View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

4.1 Herstellung von Gold-Nanopillar-Arrays 47
Abbildung 4.2: Bildschirmansicht des LabView-Programms zur Steuerung des Anodisierungsprozesses:
typischer Stromverlauf während des Porenwachstums
Abschließend wurden die Poren erweitert und die Barrier Layer am Boden der Poren entfernt,
so dass ein direkter Kontakt zum darunterliegenden Gold entstand. Dieser Schritt
geschah durch Ätzen in 5 wt% Phosphorsäure (H3PO4, KMF-Laborchemie Handels GmbH,
Lohmar), meist für 40 min. Je nach gewünschtem Porendurchmesser konnte diese Zeit aber
auch zwischen 20 und 60 min variieren. Anschließend wurden die Substrate mit destilliertem
Wasser gereinigt und mit Stickstoff getrocknet.
4.1.2 Galvanisierung
Als Galvanisierungsbad für die Füllung der nanoporösen Al2O3-Templates mit Gold wurde
eine Kaliumgoldcyanidlösung des Typs PUR-A-Gold 401 (Enthone GmbH, Langenfeld)
verwendet. Die elektrochemische Deposition fand mit einem Setup vom Typ Galvano
Philico der Firma Heraeus (Hanau) statt. In diesem Bad befanden sich ein Platingitter,
das als Kathode fungierte, und vier Aluminiumoxid-Templates, die mit einer Gesamtfläche
von ca. 4cm 2 gleichzeitig als Anode dienten. Den schematischen Aufbau zeigt Abb. 4.3.
Die Vorbereitung des Goldbades erfolgte in den folgenden Schritten:
• 1, 5l PUR-A-Gold 401 wurden auf 60 ℃ erhitzt und anschließend mit einem Filter
des Typs 589 3 blue ribbon (Schleicher und Schuell GmbH, Dassel) gefiltert.