View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich
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3.3 Nanopillarherstellung in nanoporösen Aluminiumoxid-Membranen 17<br />
(a) REM-Aufnahme idealer hexagonaler<br />
Nanoporen in Al2O3 [46]<br />
(b) Poren im Querschnitt [53]<br />
Abbildung 3.8: Ideale hexagonale Nanoporen in Al2O3<br />
Abbildung 3.9: Vier Phasen des Porenwachstums in Al2O3 während der Anodisierung<br />
[54]<br />
(a) U(t)-Diagramm (b) I(t)-Diagramm<br />
Der Anodisierungsprozess lässt sich in vier Phasen unterteilen [54] , die in Abb. 3.9 schematisch<br />
dargestellt sind. Während der ersten Sekunden nach Anlegen einer konstanten<br />
Spannung bildet sich eine isolierende Oxidschicht auf dem Aluminiumrand, der mit der
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