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4.1 Herstellung von Gold-Nanopillar-Arrays 49 wurden diese in 20 wt% Kaliumhydroxid (KMF-Laborchemie Handels GmbH, Lohmar) entfernt. Die Substrate befanden sich für 1h − 2h im KOH und wurden anschließend mehrere Stunden mit destilliertem Wasser gespült und mit Stickstoff getrocknet. Abb. 4.4 zeigt schematisch den Gesamtablauf der Pillarherstellung. Abbildung 4.4: Pillarherstellung in vier Stufen: 1) Deposition von Metallschichten im Reinraum 2) Anodisierung in Oxalsäure 3) Galvanisierung in Kaliumgoldcyanid 4) Entfernung des Al2O3 in KOH
50 Kapitel 4: Methoden und Materialien 4.2 Charakterisierung der Nanostrukturen Die Geometrie und Struktur der nanoporösen Aluminiumoxid-Membranen und der Arrays aus Gold-Nanopillars wurden zu verschiedenen Zeiten des Herstellungsprozesses mit dem Rasterelektronenmikroskop analysiert. Daran schloss sich die elektrochemische Untersuchung mittels Zyklovoltametrie und Impedanzspektroskopie an. 4.2.1 Rasterelektronenmikroskopie Die wichtigste Methode zur Bestimmung der Pillargeometrie stellte das Rasterelektronenmikroskop (REM) dar. In der vorliegenden Arbeit wurde ein REM vom Typ Zeiss Gemini 1550 (Carl Zeiss SMT AG, Jena) verwendet. Abbildung 4.5: Berechnung der realen Höhe von Objekten, die im REM um den Winkel α geneigt sind. Die Höhe wurde um den Faktor sin(α) −1 korrigiert. Sowohl die Nanoporen aus Aluminiumoxid als auch die Gold-Nanopillars wurden in der Aufsicht mit Vergrößerungen von 20 kx und 100 kx analysiert. Die Nanopillars wurden zusätzlich unter einem Winkel von 60 ◦ mit Vergrößerungen von 50 kx und 100 kx gescannt, um ihre Höhe bestimmen zu können. Wurden die Proben mit einem von 0 ◦ abweichenden Winkel analysiert, so mussten Höhen, die unmittelbar aus den REM-Aufnahmen ermittelt wurden, aufgrund der räumlichen Verzerrung um den Faktor sin(α) −1 korrigiert werden, wie Abb. 4.5 zeigt.
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Literaturverzeichnis [1] W. L. C. R
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Literaturverzeichnis 151 [19] D. A.
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Literaturverzeichnis 153 porous alu
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Literaturverzeichnis 155 [61] F. Li
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