Pr Prandtl Zahl - Brandenburgische Technische Universität Cottbus
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Abb. 7-2<br />
Schichtdickenmeßsystem Permascope und<br />
verwendeter Wirbelstromsensor ETA3.3H von<br />
Fischer bei der Vermessung der Naphthalinschichtdicke<br />
auf einer ebenen Platte<br />
LS Thermische Maschinen, BTU <strong>Cottbus</strong> · Studienarbeit Stefan Bischoff<br />
Abb. 7-3<br />
Schichtdickenmeßsystem bestehend aus 3-Achsen Portalroboter, Verfahrsteuerung von Isel, Meß- und Steuerrechner, Schichtdickenmeßsystem<br />
Permascope von Fischer<br />
Das Schichtdickenmeßsystem arbeitet auf der Basis des Wirbelstromverfahrens<br />
nach DIN 50984. Dieses Verfahren läßt die Messung nichtleitender Schichten auf<br />
magnetischen und nichtmagnetischen Metallen zu. Dabei erzeugt eine HF-Spule<br />
Wirbelfelder, welche unter dem Einfluß einer metallischen Oberfläche geschwächt<br />
werden, d.h. der Scheinwiderstand (Impetanz) der HF-Erregerspule verringert sich<br />
mit der Annäherung an eine metallische Oberfläche, der Realteil des Meßsignals<br />
nimmt zu. Die Impetanz ist meßbar und dient als Indikator für den Abstand des<br />
Meßkopfes von der metallischen Oberfläche. Die Änderung der Impetanz ist von<br />
der Art der metallischen Oberfläche abhängig. Dies ist bei der Kalibrierung zu<br />
berücksichtigen.<br />
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