PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

Kalibrierung
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7.2.1 Interne Kalibrierung
Der PhoeniXL startet automatisch die interne Kalibrierung bei Drücken von
intern. Dazu sollte der PhoeniXL auf die Masse 4 eingestellt sein (Werkseinstellung).
Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer
(bei Einstellung auf Masse 4) auf ein maximales Helium-Signal
abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des
internen Testlecks bezogen.
Die Kalibrierung dauert ca. 30 Sekunden und es erfolgt eine akustische
und visuelle Anzeige, sobald die Kalibrierung erfolgreich beendet wurde.
7.2.2 Externe Kalibrierung
Für eine externe Kalibrierung muss, je nach Applikation, ein Testleck am
Prüfling oder direkt am Einlass (Abb. 2/1) des PhoeniXL angeschlossen
werden.
Nach Auswahl von „Externe Kalibrierung“ (Taste Nr. 8, Abb 23, Kap. 6.5)
werden folgende Meldungen angezeigt, und die beschriebenen Aktionen
sind durchzuführen.
� Sicherstellen, dass
die richtige Masse
eingestellt ist. Siehe
Kapitel 6.6.3
� Sicherstellen, dass
das Testleck angeschlossen
und offen
ist
� Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate
vergleichen. Bei Abweichungen die Taste Leckrate ändern (Taste Nr.
4) betätigen und den Wert korrigieren (Eingabe siehe Kapitel 4.1.2.7).
� Wenn die Leckraten übereinstimmen, START (Taste Nr. 8) betätigen.
Abb. 29 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 1
Abb. 30 Display: Externe Kalibrierung,Schritt 2
� Hier ist keine Aktion
erforderlich. Der
Prüfling wird evakuiert.