Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum
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2 Bedienung und Betrieb<br />
9<br />
7<br />
6<br />
5<br />
4<br />
3<br />
2<br />
1<br />
Abb. 2 <strong>Vakuum</strong>schema<br />
Abb. 3 Geräteansichten<br />
MS<br />
8<br />
1<br />
9<br />
10<br />
Mechanikseite Elektronikseite<br />
16<br />
Erläuterungen zur Abb. 3<br />
1 Fernbedienung<br />
2 Testanschluß<br />
3 Elektronikhaube<br />
4 Eingang VENT<br />
5 Anschluß für Auspuff-Leitung<br />
6 Anschluß Gas-Ballast<br />
2<br />
3<br />
4<br />
5<br />
6<br />
7<br />
8<br />
7 Netzschalter<br />
mit Netzsicherungen<br />
8 Mechanikhaube<br />
9 Öffnungen zum Abnehmen der<br />
Mechanikhaube<br />
10 RS 232 C-Schnittstelle (SERIAL)<br />
11 Schreiberausgang<br />
(RECORD)<br />
12 Steuerein- und ausgänge<br />
(CONTROL)<br />
13 Anschlußmöglichkeit für<br />
Zubehör (OPTION)<br />
8 TH 10.211/18.01 - 09/03<br />
11<br />
13<br />
14<br />
12<br />
15<br />
1<br />
Erläuterungen zur Abb. 2<br />
1 Testleck (Option)<br />
2 Testleckventil (V 7)<br />
3 Einlaßventil (V 2a)<br />
4 Pirani-Meßsystem p V<br />
5 Einlaßventil (V 2.b)<br />
6 Turbomolekular-Pumpe (TMP)<br />
7 Massenspektrometer<br />
8 Einlaßventil (V 4)<br />
9 Teilstrompumpsatz (Option)<br />
10 Flutventil (V 3)<br />
11 Anschlußflansch<br />
12 Externes Teilstromventil (V 8) (Option)<br />
13 Pirani-Meßsystem p E<br />
14 Evakuierventil (V 1)<br />
15 Externe Teilstrompumpe (Option)<br />
16 Vorvakuumpumpe<br />
2<br />
10<br />
11<br />
12<br />
13
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