Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum
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Nr in Benen- Siche Bemerkung<br />
Abb. nung rungs-<br />
8 wert<br />
————————————————————————<br />
1 F1 im 1 AT Absicherung der Elektronik<br />
NT 12 zum Antrieb der Turbomolekularpumpe.<br />
Elektronik zum Antrieb der Turbomolekularpumpe<br />
nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Schrauben<br />
(8/11) lösen.<br />
Sicherung F1 herausdrehen.<br />
2 F5 0.032AT Signalabsicherung „TMP-Fail“<br />
auf VD Elektronik zum Antrieb der Turbomolekularpumpe<br />
nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Schrauben<br />
(8/11) lösen.<br />
3 F6 6.3AT Absicherung der Vorpumpe<br />
und Turbomolekularpumpe<br />
4 F4 0.032AT Signalabsicherung „TMP-Normal“.<br />
Elektronik zum Antrieb der Turbomolekularpumpe<br />
nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Schrauben<br />
(8/11) lösen.<br />
5 F2 0.032AT Signalabsicherung „TMP-Tor“.<br />
Elektronik zum Antrieb der Turbomolekularpumpe<br />
nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Schrauben<br />
(8/11) lösen.<br />
6 F3 0.032AT Signalabsicherung „TMP Frequency“.<br />
Elektronik zum Antrieb der Turbomolekularpumpe<br />
nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Schrauben<br />
(8/11) lösen.<br />
7 F1 auf 2AT 24V Systemspannung der<br />
MSV Mas-senspektrometerversorgung.<br />
Gerätebedienung (Abb. 4) lösen<br />
(2 Kreuzschlitzschrauben).<br />
Halteblech der MSV-Karte lösen<br />
(2 Kreuzschlitzschrauben).<br />
MSV Karte (hintere) nach oben<br />
herausziehen. Hierzu Flachschraubendrehernacheinander<br />
in die beiden seitlichen<br />
Aussparungen (oben) einführen<br />
und an der STE-Karte<br />
abstützend die MSV Karte aushebeln.<br />
TH 10.211/18.01 - 09/03<br />
Nr in Benen- Siche Bemerkung<br />
Abb. nung rungs-<br />
8 wert<br />
————————————————————————<br />
8 F2 auf 2AT 24 V Systemspannung der<br />
MSV Massenspektrometerversorgung.<br />
Gerätebedienung (Abb. 4)<br />
lösen (2 Kreuzschlitzschrauben).<br />
Halteblech der MSV-Karte<br />
lösen (2 Kreuzschlitzschrauben).<br />
MSV Karte nach oben herausziehen.<br />
Hierzu Flach-<br />
9 F1 0.8AT<br />
schraubendrehernacheinander in die beiden seitlichen<br />
Aussparungen (oben) einführen<br />
und an der STE-Karte abstützend<br />
die MSV Karte aushebeln.<br />
Absicherung der 24 V OPTIauf<br />
I/O<br />
Karte<br />
ON Stecker (3/13).<br />
10 F1 0.8AT Versorgungsspannung der<br />
auf MB Fernbedienung.<br />
11 -- -- --<br />
12 F3 auf 1 AT Zur Erzeugung von<br />
MSV + 5 V und ± 15 V<br />
13 F4 auf 0,032 AMT Absicherung der<br />
MSV Anoden- Kathodenspannung<br />
Wie in Abb 8 zu sehen ist, finden Sie die<br />
Sicherung 1 im Frequenzwandler NT 12,<br />
Sicherungen 2, 4, 5, 6 auf der Verdrahtungsebene unter<br />
dem Frequenzwandler NT 12<br />
Sicherung 3 auf der Unterseite der Verdrahtungsebene<br />
Sicherung 7 und 8 auf der MSV-Karte<br />
Sicherung 9 auf der I/O-Karte<br />
Sicherung 10 auf der Verdrahtungsebene unter der I/O-<br />
Karte<br />
Anschließend Elektronik- und Mechanikhaube in umgekehrter<br />
Reihenfolge montieren.<br />
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