PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum
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Allgemeines<br />
16 ⏐GA10218_0201 - 3/2005<br />
300 Modul<br />
1.3.4 Technische Daten <strong>PhoeniXL</strong><br />
1.3.4.1 Physikalische Daten<br />
Max. Einlassdruck 15 mbar<br />
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate<br />
– im <strong>Vakuum</strong>modus<br />
� mit Scroll Pumpe ≤ 8·10 -12 mbar l / s<br />
� mit ölgedichteter Vorpumpe ≤ 5·10 -12 mbar l / s<br />
– im Schnüffelmodus
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