PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
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Allgemeines<br />
7.3 Kalibrierfaktor-Wertebereich ............................................................................. 90<br />
8 Fehlermeldungen und Warnungsmeldungen ..............................................91<br />
8.1 Hinweise .......................................................................................................... 91<br />
8.2 Liste der Fehler- und Warnungsmeldungen ...................................................... 92<br />
9 Wartung ..........................................................................................................98<br />
9.1 Leybold Service ................................................................................................ 98<br />
9.1.1 Wartungsplan ................................................................................................... 98<br />
9.1.2 Öffnen des <strong>PhoeniXL</strong> ........................................................................................ 99<br />
9.1.3 Wechsel der Filtermatten ................................................................................ 100<br />
9.1.4 Ölwechsel ...................................................................................................... 101<br />
9.1.5 Reinigung ....................................................................................................... 101<br />
9.1.6 Sicherungswechsel ........................................................................................ 101<br />
9.1.7 Auspuff-Filter .................................................................................................. 103<br />
9.2 Turbomolekularpumpe ................................................................................... 103<br />
9.3 Eingebautes Testleck TL7 .............................................................................. 103<br />
9.3.1 Technische Daten .......................................................................................... 104<br />
9.3.2 Werksüberprüfung .......................................................................................... 104<br />
Anhang 105<br />
GA10218_0201 - 03/2005⏐ 7
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