PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
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Funktionsweise<br />
34 ⏐GA10218_0201 - 3/2005<br />
4.1.1.1 <strong>Vakuum</strong>diagramm <strong>PhoeniXL</strong>300 dry<br />
Der <strong>PhoeniXL</strong> 300 dry unterscheidet sich zum <strong>PhoeniXL</strong> 300 darin, dass er<br />
eine Membranpumpe (ölfreies System) als Vorvakuumpumpe hat. Ferner<br />
besitzt er ein weiteres Ventil, das Ventil V4b (Proportionalventil), welches<br />
schrittweise geöffnet, den Einlassdruck in die TMP regelt.<br />
3<br />
2<br />
P 2<br />
Membranpumpe<br />
1<br />
4<br />
V 2a<br />
MS<br />
300 dry<br />
Abb. 6: <strong>Vakuum</strong>diagramm <strong>PhoeniXL</strong><br />
V 1<br />
Pos. Beschreibung<br />
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches<br />
Sektorfeld-Massenspektrometer)<br />
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS<br />
benötigten Hochvakuums)<br />
3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2<br />
4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für<br />
die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)<br />
5 Einlassflansch<br />
6 Pirani Messsystem für Eingangsdruck P1<br />
V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse<br />
V 2b<br />
6<br />
V 7<br />
V<br />
4 b<br />
V 4 a<br />
V 6<br />
V 5<br />
P 1<br />
V 3<br />
5