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5.4 Nanostrukturierung von Gold-Mikroelektroden 109
(a) HEK-Zelle auf Nanopillars im
Querschnitt
(c) Übersicht über eine HEK-Zelle auf
planarem Gold
(b) Vergrößerung der Schnittstelle zwischen
HEK-Zelle und Pillars
(d) HEK-Zelle auf planarem Gold in
Vergrößerung
Abbildung 5.33: FIB-Schnitte durch HEK-Zellen auf verschiedenen Substraten. Die
HEK-Zellen waren dicht an Pillars und planares Gold adhäriert.
5.4 Nanostrukturierung von Gold-Mikroelektroden
Nachdem die bisherigen Versuche mit großflächigen Gold-Nanopillar-Arrays durchgeführt
wurden, wurde der Nanostrukturierungsprozess nun auf Gold-MEAs übertragen, um die
planaren Elektrodenfenster mit Nanopillars zu modifizieren. Zunächst wurden für planare
MEAs verschiedene Passivierungsschichten aus SiO2 und Si3N4 (kurz: ONO) sowie aus
Polymeren und Fotolacken untersucht. Die Passivierungsexperimente, deren Ergebnisse
in diesem Kapitel zusammengefasst sind, wurden sowohl im Reinraum des IBN-2 als auch
bei externen Partnern durchgeführt.