View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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50 Kapitel 4: Methoden und Materialien<br />
4.2 Charakterisierung der Nanostrukturen<br />
Die Geometrie und Struktur der nanoporösen Aluminiumoxid-Membranen und der Arrays<br />
aus Gold-Nanopillars wurden zu verschiedenen Zeiten des Herstellungsprozesses mit dem<br />
Rasterelektronenmikroskop analysiert. Daran schloss sich die elektrochemische Untersuchung<br />
mittels Zyklovoltametrie und Impedanzspektroskopie an.<br />
4.2.1 Rasterelektronenmikroskopie<br />
Die wichtigste Methode zur Bestimmung der Pillargeometrie stellte das Rasterelektronenmikroskop<br />
(REM) dar. In der vorliegenden Arbeit wurde ein REM vom Typ Zeiss Gemini<br />
1550 (Carl Zeiss SMT AG, Jena) verwendet.<br />
Abbildung 4.5: Berechnung der realen Höhe von Objekten, die im REM um den Winkel<br />
α geneigt sind. Die Höhe wurde um den Faktor sin(α) −1 korrigiert.<br />
Sowohl die Nanoporen aus Aluminiumoxid als auch die Gold-Nanopillars wurden in der<br />
Aufsicht mit Vergrößerungen von 20 kx und 100 kx analysiert. Die Nanopillars wurden<br />
zusätzlich unter einem Winkel von 60 ◦ mit Vergrößerungen von 50 kx und 100 kx gescannt,<br />
um ihre Höhe bestimmen zu können. Wurden die Proben mit einem von 0 ◦ abweichenden<br />
Winkel analysiert, so mussten Höhen, die unmittelbar aus den REM-Aufnahmen ermittelt<br />
wurden, aufgrund der räumlichen Verzerrung um den Faktor sin(α) −1 korrigiert werden,<br />
wie Abb. 4.5 zeigt.
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