PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
Kalibrierung 88 ⏐GA10218_0201 - 3/2005 7.2.1 Interne Kalibrierung Der PhoeniXL startet automatisch die interne Kalibrierung bei Drücken von intern. Dazu sollte der PhoeniXL auf die Masse 4 eingestellt sein (Werkseinstellung). Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer (bei Einstellung auf Masse 4) auf ein maximales Helium-Signal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des internen Testlecks bezogen. Die Kalibrierung dauert ca. 30 Sekunden und es erfolgt eine akustische und visuelle Anzeige, sobald die Kalibrierung erfolgreich beendet wurde. 7.2.2 Externe Kalibrierung Für eine externe Kalibrierung muss, je nach Applikation, ein Testleck am Prüfling oder direkt am Einlass (Abb. 2/1) des PhoeniXL angeschlossen werden. Nach Auswahl von „Externe Kalibrierung“ (Taste Nr. 8, Abb 23, Kap. 6.5) werden folgende Meldungen angezeigt, und die beschriebenen Aktionen sind durchzuführen. � Sicherstellen, dass die richtige Masse eingestellt ist. Siehe Kapitel 6.6.3 � Sicherstellen, dass das Testleck angeschlossen und offen ist � Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen. Bei Abweichungen die Taste Leckrate ändern (Taste Nr. 4) betätigen und den Wert korrigieren (Eingabe siehe Kapitel 4.1.2.7). � Wenn die Leckraten übereinstimmen, START (Taste Nr. 8) betätigen. Abb. 29 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 1 Abb. 30 Display: Externe Kalibrierung,Schritt 2 � Hier ist keine Aktion erforderlich. Der Prüfling wird evakuiert.
Abb. 31 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 3 Abb. 32 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 4 Abb. 33 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 5 Abb. 34 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 6 Abb. 35 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 7 � Die Balkenanzeige zeigt ein Signal, welches nur wenig schwanken darf. Ist dies der Fall, OK (Taste Nr. 8) betätigen. � Hier ist keine Aktion erforderlich. Das Massenspektrometer wird auf ein max. Signal abgestimmt. � Das angeschlossene externe Testleck schliessen. � Wenn das Signal stabil ist mit OK (Taste Nr. 8) bestätigen. � Der PhoeniXL zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an (vgl. 7.3) Kalibrierung GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 89
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Abb. 31 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 3<br />
Abb. 32 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 4<br />
Abb. 33 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 5<br />
Abb. 34 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 6<br />
Abb. 35 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 7<br />
� Die Balkenanzeige<br />
zeigt ein Signal, welches<br />
nur wenig<br />
schwanken darf. Ist<br />
dies der Fall, OK<br />
(Taste Nr. 8) betätigen.<br />
� Hier ist keine Aktion<br />
erforderlich. Das<br />
Massenspektrometer<br />
wird auf ein max.<br />
Signal abgestimmt.<br />
� Das angeschlossene<br />
externe Testleck<br />
schliessen.<br />
� Wenn das Signal<br />
stabil ist mit OK<br />
(Taste Nr. 8) bestätigen.<br />
� Der <strong>PhoeniXL</strong> zeigt<br />
den alten und den<br />
neu berechneten<br />
Kalibrierfaktor an<br />
(vgl. 7.3)<br />
Kalibrierung<br />
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