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Pr Prandtl Zahl - Brandenburgische Technische Universität Cottbus

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Abb. 7-2<br />

Schichtdickenmeßsystem Permascope und<br />

verwendeter Wirbelstromsensor ETA3.3H von<br />

Fischer bei der Vermessung der Naphthalinschichtdicke<br />

auf einer ebenen Platte<br />

LS Thermische Maschinen, BTU <strong>Cottbus</strong> · Studienarbeit Stefan Bischoff<br />

Abb. 7-3<br />

Schichtdickenmeßsystem bestehend aus 3-Achsen Portalroboter, Verfahrsteuerung von Isel, Meß- und Steuerrechner, Schichtdickenmeßsystem<br />

Permascope von Fischer<br />

Das Schichtdickenmeßsystem arbeitet auf der Basis des Wirbelstromverfahrens<br />

nach DIN 50984. Dieses Verfahren läßt die Messung nichtleitender Schichten auf<br />

magnetischen und nichtmagnetischen Metallen zu. Dabei erzeugt eine HF-Spule<br />

Wirbelfelder, welche unter dem Einfluß einer metallischen Oberfläche geschwächt<br />

werden, d.h. der Scheinwiderstand (Impetanz) der HF-Erregerspule verringert sich<br />

mit der Annäherung an eine metallische Oberfläche, der Realteil des Meßsignals<br />

nimmt zu. Die Impetanz ist meßbar und dient als Indikator für den Abstand des<br />

Meßkopfes von der metallischen Oberfläche. Die Änderung der Impetanz ist von<br />

der Art der metallischen Oberfläche abhängig. Dies ist bei der Kalibrierung zu<br />

berücksichtigen.<br />

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