Betriebsmittel<br />
nachfüllen<br />
��� 41<br />
Instandhaltung / Instandsetzung<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
reinigen<br />
ausschalten ��� 29<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
reinigen<br />
Heizplatte<br />
ersetzen<br />
Heizplatte<br />
ersetzen<br />
40 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
��� 42<br />
ausbauen ��� 30<br />
GEFAHR<br />
��� 45<br />
Vorsicht: Kontaminierte Teile<br />
Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen.<br />
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle<br />
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen<br />
Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Betriebsmittel<br />
Der Kontakt mit dem Betriebsmittel kann Allergien auslösen.<br />
Synthetische Handschuhe tragen.<br />
Hinweis<br />
Vorsicht: <strong>Vakuum</strong>komponente<br />
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der <strong>Vakuum</strong>komponente.<br />
Beim Umgang mit <strong>Vakuum</strong>komponenten die Regeln in bezug auf<br />
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.
9.1 Betriebsmittelstand<br />
kontrollieren<br />
9.2 Betriebsmittel nachfüllen<br />
Voraussetzungen<br />
Vorgehen<br />
Jede <strong>Diffusionspumpe</strong> hat, abhängig von den Prozessbedingungen, einen Betriebsmittelverbrauch,<br />
welcher proportional zum abgepumpten Gasstrom ist.<br />
Hinweis<br />
Das Kontrollieren des Betriebsmittelstandes ist nur bei kalter <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
möglich.<br />
Betriebsmittelfüllmenge:<br />
maximal 3000 cm3 optimal 2500 cm3 minimal
9.3 <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
reinigen,<br />
Düsensatz ersetzen<br />
Voraussetzung<br />
Düsensatz zerlegen<br />
Da die Reinigungsintervalle stark vom jeweiligen <strong>Vakuum</strong>prozess abhängig sind,<br />
können keine allgemein gültigen Wartungspläne erstellt werden.<br />
Bei sauberen <strong>Vakuum</strong>bedingungen und bei Arbeitsdrücken
� Düsensatz zerlegen.<br />
Einstellschrauben<br />
für die Düsenspalte<br />
nicht verstellen<br />
(��� 44).<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 43<br />
�<br />
Einstellschrauben<br />
für die Düsenspalte<br />
nicht verstellen<br />
(��� 44).<br />
�<br />
10 Tellerfedern
Reinigen<br />
Zusammenbau<br />
� Düsensatz, Vorvakuumbaffle, Cold Cap und Gehäuseinnenwände der<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong> reinigen.<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Reinigungsmittel<br />
Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Umweltschäden<br />
führen.<br />
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften<br />
beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich<br />
deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen<br />
mit den Produktwerkstoffen berücksichtigen (� � 8).<br />
�� Teile mit fettlösendem, nicht scheuerndem Haushaltputzmittel reinigen.<br />
Zum Beseitigen hartnäckiger Verschmutzungen (Crack-Produkte) am<br />
Düsensatz kann auch feinste Stahlwatte verwendet werden.<br />
�� Wir empfehlen, die Teile mit Alkohol nachzuspülen und anschliessend in<br />
einem Ofen oder mit einem Industriefön auf � 50 °C zu erwärmen.<br />
�� Dichtflächen mit einem nichtfasernden, alkoholgetränkten Lappen sorgfältig<br />
reinigen. Trocknen lassen.<br />
�� O-Ringe mit einem nichtfasernden, mit <strong>Vakuum</strong>öl getränkten Lappen<br />
abreiben.<br />
� <strong>Diffusionspumpe</strong> in umgekehrter Reihenfolge zusammenbauen.<br />
Hinweis<br />
�� O-Ringe drallfrei und plan in die Dichtnuten eindrücken.<br />
�� Vorgeschriebene Düsenspalten einhalten:<br />
Düsenspalt 2±0.1 mm<br />
mit Unterlagscheiben<br />
einstellbar<br />
Düsenspalt 0.9±0,1 mm über<br />
die 3 Einstellschrauben<br />
einstellbar<br />
Düsenspalt 1.7±0,2 mm über<br />
die 3 Einstellschrauben<br />
einstellbar<br />
Einstellschrauben mit<br />
Mutter gesichert<br />
44 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
9.4 Heizplatte ersetzen<br />
Personalqualifikation<br />
Voraussetzung<br />
Vorgehen<br />
Fachpersonal<br />
Das Ersetzen einer Heizplatte ist von einem Elektrofachmann auszuführen.<br />
�� <strong>Diffusionspumpe</strong> ausgebaut und Betriebsmittel abgelassen (� � 30).<br />
� <strong>Diffusionspumpe</strong> umkehren.<br />
>25 kg<br />
Mit Schutzdeckel<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Schweres Produkt (75 kg)<br />
Das Heben und Transportieren des Produkts durch eine Person<br />
kann zu Verletzungen führen.<br />
Das Produkt gemäss den örtlichen Vorschriften und Richtlinien<br />
des Betreiberlandes heben und transportieren.<br />
Restliches Betriebsmittel läuft aus<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 45<br />
N
Abdeckung entfernen<br />
� Schrauben lösen.<br />
� Schrauben, Unterlagscheiben und Abdeckung entfernen.<br />
46 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
Elektrischen Anschluss lösen<br />
3×400 VAC<br />
Sternschaltung<br />
3×230 VAC<br />
Dreieckschaltung<br />
� Elektrische Anschlussdose öffnen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 47<br />
Gr. 5<br />
� Defekte Heizplatte mit Hilfe der Schemas ermitteln.<br />
Im folgenden wird angenommen, dass die Heizplatte zwischen den<br />
Anschlussklemmen 1 und 4 defekt ist.<br />
L1<br />
1.8 kW<br />
L1<br />
1.8 kW<br />
L2 L3<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
1.8 kW<br />
1.8 kW<br />
L2 L3<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
1.8 kW<br />
1.8 kW<br />
N PE<br />
PE
� Elektrischen Anschluss der defekten Heizplatte lösen (Annahme: die<br />
Heizplatte zwischen den Anschlussklemmen 1 und 4 ist defekt).<br />
Gr. 2<br />
� Adern aus dem Metallschlauch ziehen.<br />
L2 L3<br />
48 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
L1<br />
L1<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
L2 L3<br />
1 3 5<br />
6 2 4<br />
N PE<br />
PE
Isolationsplatte entfernen<br />
� Isolationsplatte lösen.<br />
� Isolationsplatte entfernen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 49<br />
Gr. 5
Anpressplatte entfernen<br />
� Mutter lösen.<br />
50 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet<br />
24<br />
Anzugsdrehmoment = 100 Nm<br />
Mutter, Unterlagscheibe und Anpressplatte entfernen.
Heizplatte ersetzen<br />
Heizplatte entfernen.<br />
Eingetrocknete Heizplatten-Kontaktpaste entfernen.<br />
Produkt in umgekehrter Reihenfolge zusammenbauen.<br />
Hinweis<br />
�� Gehäuseboden mit Heizplatten-Kontaktpaste einstreichen<br />
und Heizplatte sofort aufsetzen.<br />
Bestellnummer ��� 56<br />
�� Heiz- und Anpressplatte müssen plan aufliegen.<br />
�� Gewinde mit hitzebeständigem Fett einstreichen.<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 51
10 Optionen<br />
10.1 Kühlwasserwächter<br />
10.2 Temperaturschutzschalter<br />
10.3 Temperaturmelder<br />
Der Kühlwasserwächter überwacht den Kühlwasserdurchfluss und schützt somit<br />
die <strong>Diffusionspumpe</strong> vor Überhitzung.<br />
Kühlwasserwächter<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Bestellnummer<br />
Kühlwasserwächter B4747111SE<br />
Blende 8-16 l/min<br />
für den Gehäuse-<br />
Kreislauf B4747311SE<br />
Blende 2-4 l/min<br />
für den Cold Cap-<br />
Kreislauf B4747305SE<br />
Kühlwasserwächter<br />
Vorlauf<br />
Rücklauf<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Cold Cap<br />
Kühlwasserkreislauf<br />
für<br />
das Gehäuse<br />
Der Temperaturschutzschalter verhindert das Überhitzen der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Bestellnummer<br />
PT336514-T<br />
Der Temperaturmelder signalisiert der Pumpstandsteuerung, dass die <strong>Diffusionspumpe</strong><br />
die Betriebstemperatur erreicht hat.<br />
Bestellnummer<br />
PT540077-U<br />
52 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
10.4 Baffle<br />
10.5 Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung<br />
Baffle reduzieren die Betriebsmittelrückströmung der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Weitere Informationen finden Sie in den Verkaufsunterlagen.<br />
Bestellnummer<br />
Wasserbaffle<br />
BFA 400 W PTB03502<br />
Kombibaffle<br />
BFA 400 MF PTB03503<br />
Die Betriebsmittel-Nachfüllvorrichtung TN 101 dient dem Kontrollieren des<br />
Betriebsmittelstandes und dem Nachfüllen des Betriebsmittels ohne Betriebsunterbruch<br />
der <strong>Diffusionspumpe</strong>.<br />
Bestellnummer<br />
PT336076-T<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 53
11 Verbrauchsmaterial<br />
11.1 Betriebsmittel<br />
Mineralöl 66 A<br />
Silikonöl DC 704<br />
Silikonöl AN 175<br />
Pentaphenyläther Santovac 5<br />
Bestellen Sie Verbrauchsmaterial immer mit:<br />
�� Beschreibung und Bestellnummer<br />
Liefermenge Bestellnummer<br />
500 cm 3<br />
2000 cm 3<br />
5000 cm 3<br />
PT480145-T<br />
PT480146-T<br />
PT480147-T<br />
Liefermenge Bestellnummer<br />
500 cm 3<br />
2000 cm 3<br />
5000 cm 3<br />
PT480092-T<br />
PT480093-T<br />
PT480094-T<br />
Liefermenge Bestellnummer<br />
500 cm 3<br />
2000 cm 3<br />
5000 cm 3<br />
PT480127-T<br />
PT480128-T<br />
PT480129-T<br />
Liefermenge Bestellnummer<br />
3<br />
500 cm B0480559<br />
Weitere Informationen finden Sie in den Verkaufsunterlagen oder � � 16.<br />
54 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
12 Ersatzteile<br />
12.1 Dichtungssatz<br />
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:<br />
�� allen Angaben gemäss Typenschild<br />
�� Beschreibung und Bestellnummer<br />
Bestellnummer BN841070-T<br />
bestehend aus:<br />
Dichtfläche konzentrisch (querrillenfrei) überschleifen.<br />
Schleifmittel: Schleifband, Körnung 220.<br />
Nachgearbeitete Dichtfläche mit Lösungsmittel<br />
entfetten und danach mit Alkohol abwaschen.<br />
Federringdichtung<br />
O-Ring, FPM<br />
ø20.24×2.62<br />
Anzugsdrehmoment = 80 Nm<br />
O-Ring, FPM<br />
ø405.26×7<br />
O-Ring,FPM<br />
ø107.2×5.34<br />
O-Ring, FPM<br />
ø3.69×1.78<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 55
12.2 Heizplatte<br />
12.3 Heizplatten-Kontaktpaste<br />
12.4 Düsensatz<br />
Bestellnummer BP336529-T (Heizplatte ersetzen � � 45)<br />
Bestellnummer B5170991PZ<br />
Bestellnummer BP332283/U (Düsensatz ersetzen � � 42)<br />
56 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
13 Produkt zurücksenden<br />
14 Produkt entsorgen<br />
Unterteilen der Bauteile<br />
Kontaminierte Bauteile<br />
Nicht kontaminierte Bauteile<br />
Betriebsmittel<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte<br />
Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder<br />
mikrobiologischer Art) können Gesundheits- und Umweltschäden<br />
verursachen.<br />
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen<br />
sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen<br />
beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung (� � 58) beilegen.<br />
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig<br />
dekontaminiert.<br />
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig<br />
zurückgesandt.<br />
N<br />
GEFAHR<br />
Vorsicht: Kontaminierte Teile<br />
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.<br />
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle<br />
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen<br />
Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten.<br />
WARNUNG<br />
Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe<br />
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten,<br />
Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.<br />
Umweltgefährdende Stoffe gemäss den örtlichen Vorschriften entsorgen.<br />
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende<br />
Kategorien zu unterteilen:<br />
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen<br />
entsprechend den länderspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend<br />
ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.<br />
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederverwertung<br />
zuzuführen.<br />
Betriebsmittel sind gemäss den örtlichen Vorschriften zu entsorgen.<br />
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Kontaminationserklärung<br />
Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von <strong>Vakuum</strong>geräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine<br />
korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten.<br />
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden.<br />
Art des Produkts<br />
Ty penbezeichnung<br />
Artikelnummer<br />
Seriennummer<br />
Rechtsverbindliche Erklärung<br />
Hiermit versichern wir, dass die Angaben korrekt und vollständig sind und wir allfällige Folgekosten akzeptieren.<br />
Der Versand des kontaminierten Produkts erfüllt die gesetzlichen Bestimmungen.<br />
Firma/Institut<br />
Strasse PLZ, Ort<br />
Telefon Telefax<br />
E-Mail<br />
Name<br />
Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel<br />
Dieses Formular kann von unserer<br />
Webseite heruntergeladen werden.<br />
Das Produkt ist frei von<br />
gesundheitsgefährdenden<br />
Stoffen ja �<br />
Grund für die Einsendung<br />
� Verwendete(s) Betriebsmittel (Vor dem Transport abzulassen.)<br />
1) oder so gering, dass von<br />
den Schadstoffrückständen<br />
keine Gefahr ausgeht<br />
� Schadstoffe und/oder Reaktionsprodukte<br />
Schadstoffe oder prozessbedingte, gefährliche Reaktionsprodukte, mit denen das Produkt in Kontakt kam:<br />
Handels-/Produktname<br />
Hersteller<br />
Chemische Bezeichnung<br />
(möglichst auch Formel)<br />
� Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts<br />
toxisch nein � 1) ja �<br />
ätzend nein � 1) ja �<br />
mikrobiologisch nein � ja � 2)<br />
explosiv nein � ja � 2)<br />
radioaktiv nein � ja � 2)<br />
sonstige Schadstoffe nein � 1) ja �<br />
Vorsichtsmassnahmen beim Umgang<br />
mit den Schadstoffen<br />
2) Derart kontaminierte<br />
Produkte werden nur<br />
bei Nachweis einer<br />
vorschriftsmässigen<br />
Dekonta minierung<br />
entgegengenommen!<br />
Massnahmen im Fall<br />
von Kontakt<br />
Verteiler:<br />
Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie für den Absender<br />
58 BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet
Herstellererklärung<br />
Produkt<br />
Artikelnummer<br />
Normen<br />
Unterschrift<br />
im Sinne der Maschinenrichtlinie 98/37/EG, Anhang IIb.<br />
Hiermit erklären wir, Pfeiffer Vacuum, dass die Inbetriebnahme der nachfolgend<br />
bezeichneten unvollständigen Maschine solange untersagt ist, bis festgestellt<br />
wurde, dass die Maschine, in die diese unvollständige Maschine eingebaut werden<br />
soll, den Bestimmungen der EG-Maschinenrichtlinie entspricht.<br />
Gleichzeitig bestätigen wir Konformität zur Niederspannungsrichtlinie 73/23/EWG<br />
und zur EMV-Richtlinie 89/336/EWG.<br />
<strong>Diffusionspumpe</strong><br />
DIF 400<br />
PTD07510<br />
Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen:<br />
�� EN 292-1/-2 (Sicherheit von Maschinen)<br />
�� EN 60204-1 (Elektrische Ausrüstung von Maschinen)<br />
Pfeiffer Vacuum GmbH, Asslar<br />
11. Juni 2002<br />
Wolfgang Dondorf<br />
Geschäftsführer<br />
BP 805 177 BD (0206) DIF 400.bet 59
Berliner Strasse 43<br />
D–35614 Asslar<br />
Deutschland<br />
Tel +49 (0) 6441 802-0<br />
Fax +49 (0) 6441 802-202<br />
info@pfeiffer-vacuum.de<br />
bp805177bd www.pfeiffer-vacuum.de
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