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PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

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Funktionsweise<br />

34 ⏐GA10218_0201 - 3/2005<br />

4.1.1.1 <strong>Vakuum</strong>diagramm <strong>PhoeniXL</strong>300 dry<br />

Der <strong>PhoeniXL</strong> 300 dry unterscheidet sich zum <strong>PhoeniXL</strong> 300 darin, dass er<br />

eine Membranpumpe (ölfreies System) als Vorvakuumpumpe hat. Ferner<br />

besitzt er ein weiteres Ventil, das Ventil V4b (Proportionalventil), welches<br />

schrittweise geöffnet, den Einlassdruck in die TMP regelt.<br />

3<br />

2<br />

P 2<br />

Membranpumpe<br />

1<br />

4<br />

V 2a<br />

MS<br />

300 dry<br />

Abb. 6: <strong>Vakuum</strong>diagramm <strong>PhoeniXL</strong><br />

V 1<br />

Pos. Beschreibung<br />

1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches<br />

Sektorfeld-Massenspektrometer)<br />

2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS<br />

benötigten Hochvakuums)<br />

3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2<br />

4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für<br />

die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)<br />

5 Einlassflansch<br />

6 Pirani Messsystem für Eingangsdruck P1<br />

V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse<br />

V 2b<br />

6<br />

V 7<br />

V<br />

4 b<br />

V 4 a<br />

V 6<br />

V 5<br />

P 1<br />

V 3<br />

5

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