View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

62 Kapitel 4: Methoden und Materialien
FIB-Anlage mit einem Gallium-Ionenstrahl vom Typ XB1540 der Firma Zeiss verfügte.
Damit wurden die Proben senkrecht geschnitten (Milling) und unter einem Winkel von
54 ◦ analysiert, wie in Abb. 4.12 dargestellt ist. Zusätzlich war durch ein integriertes Gasinjektionssystem
(GIS) die selektive Aufbringung von Platin (Pt) oder Wolfram (W) auf
die Oberfläche möglich. Hierdurch wurden die Zellen so fixiert, dass sie sich während des
Milling-Prozesses nicht vom Substrat ablösten. Gleichzeitig verbesserte die Metallschicht
die Kontrasteigenschaften. Mit dem REM konnte die Schnittstelle zwischen den Nanopillars
und der Zellmembran sowohl während des Millings in Echtzeit als auch anschließend
analysiert werden.
Abbildung 4.12: Schematischer Aufbau des FIB-Equipments [99]
4.4 Mikroelektroden-Arrays
4.4.1 Fabrikation im Reinraum
Im Reinraum des Forschungszentrums caesar (Bonn) wurde zunächst mittels Nassoxidation
in einem Diffusionsofen des Typs TS-6304 der Firma Tempress Systems Inc. (Heerde,