Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum

E49: TMP-Fail
Signal TMP-Fail am NT12 aktiv.
Turbopumpe ausgefallen.
Priorität: 1
- NT12 Sicherung (1 A) defekt.
- Turbopumpe defekt.
E50: TMP No Clock
Takt vom Frequenzwandler ausgefallen
- NT 12 defekt
E51: TMP-Freq F>1125Hz
TMP Frequenz zu groß f = 1125 Hz
Priorität: 3
- NT12 defekt
- NT12 für L 200 dry eingebaut
E52: TMP-Freq F 60 °C.
- Umgebungstemperatur zu hoch.
- Interne Lüftung ausgefallen.
- Luftfilter verdreckt und müssen ausgetauscht werden.
W55: Electr. T5min
Pv > 3,8 mbar nach t = 5 min seit Netzeinschaltung.
Hochlaufzeit der Vorpumpe zu groß.
E61: Emission Fail
Emission soll eingeschaltet sein. MSV- Baugruppe meldet
den Fehler.
MENB Emissionsstrom nicht im Bereich.
E62: Capillary blocked
Im Schnüffel-Modus wird der Einlaßdruck der Schnüffelleitung
überwacht. Sinkt der Druck unter 0,1 mbar, ist der
Durchfluß durch die Kapillare zu gering (Verschmutzung)
bzw. die Kapillare ist verstopft (Fremdkörper, Partikel).
TH 10.211/18.01 - 09/03
E63: Capillary broken
Im Schnüffel-Modus wird der Einlaßdruck der Schnüffelleitung
überwacht. Steigt der Druck über 0,3 mbar, ist
der Durchfluß durch die Kapillare zu groß (Undichtigkeit,
Bruch der Kapillare).
Probleme in der Anwendung
W71: No Part. Flow Valve
Keine Rückmeldung des Teilstromventils nach Aktivierung.
Keine 24 V an OPTION Anschluß Pin 6.
Teilstromventil nicht richtig angeschlossen oder defekt.
W72: Emission Off PE>>
PE >> 0,2 bzw. 3 mbar.
z.B: bei Lufteinbruch.
L 200 versucht nochmals den Meßbetrieb zu erreichen.
W73: Emission Off PV>>
PV >> 2 bzw. 3 mbar
z.B: bei Lufteinbruch.
L 200 versucht nochmals den Meßbetrieb zu erreichen.
W75: EVAC stopped Time 1
siehe Erklärung zu Menüpunkt 10.
- Anwendung überprüfen.
- Zeit Time1 optimieren.
W76: EVAC Stopped Time 2
siehe Erklärung zu Menüpunkt 10.
- Anwendung überprüfen.
- Zeit Time2 optimieren.
E77: Peak not in Range
Signalmaximum liegt an den Massenabgleichsgrenzen.
- Grundeinstellung der Anodenspannung im Servicemenu
überprüfen.
- Testleck überprüfen.
W78: Difference too small
Verstärkerspannungsdifferenz zwischen geöffneten und
geschlossenem TL < 10 mV;
Testleck nicht richtig geschlossen.
W79: Signal too small
Verwendetes Testleck zu klein oder nicht geöffnet.
Vorverstärkerspannung < 10 mV.
Der Tunevorgang wird ignoriert und die Kalibrierung wird
weitergeführt.
W80: Request for Cal
Kalibrieraufforderung.
Siehe Erklärung zu Menüpkt. 24.
Seit der letzten Kalibrieraufforderung hat sich die Temperatur
um 5 °C geändert oder der L 200 ist 30 min
warmgelaufen.
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