Helium-Leck-Detektor - DPS-Vakuum

LEYBOLD-Service
Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie
an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden
Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es
kontaminiert ist, geben Sie bitte die Art der Gefährdung
an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß
LEYBOLD an den Absender zurückschicken (siehe auch
Kapitel 3.1).
Allgemeine Hinweise
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen
Daten behalten wir uns vor.
Die Abbildungen sind unverbindlich.
Hinweise zum Gebrauch dieses Handbuchs
Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheit
und den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kennzeichnungen
hervorgehoben.
Vorsicht Steht bei Arbeits- und Betriebsverfahren,
die genau einzuhalten sind, um eine Gefährdung
von Personen auszuschließen
Achtung Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebsverfahren,
die genau einzuhalten sind, um Beschädigungen
oder Zerstörungen des Helium-Leck-Detektor
L 200 zu vermeiden.
Hinweis
Gilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer besonders
beachten muß.
Abbildungshinweise z.B. (2/5) geben mit der ersten Ziffer
die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer
die Position in dieser Abbildung.
Inhalt
1
Seite
Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.1 Physikalische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.2 Elektrische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.2.3 Sonstige Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.3.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.4 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.1 Vorvakuumpumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.2
Seite
Turbomolekularpumpe . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.3 Massenspektrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.4.4 Ionenquelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4.5 Trennsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4.6 Ionenfänger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4.7 Elektrometer-Verstärker . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4.8 Massenspektrometer-Versorgung . . . . . . . . . 6
1.4.9 Steuerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4.10 Gerätebedienung und Fernbedienung . . . . . . 6
1.5 Funktionsbeschreibung des L 200 . . . . . . . . . 7
1.5.1 Vakuummethode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5.2 Teilstrombetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.5.3 Schnüffelbetrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2 Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.1 Aufstellung des Gerätes . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1.1 Aufstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.1.2 Vorbereitung zur ersten Inbetriebnahme . . . 10
2.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3 Inbetriebnahme (erster Abpumpzyklus) . . . . 11
2.4 Bedienelemente und deren Funktion . . . . . . 12
2.4.1 Übersicht der Bedien- und
Anzeigeelemente . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4.2 Der Netzschalter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.4.3 Bedienelemente auf der Gerätebedienung . 12
2.4.4 Bedienelemente auf der Fernbedienung . . . 13
2.4.5 Anzeigeelemente auf der Fernbedienung . . 14
2.5 Geräteeinstellungen (Menüstruktur) . . . . . . . 15
2.5.1 Einstellung der Geräteparameter . . . . . . . . . 15
2.5.2 Die Geheimzahl (Password) . . . . . . . . . . . . 15
2.5.3 Die Menüfunktionen (Übersicht) . . . . . . . . . 16
2.5.4 Beschreibung der einzelnen
Menüfunktionen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
2.6 Geräteanschlüsse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
2.6.1 RS 232 C-Schnittstelle (SERIAL) . . . . . . . . 28
2.6.2 Schreiberausgänge (RECORDER) . . . . . . . 28
2.6.3 Steuerein- und ausgänge (CONTROL) . . . . 29
2.6.4 Zubehöranschluß (OPTION) . . . . . . . . . . . . 29
2.7 Kalibrieren . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
2.7.1 Interne Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.7.2 Externe Kalibrierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
2.7.3 Externes Kalibrieren für
Schnüffelanwendung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
2.8 Außerbetriebsetzung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.1 Service bei LEYBOLD . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.2 Wartungsplan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.2.1 Öffnen des L 200 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
3.2.2 Wechsel der Filtermatten . . . . . . . . . . . . . . 33
3.2.3 Ölwechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
3.2.4 Reinigung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
3.2.5 Sicherungswechsel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
4 Meldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.1 Gerätemeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
4.2 Warnungen- und Fehlermeldungen . . . . . . . 38
4.2.1 Warnungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.2.2 Fehler . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
4.2.3 Liste aller Warnungen und
Fehlermeldungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
5 Begriffserklärung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
2 TH 10.211/18.01 - 09/03