Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum

5 Begriffserklärung
Autoranging
Autotune,
Automatische Bereichsumschaltung
des Vorverstärkers und der
Vakuumbereiche.
Der L 200 verfügt über eine automatische
Meßbereichswahl, die
den gesamten Leckratenmeßbereich
abhängig von der gewählten
Betriebsart „2:Mode Vacuum“,
„2:Mode Sniff N/SP“ oder
„2:Mode Partial normal/oilfree“
einschließt. Dabei wird nicht nur
das Leckratensignal, sondern
auch der Prüflingsdruck (Einlaßdruck
PE) und der Vorvakuumdruck
(PV) zur Steuerung
benutzt. Die Umschaltung zwischen
den Hauptbereichen erfolgt
durch Ventilstellungen. Die
Feinumschaltung erfolgt innerhalb
der Hauptbereiche durch
Umschaltung der Vorverstärkerbereiche.
Massenabgleich Diese Funktion führt den automatischen
Abgleich des Massenspektrometer
auf maximale Leckratenanzeige
durch. Vom Steuerrechner
wird die Beschleunigungsspannung
der Ionen im gewählten
Massenbereich variiert,
bis ein maximaler Ionenstrom am
Ionenfänger registriert wird. Bei
jeder Kalibrierung wird automatisch
der Massenabgleich durchgeführt.
Autozero Bestimmung und Nachführung
des Heliumuntergrundes.
Mit dieser Funktion wird der geräteinterne
Nullpunkt bestimmt, der
vom aktuellen Leckratensignal
subtrahiert wird. Die Funktion
wird ausgeführt beim kalibrieren
oder beim drücken der Start
Taste, wenn sich der L 200 zuvor
mindestens 20 s im Zustand
Standby oder Vent befand. Sollte
sich der unterdrückte Heliumuntergrund
so verkleinern, dass für
die Dauer der ZERO-Time
(Menüpunkt 32) nur die Anzeigegrenze
angezeigt wird, so erfolgt
automatisch eine Nachführung
des Nullpunktes.
TH 10.211/18.01 - 09/03
Basismenü Umfaßt die Menüzeilen 1 bis 9.
Dieser Teil des Menüs ist nicht
durch eine Geheimzahl ge-
CONTROL
schützt. Einzelheiten siehe Kapitel
2.5 und 2.5.4 (Menüzeile 14).
Steueranschluß an Geräteseite.
Default Zustand Zustand des L 200 nach Werksauslieferung
Erweitertes Menü Umfaßt die Menüzeilen 10 bis 49.
Dieser Menüteil kann mit der
ersten Geheimzahl gesperrt / freigeschaltet
werden (siehe auch
Kapitel 2.5).
FINE Ventilstellung V2a und V4 geöffnet;
PE < 0,2 mbar; die Turbomolekularpumpe
mit ihrem großen
Saugvermögen ist mit dem Einlaßflansch
verbunden.
GROSS Ventilstellung V2a und V2b geöffnet;
PE = 0,2..3 mbar
interner
Heliumuntergrund Der im Meßsystem herschende
Heliumpartialdruck. Der interne
Heliumuntergrund wird im Zustand
Standby gemessen und im
Zustand Meßbetrieb vom gemessenen
Signal subtrahiert.
Measure,Meßbetrieb Meßzustand; der L 200 mißt die
Leckrate des Prüflings
Menüpunkt Menüzeile numeriert von 1 bis 99
Standby Zustand der durch Betätigen der
Stop -Taste erreicht wird; Die
Start LED auf der Fernbedienung
erlischt. Im LCD-Display (3/2)
steht die Meldung Standby und
die eingestellte Betriebsart. Alle
Ventile zum Testanschluß werden
geschlossen. Das Meßsystem ist
vom Testanschluß entkoppelt.
Servicemenü Umfaßt die Menüzeilen 50 bis
99. Das Servicemenü wird mit
der Taste Service aufgerufen
(siehe auch Kapitel 2.5 und
2.5.4).
Teilstrombereich 1 Ventilstellung V2a, V4.1,V8 geöffnet;
PE = 1mbar..100 mbar
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