PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

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Installation 28 ⏐GA10218_0201 - 3/2005 Beep: An Maximale Evakuierungszeit: 30 Minuten Audio Alarm Typ: Trigger Alarm Maximaler Einlassdruck beim Schnüffeln: 0,15 mbar Minimaler Einlassdruck beim Schnüfffeln: 0,05 mbar Steuerungsort: Lokal Alarm-Verzögerung: 30 Sekunden Leckraten-Filter: AUTO Zero: Freigegeben Vakuumbereiche Normal Obere Anzeigegrenze 1E-5 mbar l / s Service Meldung für Auspuff-Filter (nur PhoeniXL 300 ) An
3 Überprüfungen vor der Inbetriebnahme In diesem Kapitel werden die Schritte zur Erstinbetriebnahme beschrieben. Es wird erklärt, wie der PhoeniXL einzuschalten ist, wie man Messungen durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft. Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der PhoeniXL nicht so verhält wie erwartet oder sich seltsam verhält, kann das Lecksuchgerät jederzeit über seinen Netzschalter ausgeschaltet werden. 3.1 Benötigte Teile Nachstehend aufgeführte Teile werden benötigt: � DN 25 KF Blindflansch (falls nicht schon am Einlassflansch montiert). � Ein Helium-Testleck mit DN 25 KF Anschluß (oder entsprechender Adapter). � Für den PhoeniXL 300 Modul muss eine externe Vorvakuumpumpe an den DN 25 KF an der Seite oder unter dem Gerät angeschlossen sein (siehe Kapitel 2.3.5). 3.2 Erstinbetriebnahme Bitte die nachstehende Beschreibung der Erstinbetriebnahme Schritt für Schritt nachvollziehen. Siehe Kapitel 5 für eine ausführlichere Beschreibung. 3.2.1 Hochlauf / Starten 1. Den PhoeniXL auspacken und auf äußerlich sichtbare Schäden hin untersuchen (siehe Kapitel 1.4). 2. Das Gerät an die Netzspannung anschließen (siehe Kapitel 2.2.1 ) 3. Den PhoeniXL über den Netzschalter Abb. 3/4 einschalten. Kälte oder Hitze können das Gerät zerstören. Zwischen +10°C und +40°C ist das Gerät betriebsbereit. Zwischen -10°C und +60°C kann das Gerät gelagert werden. Nach dem Einschalten wird auf dem Display der Bedieneinheit (Abb. 2/2) ein Willkommen Bild angezeigt, gefolgt von Statusinformationen zur Geschwindigkeit der Turbopumpe, dem Vorvakuumdruck, der Emission und der aktiven Kathode des Massenspektrometers. Der Startvorgang dauert max. 2 Minuten und dessen Ende wird von einem kurzen Signalton angezeigt. Der PhoeniXL befindet sich nun im Stand-by- Modus (Bereitschaft). Abb 4. Überprüfung Achtung GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 29
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Seite 63 und 64: Das Menü für die Vakuumeinstellun
Seite 65 und 66: 6.6.1.3 Vakuumbereiche � Hauptmen
Seite 67 und 68: Saugvermögen der Hilfspumpe vergr
Seite 69 und 70: 6.6.2 Filter & Untergrund � Haupt
Seite 71 und 72: 6.6.3 Masse � Hauptmenü > Einste
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7 Kalibrierung 7.1 Einführung Der
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9.1.2 Öffnen des PhoeniXL 2 3 Abb.
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EUROPA Deutschland: Leybold Vacuum
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