PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

Funktionsweise
40 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4.1.3 Vakuummethode
Für die Lecksuche an einem Prüfling (Vakuummethode) muss dieser evakuiert
sein, damit von außen gesprühtes Helium oder Wasserstoff (Formiergas)
aufgrund der Druckdifferenz durch vorhandene Leckagen in den
Prüfling eindringen und somit vom PhoeniXL nachgewiesen werden kann.
Die Evakuierung des Prüflings - Taste START - erfolgt durch die Drehschieber-
bzw. Membranpumpe . Bei größeren Prüflingen kann gegebenenfalls
eine zusätzliche externe Teilstrompumpe mit einem
entsprechenden Verbindungsventil hierzu parallel geschaltet werden.
Zur Evakuierung wird das Einlassventil V1 geöffnet (Abb. 5). Gleichzeitig
werden alle anderen offenen Ventile geschlossen, um einen unerlaubten
Druckanstieg im Massenspektrometer zu vermeiden.
In diesem Zustand (Ventil V2a geschlosse, Abb. 5) läuft die Turbomolekularpumpe
ohne Unterstzützung der Vorvakuumpumpe. Da aber in der
Regel aus dem Massenspektrometer kein Gas gefördert wird, bleibt p2 konstant bzw. steigt nur langsam.
Dieser beschriebene Zustand für die Evakuierung bleibt erhalten, bis der
Einlassdruck p1 auf ≤15 mbar gefallen ist. Nun werden zusätzlich die Ventile
V2a und V2b geöffnet. Eventuell vorhandenes Helium oder Wasserstoff
kann nun gegen die Pumpenrichtung der Turbomolekularpumpe ins
Massenspektrometer gelangen und nachgewiesen werden. Dieser
Messmodus wird GROSS genannt. In diesem Modus können Leckraten
bis 10 -8 mbar l / s nachgewiesen werden.
Da die Vorvakuumpumpe über die Ventile V1, V2a und V2b den Prüfling
weiter evakuiert, wird der Einlassdruck p1 weiter fallen (Abb. 5). Wird der
Wert p1 < 0,2 mbar erreicht, schaltet der PhoeniXL in den FINE-Modus
um, d.h. Ventil V1 und V2b schließen und Ventil V4a öffnet, so dass der
Gasstrom seitlich in die Turbomolekularpumpe gelangt. Hiermit werden
zwei Vorteile erreicht:
a) Ein Teil des großen Saugvermögens der Turbomolekularpumpe steht
zur weiteren Evakuierung des Prüflings zur Verfügung. Die Ansprechzeiten
des PhoeniXL werden kürzer (Ansprechzeit umgekehrt proportional
zum Saugvermögen).
b) Die Vorteile des Gegenstromverfahren können auch im FINE-Modus
genutzt werden.
Im FINE-Modus wird die volle Empfindlichkeit des PhoeniXL erreicht.
Das Umschalten von GROSS nach FINE des PhoeniXL 300 dry erfolgt, aufgrund
des niedrigeren Enddruckes der Membranpumpe, mit Hilfe des
Proportionalventils V4b (Abb. 6). Fällt der Einlassdruck P1 auf < 3,5 mbar
ab, werden die Ventile V1 und V2b geschlossen (V2a bleibt geöffnet), und
gleichzeitig wird das Ventil V4b schrittweise geöffnet. Wenn das Ventil
V4b ganz geöffnet ist, wird zusätzlich das Ventil V4a (P1 < 0,1 mbar) hinzugeschaltet
(FINE-Modus). Bei Umschaltung in den PRECISION-Modus
ist nur das Ventil V4b geöffne, das Ventil V4a ist geschlossen.
Wird die Lecksuche beendet - Taste STOP - so werden alle Ventile bis auf
V2a geschlossen (Stand-by Zustand).
Beim Belüften (des Prüflings) wird das Ventil V3 geöffnet.