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4.4 Mikroelektroden-Arrays 65 Für die anschließende Nanostrukturierung der Elektrodenbereiche auf den MEAs, wie sie in Abb. 4.14 dargestellt ist, wurden die passivierten MEAs wie folgt weiter prozessiert: 1. Noch im Reinraum wurde auf die ONO-Schicht mit einem Elektronenstrahlverdampfer ein Aluminiumfilm mit einer Dicke von 800 nm aufgebracht. Die Aufdampfanlage des Modells BAK640 stammte von der Firma Unaxis GmbH (Hanau). 2. Außerhalb des Reinraums wurde diese Aluminiumschicht nun anodisiert, wie bereits in Kapitel 4.1.1 vorgestellt wurde. Standardmäßig wurde für den Ätzprozeß 0, 3M Oxalsäure bei einer Spannung von 40 V verwendet. 3. Nach der Porenerweiterung und der Entfernung der Barrier Layer in 5 wt% Phosphorsäure für ca. 40 Min folgte die Galvanisierung im Goldbad zur Füllung der entstandenen Poren. 4. Im letzten Schritt wurde die Aluminiumoxidmembran in 20 wt% KOH entfernt, so dass auf den Elektrodenfenstern freistehende Pillars verblieben.
66 Kapitel 4: Methoden und Materialien Abbildung 4.14: Herstellung von Gold-Nanopillars auf MEAs durch Anodisierung, Galvanisierung und Ätzen in KOH
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Mitglied der Helmholtz-Gemeinschaft
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Inhaltsverzeichnis Abbildungsverzei
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Abbildungsverzeichnis 2.1 Schema ei
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Abbildungsverzeichnis v 5.16 Neuron
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Tabellenverzeichnis 3.1 Verschieden
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2 Kapitel 1: Zusammenfassung Zunäc
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2 Einleitung Bioelektronische Syste
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3 Grundlagen 3.1 Extrazelluläre Ab
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3.2 Modifikation von planaren Mikro
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Literaturverzeichnis [1] W. L. C. R
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Literaturverzeichnis 151 [19] D. A.
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Literaturverzeichnis 153 porous alu
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Literaturverzeichnis 155 [61] F. Li
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Danksagung Zuerst möchte ich mich
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