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View - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

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132 Kapitel 5: Ergebnisse<br />

Für die Pillar-Proben 1 und 2 unterschieden sich die Signalamplituden ca. um den Faktor<br />

2,5. Die zugehörige Elektrodenimpedanz war für Probe Pillar-2 dreifach höher als für<br />

Probe Pillar-1. Dieses Verhältnis der beiden Zel entsprach in etwa der Relation zwischen<br />

den Amplituden der beiden Pillar-Proben. Die anschließende Berechnung der Impedanzen<br />

Zleak zeigte, dass die Passivierungsimpedanzen dieser beiden Chips ähnlich groß waren.<br />

Bei Probe Pillar-1 war Zleak um den Faktor 4,5 höher als Zel. Bei Probe Pillar-2 war<br />

Zleak dagegen nur doppelt so groß wie Zel. Da die Passivierungsimpedanzen ähnlich hoch<br />

waren, konnte jedoch ein Einfluss der Passivierung auf die Signalamplituden für diese<br />

beiden Pillar-MEAs weitestgehend ausgeschlossen werden.<br />

Die Aktionspotenziale der beiden planaren Proben lagen in der Größenordnung der nanostrukturierten<br />

Probe Pillar-2. Die Bestimmung von Zel führte jedoch bei beiden planaren<br />

Chips zu wesentlich höheren Werten der Elektrodenimpedanz als bei dieser Pillar-<br />

Referenz. Demzufolge hätten in der Signalableitung wesentlich niedrigere Amplituden für<br />

beide planaren MEAs verzeichnet werden müssen, was nicht der Fall war. Die Berechnung<br />

von Zleak der zwei planaren Proben ergab Werte, die ca. um den Faktor 2 niedriger waren<br />

als bei der korrespondierenden Pillar-Probe Nr. 2. Zwar scheint die Passivierung der<br />

beiden planaren Chips weniger dicht gewesen zu sein als die Isolierung der Probe Pillar-2,<br />

allerdings wurden die Signalamplituden hiervon nicht beeinflusst. Gleichzeitig waren die<br />

Werte für Zel bei den planaren Chips um den Faktor 3 bis 5 höher als die Passivierungsimpedanzen<br />

Zleak. Auch diese Relation deutet auf undichte Passivierungen auf diesen Chips<br />

hin.

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