Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum

LCD Textanzeige Bedeutung
————————————————————————–
Hochlauf TMP:xxxxHz Während des Hochlaufs wird
die Drehzahl der Turbomolekularpumpe
angezeigt.
Kalibrierung abgebrochen Kalibrierung abgebrochen.
Kalibrierung beendet Kalibrierung beendet.
Kein CAL wenn Menü ein Kalibrierung kann nicht aufgerufen
werden, wenn das Menü
geöffnet ist. Zunächst Menü
mit Taste MENUE (4/7)
verlassen.
Kein Gasballast erlaubt Das Gasballastventil kann nur
im Zustand Standby geöffnet
werden. STOP Taste (5/2)
betätigen.
Kein Menü wenn CAL ein Es wird zur Zeit eine Kalibrierung
durchgeführt. Das Menü
kann nicht angewählt werden.
Kalibrierung beenden oder
mit Taste CLEAR (4/10) abbrechen.
Kein Testleck vorhanden Interne Kalibrierung ist nicht
möglich. Ein Testleck ist nicht
eingebaut oder Testleckwert
ist nicht eingegeben (Servicemenüpunkt
81).
Kein Zero wenn CAL ein Während der Kalibrierung hat
die Taste ZERO keine Funktion.
Kalibrierung beenden
oder mit Taste CLEAR (4/10)
abbrechen.
Kein Zero in Stop Im Zustand Standby kann die
ZERO Funktion nicht ausgeführt
werden.
Kein Zero in Vent Im Zustand Vent kann die
ZERO Funktion nicht ausgeführt
werden.
Keine Parameter geladen Angeforderter Parametersatz
fehlerhaft oder nicht vorhanden
LEYBOLD 1. Meldung nach Geräteeinschaltung.
LR = x.xE-xx mbar·l/s Angabe der Leckrate in der
Maßeinheit mbar·l·s -1 .
LR = x.xE-xx Pa m 3 /s Angabe der Leckrate in der
Maßeinheit Pa m 3 /s.
LR=x.xE-xx PE=x.xE-x gleichzeitige Anzeige von
Leckrate und Einlaßdruck in
der gewählten Einheit (Menüpunkt
12).
Offset-Bestimmung He-Untergrundbestimmung
nach Schließen des Gasballastventils.
Parameter geladen Menüpunkt 48 erfolgreich
ausgeführt
Parameter gespeichert Menüpunkt 48 erfolgreich
ausgeführt
TH 10.211/18.01 - 09/03
LCD Textanzeige Bedeutung
————————————————————————–
Parameter übernommen Ein netzausfallsicherer Parameter
wird verändert und gespeichert.
PE=x.xE-x PV=x.xE-x Anzeige des Einlaß- und Vorvakuumdrucks
in der gewählten
Maßeinheit (Menüpunkt
12).
PE=xx.xxV PV=xx.xxV Anzeige der Sensorbrückenspannung
für den Einlaß- und
Vorvakuumdruck.
Im belüfteten Zustand (V3
und V2b geöffnet) muß eine
Spannung von 8,67 V angezeigt
werden. Bei größeren
Abweichungen (± 100 mV)
sollte ein Abgleich vorgenommen
werden (siehe Erklärung
zu Servicemenüpunkt 92).
Pumpe ausschalten Für den Themovacabgleich
müssen Vorpumpe und Turbopumpe
abgeschaltet werden.
Siehe Beschreibung zum Servicemenüpunkt
92.
Schließe Testleck Das externe Testleck soll geschlossen
werden. Fortsetzung
mit der Taste ENTER
(4/8).
Signal konstant ? Das Leckratensignal, zu sehen
an der Balkenanzeige
(5/4), muß eingeschwungen
sein.
Erst dann kann die Kalibrierung
mit der Taste ENTER
(4/8) fortgesetzt werden.
Sind Sie sicher ? Soll die Funktion ausgeführt
werden ? Fortsetzung erfolgt
mit der Taste ENTER (4/8).
Die Funktion kann mit
„CLEAR“ abgebrochen werden.
Taste ungültig Taste ist in dem aktuellen
Gerätezustand nicht erlaubt.
Testleck anschl. Externes Testleck an Testanschluß
(3/2) oder Prüfling
montieren, Testleck öffnen.
Test fehlerhaft Ergebnis der Massetestfunktion
aus Menüpunkt 4. Es wird
kein Heliumsignal gemessen.
Das Heliumsignal ist von
Masse 2 oder Masse 3 überlagert.
Testleck öffnen Das externe montierte Testleck
öffnen und Kalibrierung
mit der Taste Enter (4/8) fortsetzen.
37