PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

7 Kalibrierung
7.1 Einführung
Der PhoeniXL kann auf zweierlei Weise kalibriert werden:
� Interne Kalibrierung durch das interne Testleck.
� Externe Kalibrierung mit Hilfe eines zusätzlichen Testlecks, welches am
Einlass oder am Prüfling bzw. Prüfkammer angeschlossen wird.
Bei Verwendung des PhoeniXL als Helium-Lecksuchgerät im Vakuummodus
reicht im allgemeinen eine interne Kalibrierung aus (Applikationsabhängig).
Jedoch kann nach einer internen Kalibrierung aufgrund der
Unsicherheiten und Temperaturabhängigkeit der angezeigte Leckratenwert
vom aufgedruckten Wert des angeschlossenen externen Testlecks
abweichen. In diesem Fall ist zum Erreichen genauer Messwerte eine
externe Kalibrierung notwendig.
Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer auf ein
maximales Signal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die
bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen.
Obwohl der PhoeniXL sehr stabil ist, wird dennoch von Zeit zu Zeit eine
Kalibrierung empfohlen: mindestens einmal am Tag bei ständiger Nutzung
oder jeweils vor Gebrauch bei seltener Nutzung. So wird sichergestellt,
dass Änderungen in der Umgebungstemperatur, Verunreinigungen oder
andere Einflüsse die Messgenauigkeit nicht beeinträchtigen.
Damit eine optimale Kalibrierung erreicht wird, sollte der PhoeniXL mindestens
20 Minuten warmgelaufen sein. Falls eine Kalibrierroutine vorher eingeleitet
wird, wird eine Warnung ausgegeben, die gegebenenfalls ignoriert
werden kann.
7.2 Die Kalibrierroutinen
Die Kalibrierroutine lässt sich durch Betätigung der Taste CAL (Taste Nr. 5)
von drei verschiedene Stellen aufrufen:
� Im Hauptmenü (Abb 16) oder
� Im Stand-by (Abb 8) oder
� Im Messmodus (Abb 14 & 15)
Der Zugang über Stand-by oder Messmodus kann u.U. gesperrt sein
(siehe Kapitel 6.8.2). In diesem Fall ist die entsprechende Taste nicht
beschriftet.
Nachdem die Kalibrierung eingeleitet wurde, muss der Bediener zwischen
interner und externer Kalibrierung auswählen. Dazu ist die entsprechende
Taste zu betätigen (Abb 23, Kap. 6.5).
Eine begonnene Kalibrierung kann zu jeder Zeit durch die Betätigung der
STOP Taste oder durch die Betätigung der Taste Nr. 1 (Abbruch) beendet
werden (Abb 29-35).
Kalibrierung
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