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5.5 Signalableitung mit nanostrukturierten MEAs 129
Abb. 5.55 zeigt die Auswertung der Impedanzspektren für 10 μm große MEAs. Sowohl
für planare als auch für nanostrukturierte MEAs schwankten die ermittelten Kapazitäten
zwischen 40 und 150 pF, so dass keine sichtbare Abhängigkeit der Kapazität vom
Elektrodentyp verzeichnet wurde. Bei einer planaren Elektrode wurden sogar 550 pF gemessen.
Allerdings ist dieser hohe Wert mit großer Wahrscheinlichkeit auf eine undichte
Passivierung auf diesem Chip zurückzuführen. Vermutlich bestand über Pinholes in der
ONO-Schicht eine Verbindung zu den darunter liegenden Leiterbahnen, die den Anstieg
der Kapazität erklärt.
Abbildung 5.56: Auswertung der Impedanzspektren an MEAs mit 15 μm Durchmesser
Für MEAs vom Durchmesser 15 μm bot sich ein ähnlicher Zusammenhang zwischen Kapazität
und Elektrodentyp (s. Abb. 5.56). Im Mittel lagen die Kapazitäten für Nanopillarund
planare MEAs zwischen 50 und 120 pF. Auch hier konnte kein deutlicher Einfluss der
Nanopillars auf die Kapazität ermittelt werden. Erneut wiesen zwei der planaren Chips
besonders hohe Kapazitäten von 200 und 280 pF auf, deren Auftreten vermutlich wieder
mit Pinholes in der Passivierung begründet werden kann.
Besonders stark geschädigt war die Passivierung auf MEAs mit 20 μm großen Elektroden.
Wie Abb. 5.57 zeigt, fanden sich hier vor allem für die nanostrukturierten Elektroden
Kapazitäten oberhalb von 200 pF, die auf eine undichte Passivierung hindeuten. Auch
ein planarer Chip wies mit 430 pF eine extrem hohe Kapazität auf. Aufgrund der hohen