PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

1.1.4 Begriffsdefinitionen
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Der Steuerrechner ändert die Spannung,
welche die Ionen beschleunigt, innerhalb des ausgewählten Massenbereiches
so, dass vom Ionendetektor ein maximaler Ionenstrom detektiert
wird. Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der
Masse.
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche
werden automatisch ausgewählt.
Die automatische Messbereichswahl des PhoeniXL überstreicht den
gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit
von der ausgewählten Betriebsart: Vakuummodus oder Schnüffelmodus.
Nicht nur das Leckratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck
P1) und der Vorvakuumdruck (P2) werden zu Steuerungszwekken
herangezogen. Die Bereichsumschaltung innerhalb der
Hauptbereiche erfolgt durch Ventile. Die Feinbereichsumschaltung innerhalb
der Hauptbereiche erfolgt durch die Umschaltung des Verstärkungsfaktors
im Vorverstärker.
Messung und automatische Anpassung an den internen Heliumuntergrund.
Durch diese Funktion wird der interne Gerätenullpunkt bestimmt, der dann
vom aktuell gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion
wird während des Kalibriervorganges oder bei Betätigung der Start-Taste
aktiviert, sofern der PhoeniXL zuvor mindestens 20 Sekunden in der
Betriebsart „Stand-by“ oder „Belüften“ gelaufen ist.
GROSS ist eine Messbetriebsart, die hohe Einlassdrücke zulässt
(15 bis 0,2 mbar). Die untere Anzeigegrenze beträgt 1· 10-7 mbar l / s
FINE ist die Betriebsart für Einlassdrücke < 0,2 mbar. Die Nachweisgrenze
liegt hier bei ≤ 5·10 -12 mbar l / s.
Precision ist die Betriebsart, in der der PhoeniXL 300 dry seine maximale
Empfindlichkeit erreicht.
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbo-Molekularpumpe und der Vorvakuumpumpe.
Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen
Heliumuntergrundes wird in der Betriebsart „Stand-by“ gemessen und
vom gemessenen Signal abgezogen. (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstellung)
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der PhoeniXL im Vakuummodus
erfassen kann ist: ≤ 5·10-12 mbar l / s.
Das Menü erlaubt es dem Bediener des PhoeniXL, diesen entsprechend
seiner Wünsche zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich
baumartig verzweigt.
Allgemeines
Automatische
Abstimmung /
Masseneinstellung
Automatische
Messbereichswahl
Automatische
Nullpunkteinstellung
GROSS
FINE
PRECISION
Vorvakuumdruck
Interner
Heliumuntergrund
Kleinste nachweisbare
Leckrate
Menü
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 9