PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
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4.1.1.2 <strong>Vakuum</strong>diagramm <strong>PhoeniXL</strong>300 Modul<br />
Das <strong>PhoeniXL</strong>300 Modul unterscheidet sich von den vorher genannten<br />
Geräten dadurch, dass es keine Vorvakuumpumpe besitzt, und nur mit<br />
einer externen Pumpe betrieben werden kann. Hierbei kann das Saugvermögen<br />
dieser Vorpumpe zwischen 2,5 und 65m 3 /h betragen. Die Vorvakuumpumpe<br />
kann ölgedichtet (z.B. eine Trivac D25B) oder trocken (z.B.<br />
eine Scrollpumpe) sein.<br />
P 2<br />
externe Pumpe<br />
2<br />
3<br />
4<br />
1<br />
V 2a<br />
MS<br />
Abb. 7: <strong>Vakuum</strong>diagram <strong>PhoeniXL</strong>300 Modul<br />
V 6<br />
Pos. Beschreibung<br />
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches<br />
Sektorfeld-Massenspektrometer)<br />
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS<br />
benötigten Hochvakuums)<br />
3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2<br />
4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für<br />
die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)<br />
5 Einlassflansch<br />
6 Pirani Messsystem für Einlassdruck P1<br />
V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse<br />
V 2b<br />
V 1<br />
6<br />
V 7<br />
V 4a<br />
V 5<br />
P 1<br />
V 3<br />
5<br />
Funktionsweise<br />
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 35
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