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52 Kapitel 4: Methoden und Materialien
Abbildung 4.7: Ermittlung verschiedener Porenparameter mittels Histogrammen [96]
(a) Porendurchmesser
(b) Nächste Nachbarn
(c) 4 nächste Nachbarn
Für die Ermittlung der geometrischen Oberfläche der Nanopillars war außerdem die Bestimmung
ihrer durchschnittlichen Höhe erforderlich. Hierfür wurden die Proben zunächst
gebrochen und unter einem Winkel von 60 ◦ unter dem REM analysiert. Pro Probe wurden
3 Messungen gemacht, und hieraus wurde die durchschnittliche Pillarhöhe bestimmt.
Über die Formel
A3D = A0 + πdphA0
sin(60 ◦ )d 2 int
(4.1)
wurde daraus die Pillaroberfläche bestimmt mit der Pillarhöhe h, der Grundfläche A0,
dem Pillardurchmesser dp und dem Pillarabstand dint. dp und dint sind zuvor aus der statistischen
Auswertung mit Matlab hervorgegangen. Für die Bestimmung von A0 wurden
die Substrate vorher mit einem handelsüblichen Scanner mit einer Auflösung von 300 dpi