PhoeniXL Gebrauchsanleitung - DPS-Vakuum

Gebrauchsanleitung
GA10218_0201
PhoeniXL 300
Lecksuchgerät
Katalog-Nummern
PhoeniXL 300 250000, 251000
PhoeniXL300 dry 250001, 251001
PhoeniXL 300 Modul 250002

Inhalt
Abschnitt
2 ⏐ GA10218_0201 - 03/2005
Seite
. 1 Allgemeines ......................................................................................................8
1.1 Hinweise zum Gebrauch dieses Handbuches ..................................................... 8
1.1.1 Sicherheitssymbole und deren Bedeutung ......................................................... 8
1.1.2 Hinweise ............................................................................................................ 8
1.1.3 Vakuumsymbole ................................................................................................. 8
1.1.4 Begriffsdefinitionen ............................................................................................. 9
1.2 Leybold Service ................................................................................................ 10
1.3 Einführung ........................................................................................................ 11
1.3.1 Verwendungszweck ......................................................................................... 11
1.3.2 Technische Daten PhoeniXL 300 ........................................................................ 12
1.3.2.1 Physikalische Daten ......................................................................................... 12
1.3.2.2 Elektrische Daten ............................................................................................. 13
1.3.2.3 Weitere technische Daten ................................................................................. 13
1.3.2.4 Umgebungsbedingungen ................................................................................. 14
1.3.3 Technische Daten PhoeniXL 300 dry ................................................................... 14
1.3.3.1 Physikalische Daten ......................................................................................... 14
1.3.3.2 Elektrische Daten ............................................................................................. 15
1.3.3.3 Weitere technische Daten ................................................................................. 15
1.3.3.4 Umgebungsbedingungen ................................................................................. 15
1.3.4 Technische Daten PhoeniXL 300 Modul ................................................................ 16
1.3.4.1 Physikalische Daten ......................................................................................... 16
1.3.4.2 Elektrische Daten ............................................................................................. 17
1.3.4.3 Weitere technische Daten ................................................................................. 17
1.3.4.4 Umgebungsbedingungen ................................................................................. 17
1.4 Auspacken ....................................................................................................... 17
1.4.1 Lieferumfang .................................................................................................... 18
1.4.2 Zubehör und Optionen ..................................................................................... 18
1.4.2.1 Schnüffelleitung SL300 ..................................................................................... 18
1.4.2.2 Fernbedienung ................................................................................................. 19
1.4.2.3 Teilstromsystem (nur PhoeniXL 300 ) ................................................................... 19

Inhalt
2 Installation ......................................................................................................21
2.1 Aufstellungsort ................................................................................................. 21
2.2 Elektrische Anschlüsse ..................................................................................... 22
2.2.1 Netzanschluss .................................................................................................. 22
2.2.2 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale ....................................................... 23
2.2.2.1 Zubehör Option (Accessories) .......................................................................... 23
2.2.2.2 Digitalausgang Control (Digital Out) .................................................................. 23
2.2.2.3 Digitaleingang Control 2 (Digital In) ................................................................... 24
2.2.2.4 Schreiber (Recorder) ....................................................................................... 24
2.2.2.5 RS232 .............................................................................................................. 25
2.2.2.6 Fernbedienung (Remote Control) ..................................................................... 25
2.3 Vakuumanschlüsse .......................................................................................... 26
2.3.1 Einlass .............................................................................................................. 26
2.3.2 Auspuff ............................................................................................................. 26
2.3.3 Belüftungsanschluss ........................................................................................ 26
2.3.4 Gasballastanschluss ......................................................................................... 26
2.3.5 Anschluss einer externen Pumpe ( nur PhoeniXL 300 Modul) ................................ 26
2.4 Auslieferungszustand ....................................................................................... 27
3 Überprüfungen vor der Inbetriebnahme ......................................................29
3.1 Benötigte Teile ................................................................................................. 29
3.2 Erstinbetriebnahme .......................................................................................... 29
3.2.1 Hochlauf / Starten ............................................................................................ 29
3.2.2 Interne Kalibrierung .......................................................................................... 30
3.2.3 Überprüfung mit einem externen Testleck ......................................................... 31
3.2.4 Messen an einem Prüfling (Vakuummethode) ................................................... 31
3.2.5 Ausschalten ..................................................................................................... 31
4 Beschreibung undFunktionsweise ..............................................................32
4.1 Einführung ........................................................................................................ 32
4.1.1 Vakuumsystem ................................................................................................ 32
4.1.1.1 Vakuumdiagramm PhoeniXL 300 dry ................................................................... 34
4.1.1.2 Vakuumdiagramm PhoeniXL 300 Modul ............................................................... 35
GA10218_0201 - 03/2005 ⏐ 3

Allgemeines
4 ⏐GA10218_0201 - 03/2005
4.1.2 Bedieneinheit .................................................................................................... 36
4.1.2.1 LCD Anzeige .................................................................................................... 36
4.1.2.2 START Taste .................................................................................................... 36
4.1.2.3 STOP Taste ...................................................................................................... 36
4.1.2.4 ZERO Taste ................................................................................................... 36
4.1.2.5 MENU (MENÜ) Taste ........................................................................................ 38
4.1.2.6 Tasten .............................................................................................................. 38
4.1.2.7 Numerische Eingaben ...................................................................................... 38
4.1.3 Vakuummethode .............................................................................................. 40
4.1.4 Teilstrombetrieb (nur PhoeniXL 300) ................................................................... 41
4.1.5 Schnüffelmodus ............................................................................................... 41
4.1.6 Bedienelemente auf der Fernbedienung (Optional) ............................................ 42
4.1.7 Anzeigeelemente auf der Fernbedienung .......................................................... 44
5 Betrieb des PhoeniXL ....................................................................................45
5.1 Display ............................................................................................................. 45
5.2 Hochlauf-Anzeigen ........................................................................................... 45
5.3 Anzeigen im Stand-by Modus .......................................................................... 46
5.3.1 Gasballast/Spülvorgang ................................................................................... 46
5.4 Das Display im Messmodus ............................................................................. 46
5.4.1 Aufrufen der Kalibrierfunktion ............................................................................ 47
5.4.2 Lautstärke für das akustische Signal ................................................................. 47
5.4.3 Statuszeile des Displays ................................................................................... 47
5.4.4 Messmodus mit Balkenanzeige ........................................................................ 48
5.4.5 Messmodus mit Trendanzeige .......................................................................... 48
6 Beschreibung der Menüpunkte ....................................................................49
6.1 Hauptmenü ...................................................................................................... 49
6.2 Anzeige ............................................................................................................ 51
6.2.1 Skalierung linear/logarithmisch ......................................................................... 52
6.2.2 Anzeigebereich auto/manuell ............................................................................ 53
6.2.3 Zeitachse ......................................................................................................... 53
6.2.4 Kontrast ........................................................................................................... 54
6.2.5 Untergrund in Stand-by .................................................................................... 54

Allgemeines
6.2.6 Untere Anzeigegrenze ...................................................................................... 55
6.3 Betriebsart ....................................................................................................... 55
6.4 Trigger & Alarme ............................................................................................... 56
6.4.1 Triggerlevel 1 .................................................................................................... 56
6.4.2 Triggerlevel 2 .................................................................................................... 57
6.4.3 Triggerlevel 3 .................................................................................................... 57
6.4.4 Einheiten .......................................................................................................... 57
6.4.5 Lautstärke ........................................................................................................ 57
6.4.6 Alarmverzögerung ............................................................................................ 58
6.4.7 Audioalarm Typ ................................................................................................ 58
6.4.7.1 Pinpoint ............................................................................................................ 59
6.4.7.2 Prop. Leckrate ................................................................................................. 59
6.4.7.3 Setpoint ........................................................................................................... 59
6.4.7.4 Triggeralarm ..................................................................................................... 60
6.5 CAL (Kalibrierung) ............................................................................................. 61
6.6 Einstellungen .................................................................................................... 61
6.6.1 Vakuumeinstellungen ........................................................................................ 62
6.6.1.1 Automatisches Spülen ...................................................................................... 64
6.6.1.2 Verzögerung Belüftung ..................................................................................... 64
6.6.1.3 Vakuumbereiche .............................................................................................. 65
6.6.1.4 Teilstrom / Vorpumpe konfigurieren .................................................................. 66
6.6.1.5 Schnüffelfaktor ................................................................................................. 67
6.6.1.6 Maschinenfaktor ............................................................................................... 68
6.6.1.7 Leckrate internes Testleck ............................................................................... 68
6.6.2 Filter & Untergrund ........................................................................................... 69
6.6.2.1 Untergrundbestimmung Einlassbereich ............................................................ 69
6.6.2.2 Untergrundunterdrückung ................................................................................ 70
6.6.2.3 Leckraten Filter ................................................................................................. 70
6.6.3 Masse .............................................................................................................. 71
6.6.4 Schnittstellen .................................................................................................... 71
6.6.4.1 Steuerungsort .................................................................................................. 72
6.6.4.2 Schreiberausgang definieren ............................................................................ 72
GA10218_0201 - 03/2005⏐ 5

Allgemeines
6 ⏐GA10218_0201 - 03/2005
6.6.4.3 RS232 .............................................................................................................. 73
6.6.4.4 SPS-Ausgänge definieren (Control, Digital Out) ................................................. 74
6.6.4.5 SPS-Eingänge definieren (Control 2, Digital In) .................................................. 75
6.6.4.6 Skalierung Schreiberausgang ........................................................................... 76
6.6.4.7 SPS Abtastrate ................................................................................................. 77
6.6.5 Diverses ........................................................................................................... 77
6.6.5.1 Datum/Uhrzeit .................................................................................................. 78
6.6.5.2 Sprache ........................................................................................................... 78
6.6.5.3 Kalibrieraufforderung ........................................................................................ 78
6.6.5.4 Serviceintervall Vorpumpe ................................................................................ 79
6.6.5.5 Serviceintervall Auspuff-Ölfilter .......................................................................... 79
6.6.5.6 Wartungssmeldung Auspuff-Ölfilter .................................................................. 80
6.6.6 Parameter laden / speichern ............................................................................. 80
6.6.6.1 Speichern eines Parametersatzes ..................................................................... 80
6.6.6.2 Laden eines Parametersatzes ........................................................................... 81
6.6.7 Überwachung ................................................................................................... 81
6.6.7.1 Druckgrenze für Vakuumbereiche ..................................................................... 81
6.6.7.2 Druckgrenzen für Schnüffelmodus .................................................................... 82
6.6.7.3 Maximale Evakuierungszeit ............................................................................... 83
6.7 Information ....................................................................................................... 84
6.7.1 Service ............................................................................................................. 85
6.8 Benutzerberechtigung ...................................................................................... 85
6.8.1 Zero ................................................................................................................. 86
6.8.2 Zugang zur CAL-Funktion ................................................................................ 86
6.8.3 Menü Pin ändern .............................................................................................. 86
7 Kalibrierung ....................................................................................................87
7.1 Einführung ........................................................................................................ 87
7.2 Die Kalibrierroutinen ......................................................................................... 87
7.2.1 Interne Kalibrierung .......................................................................................... 88
7.2.2 Externe Kalibrierung ......................................................................................... 88

Allgemeines
7.3 Kalibrierfaktor-Wertebereich ............................................................................. 90
8 Fehlermeldungen und Warnungsmeldungen ..............................................91
8.1 Hinweise .......................................................................................................... 91
8.2 Liste der Fehler- und Warnungsmeldungen ...................................................... 92
9 Wartung ..........................................................................................................98
9.1 Leybold Service ................................................................................................ 98
9.1.1 Wartungsplan ................................................................................................... 98
9.1.2 Öffnen des PhoeniXL ........................................................................................ 99
9.1.3 Wechsel der Filtermatten ................................................................................ 100
9.1.4 Ölwechsel ...................................................................................................... 101
9.1.5 Reinigung ....................................................................................................... 101
9.1.6 Sicherungswechsel ........................................................................................ 101
9.1.7 Auspuff-Filter .................................................................................................. 103
9.2 Turbomolekularpumpe ................................................................................... 103
9.3 Eingebautes Testleck TL7 .............................................................................. 103
9.3.1 Technische Daten .......................................................................................... 104
9.3.2 Werksüberprüfung .......................................................................................... 104
Anhang 105
GA10218_0201 - 03/2005⏐ 7

Allgemeines
8 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
1 Allgemeines
Lesen Sie dieses Handbuch sorgfältig! So werden Fehler ausgeschlossen
und die Arbeitsbedingungen sind von Anfang an optimal.
Dieses technische Handbuch enthält wichtige Informationen zu Funktion,
Installation, Inbetriebnahme und Betrieb des PhoeniXL.
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir
uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich.
1.1 Hinweise zum Gebrauch dieses
Handbuches
1.1.1 Sicherheitssymbole und deren Bedeutung
Wichtige Hinweise zur Betriebssicherheit und dem Schutz von Personen
sind wie folgt hervorgehoben:
Achtung Wenn Sie die Abläufe im technischen Handbuch anders als
beschrieben durchführen, entstehen Schäden am Gerät.
Halten Sie sich an die Vorgaben!
Vorsicht Wenn Sie die Abläufe im technischen Handbuch anders als
beschrieben durchführen, verletzen Sie sich oder andere Personen.
Halten Sie sich an die Vorgaben!
1.1.2 Hinweise
Die Hinweise zu Abbildungen bestehen aus Abbildungsnummer und
Positionsnummer in dieser Reihenfolge. Zum Beispiel: Abb. 2 / 7 bezieht
sich auf die Abbildung 2 und dort auf Position 7.
1.1.3 Vakuumsymbole
Nachstehend einige der gebräuchlichsten Vakuumsymbole, die in diesem
Handbuch verwendet werden.
Vakuumpumpe, allgemein
Turbomolekularpumpe
Druckmessgerät
Ventil

1.1.4 Begriffsdefinitionen
Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein, dass eine maximale
Leckratenanzeige erreicht wird. Der Steuerrechner ändert die Spannung,
welche die Ionen beschleunigt, innerhalb des ausgewählten Massenbereiches
so, dass vom Ionendetektor ein maximaler Ionenstrom detektiert
wird. Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der
Masse.
Der Verstärkungsbereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche
werden automatisch ausgewählt.
Die automatische Messbereichswahl des PhoeniXL überstreicht den
gesamten Bereich oder den gesamten Leckratenbereich in Abhängigkeit
von der ausgewählten Betriebsart: Vakuummodus oder Schnüffelmodus.
Nicht nur das Leckratensignal, sondern auch der Druck im Prüfling (Einlassdruck
P1) und der Vorvakuumdruck (P2) werden zu Steuerungszwekken
herangezogen. Die Bereichsumschaltung innerhalb der
Hauptbereiche erfolgt durch Ventile. Die Feinbereichsumschaltung innerhalb
der Hauptbereiche erfolgt durch die Umschaltung des Verstärkungsfaktors
im Vorverstärker.
Messung und automatische Anpassung an den internen Heliumuntergrund.
Durch diese Funktion wird der interne Gerätenullpunkt bestimmt, der dann
vom aktuell gemessenen Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion
wird während des Kalibriervorganges oder bei Betätigung der Start-Taste
aktiviert, sofern der PhoeniXL zuvor mindestens 20 Sekunden in der
Betriebsart „Stand-by“ oder „Belüften“ gelaufen ist.
GROSS ist eine Messbetriebsart, die hohe Einlassdrücke zulässt
(15 bis 0,2 mbar). Die untere Anzeigegrenze beträgt 1· 10-7 mbar l / s
FINE ist die Betriebsart für Einlassdrücke < 0,2 mbar. Die Nachweisgrenze
liegt hier bei ≤ 5·10 -12 mbar l / s.
Precision ist die Betriebsart, in der der PhoeniXL 300 dry seine maximale
Empfindlichkeit erreicht.
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbo-Molekularpumpe und der Vorvakuumpumpe.
Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem. Die Größe des internen
Heliumuntergrundes wird in der Betriebsart „Stand-by“ gemessen und
vom gemessenen Signal abgezogen. (siehe oben: Automatische Nullpunkteinstellung)
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der PhoeniXL im Vakuummodus
erfassen kann ist: ≤ 5·10-12 mbar l / s.
Das Menü erlaubt es dem Bediener des PhoeniXL, diesen entsprechend
seiner Wünsche zu programmieren. Das Menü hat eine Struktur, die sich
baumartig verzweigt.
Allgemeines
Automatische
Abstimmung /
Masseneinstellung
Automatische
Messbereichswahl
Automatische
Nullpunkteinstellung
GROSS
FINE
PRECISION
Vorvakuumdruck
Interner
Heliumuntergrund
Kleinste nachweisbare
Leckrate
Menü
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 9

Allgemeines
Messen / Messbetriebsart Der PhoeniXL misst die Leckrate des Prüflings.
Werksauslieferungs Zustand des PhoeniXL, wie vom Werk ausgeliefert.
zutand /
Defaultzustand
10 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
1.2 Leybold Service
Erklärung über die Kontamination von Kompressoren, Vakuumpumpen und –Komponenten
Die Reparatur und / oder die Wartung von Kompressoren, Vakuumpumpen und –komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine vollständig ausgefüllte
Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn diese Erklärung den instandzusetzenden Geräten nicht beiliegt,
kann die Sendung zurückgewiesen werden. Für jedes Aggregat ist eine eigene Erklärung abzugeben.
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal des Betreibers ausgefüllt und unterschrieben werden.
Auftraggeber/Abt./Institut : Grund für die Einsendung zutreffendes bitte ankreuzen
Reparatur kostenpflichtig Gewährleistung
Straße : Austausch kostenpflichtig Gewährleistung
PLZ, Ort: DKD-Kalibrierung Werkskalibrierung
Ansprechpartner : Rückgabe aus folgenden Gründen:
Telefon : Fax: Miete/Leihe zur Gutschrift gegen Austausch
Auftrags-Nr. des Auftraggebers: Austausch bereits erfolgt33
A. Angaben zum Aggregat (Maschine oder Komponente) Zubehör
Typenbezeichnung :
Artikelnummer :
Fabrikations- / Seriennummer:
Verwendetes Öl: bitte angeben !
B. Zustand des Aggregates Nein Ja Nein Kontaminierung : Nein Ja
1. War es in Betrieb toxisch
2. Entleert (Produkt/Betriebsstoffe) ätzend
3. Alle Öffnungen luftdicht verschlossen! mikrobiologisch
4. Gereinigt explosiv
Wenn ja, mit welchem Reinigungsmittel : radioaktiv
Und mit welcher Reinigungsmethode : sonst. Schadstoffe
C. Angaben zu geförderten Stoffe (bitte unbedingt ausfüllen)
1. Mit welchen Stoffen kam das Aggregat in Berührung:
Handelsnahme und/oder chemische Bezeichnung von Betriebsmittels und geförderten Stoffen, Stoffeigenschaften z.B. nach Sicherheitsdatenblatt
( z.B. giftig, entzündlich, ätzend, radioaktiv)
X
a)
b)
c)
d)
Handelsname: Chemische Bezeichnung:
Ja Nein
2. Sind die oben aufgeführten Stoffe gesundheitsschädlich
3. Gefährliche Zersetzungsprodukte bei thermischer Belastung
Wenn ja, welche :
Aggregate, die mit mikrobiologischen, explosiven oder radioaktiven Stoffen kontaminiert sind, werden nur bei Nachweis einer
vorschriftsmäßigen Reinigung entgegengenommen.
D. Rechtsverbindliche Erklärung
Wir versichern, daß die Angaben in dieser Erklärung wahrheitsgemäß und vollständig sind und ich als Unterzeichner in der Lage
bin, dies zu beurteilen. Uns ist bekannt, daß wir gegenüber dem Auftragnehmer für Schäden, die durch unvollständige und
unrichtige Angaben entstehen, haften. Wir verpflichten uns, den Auftragnehmer von durch unvollständige oder unrichtige Angaben
entstehenden Schadenersatzansprüchen Dritter freizustellen. Uns ist bekannt, daß wir unabhängig von dieser Erklärung gegenüber
Dritten – wozu insbesondere die mit der Handhabung/Reparatur des Produktes betrauten Mitarbeiter des Auftragnehmers gehören
– direkt haften.
Name der autorisierten Person (in Druckbuchstaben):
Datum Unterschrift Firmenstempel
Abb. 1 Formular zur Erklärung von Kontaminierungen
Falls Sie ein Gerät an Leybold schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei
von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert
ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an.
Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular benutzen, das wir
Ihnen auf Anfrage zusenden und der technischen Dokumentation beiliegt.
Außerdem finden Sie ein geeignetes Formular im Internet: www.leybold.com
unter der Überschrift „Support & Download“.
Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie es dem Gerät bei.
Diese Erklärung über Kontaminierung ist erforderlich zur Erfüllung gesetzlicher
Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter. Geräte ohne Erklärung
über Kontaminierung muss Leybold an den Absender zurückschicken.
Vor dem Versand bitte die gelben Schraubstopfen auf die Anschlüsse
EXHAUST und GASBALLAST montieren.

1.3 Einführung
1.3.1 Verwendungszweck
Der PhoeniXL ist ein Helium-Lecksuchgerät. Er dient zur Lokalisierung von
Lecks und zur Messung der Größe von Lecks in Objekten, wobei zwei verschiedene
Methoden zur Verfügung stehen:
Bei der Vakuumlecksuchmethode wird der Prüfling dann evakuiert und
von außen mit Helium besprüht. Dazu ist es erforderlich, eine Vakuumverbindung
zwischen dem PhoeniXL und dem Prüfling herzustellen
oder
bei der Schnüffellecksuchmethode wird in dem Prüfling ein Heliumüberdruck
erzeugt, und der Prüfling wird von außen mit einer Schnüffelsonde,
die mit dem Einlass des Lecksuchgeräts verbunden ist, abgesucht.
Sie dürfen mit dem PhoeniXL nur Helium und Wasserstoff aufspüren.
Wenn Sie das Gerät mit Ölen oder anderen Flüssigkeiten
in Berührung bringen, wird es unbrauchbar.
Abpumpen von kondensierbaren Gasen und Dämpfen: Beim Abpumpen
von Prüflingen kann darin enthaltener Wasserdampf in die Vorpumpe
gelangen. Mit dem in der Luft enthaltenen Wasserdampf kann, speziell in
feuchten Regionen oder bei nassen oder feuchten Prüflingen, die zulässige
Wasserdampfverträglichkeit bzw. Wasserdampfkapazität der Vorpumpe
überschritten werden.
Wenn der Dampfdruck über den zulässigen Wert ansteigt, kondensiert
Dampf im Pumpenöl. Dadurch verändern sich die Öleigenschaften und es
besteht Korrosionsgefahr für die Pumpe.
Während des Betriebs des PhoeniXL mit kondensierbaren Gasen und
Dämpfen, muss das Öl in der Vorpumpe regelmäßig kontrolliert werden,
um eine Kondensation von Wasserdampf in der Pumpe zu erkennen. Im
Normalfall ist das Öl hell und durchsichtig, bei enthaltenem Wasserdampf
wird es im betriebswarmen Zustand trübe und milchig.
Nach Abschalten der Pumpe kondensiert Wasserdampf und erhöht den
Wasseranteil im Öl.
Die Pumpe kann geschädigt oder zerstört werden.
Das Pumpenöl muss von gelösten Dämpfen befreit werden.
Lassen Sie den PhoeniXL mit geöffnetem Gasballastventil laufen
(mindestens 20 Minuten).
Der PhoeniXL darf nach Beendigung eines Prozesses, in dem kondensierbare
Gase oder Dämpfe abgepumpt werden, nicht sofort abgestellt werden.
Er muss noch so lange mit geöffnetem Gasballastventil (siehe Kapitel
5.3.1) weiterlaufen (mindestens 20 Min.) bis das Pumpenöl von gelösten
Dämpfen befreit ist.
Wenn Sie diese Anweisung nicht befolgen, kann die Pumpe zerstört werden.
In diesem Fall wird keine Gewährleistung übernommen.
In dieser Betriebsart muss der Ölstand der Pumpe regelmäßig kontrolliert
werden.
Die normalen Ölwechselintervalle des Herstellers sind zu beachten. Siehe
dazu auch die Gebrauchsanleitung der Drehschieberpumpe.
Achtung
Achtung
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 11

Allgemeines
12 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Achtung Gefährliche Gase verseuchen das Gerät.
Deshalb dürfen Sie das Gerät nicht benutzen, um toxische,
ätzende, mikrobiologische, explosive, radioaktive oder andere
Schadstoffe aufzuspüren.
Setzen Sie sich mit dem Hersteller in Verbindung, wenn ein solcher
Einsatz geplant ist.
Sollte ein Einsatz vorgesehen sein, bei dem giftige Stoffe in das Gerät
gelangen, wird Ihnen der Hersteller entsprechende Dekontaminierungsregeln
erarbeiten. Sollte das Gerät mit gefährlichen Gasen in Berührung
gekommen sein, müssen Sie die Dekontaminierungserklärung ausfüllen
und sie zusammen mit dem Gerät an den Hersteller zurückschicken.
Wenn Teile aus dem Gerät gereinigt werden müssen, müssen Sie Kontakt
zum Hersteller aufnehmen. Senden Sie vorher bitte eine ausgefüllte Kopie
der Kontaminierungserklärung.
1.3.2 Technische Daten PhoeniXL 300
1.3.2.1 Physikalische Daten
Max. Einlassdruck 15 mbar
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate
– im Vakuummodus
– im Schnüffelmodus
Kleinste nachweisbare Wasserstoff-Leckrate
– im Vakuummodus
– im Schnüffelmodus
≤ 5·10 -12 mbar l / s

Ionenquelle 2 Kathoden;
Iridium/Yttriumoxid
Einlassflansch DN 25 KF
Hochlaufzeit (nach dem Einschalten) ≤ 2min
Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate
müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden:
� Der PhoeniXL muss mind. 20 min in Betrieb sein.
� Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine
Vibrationen/Stöße).
� Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden,
bis sich der Untergrund nicht mehr weiter verringert.
� Die Zerofunktion muss eingeschaltet sein.
1.3.2.2 Elektrische Daten
Netzspannung 230 V ± 5%,
50 / 60 Hz
115 V ± 5%, 60 Hz
Leistungsaufnahme 420 VA
Schutzart IP40
Netzleitungen (EU, USA, UK) 2,5 m
1.3.2.3 Weitere technische Daten
Ventile elektromagnetisch
Abmessungen (B × H × T) mm 495 x 456 x 314
Gewicht in kg 40,0
Lärmpegel in dB (A) < 54
max. Audioalarm dB (A) 90
Verschmutzungsgrad (nach IEC 60664-1) 2
Überspannungskategorie (nach IEC 60664-1) II
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 13

Allgemeines
14 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
1.3.2.4 Umgebungsbedingungen
Nur geeignet zum Betrieb in Gebäuden
Zulässige Umgebungstemperatur (in Betrieb) +10 °C … +40 °C
Zulässige Lagerungstemperatur –10 °C … +60 °C
Max. rel. Feuchtigkeit 80% (bis 31°C) linear
abnehmend bis 50%
relativer Luftfeuchte
bei 40°C
Max. zulässige Höhe über dem Meeresspiegel 2000 m
(in Betrieb)
1.3.3 Technische Daten PhoeniXL300 dry
1.3.3.1 Physikalische Daten
Max. Einlassdruck
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate
15 mbar
– im Vakuummodus ≤ 3·10-11 mbar l / s
– im Schnüffelmodus

Zum Erreichen des Bereiches mit der minimalen nachweisbaren Leckrate
müssen erst einige Bedingungen erfüllt werden:
� Der PhoeniXL muss mind. 20 min in Betrieb sein.
� Die Umgebungsbedingungen müssen stabil sein (Temperatur, keine
Vibrationen/Stöße).
� Der Prüfling muss so lange bei ausgeschaltetem ZERO betrieben werden,
bis sich der Untergrund nicht mehr weiter verringert.
� Die Zerofunktion muss eingeschaltet sein.
1.3.3.2 Elektrische Daten
Netzspannung 230 V, 50 Hz
115 V, 60 Hz
Leistungsaufnahme 350 VA
Schutzart IP40
Netzleitungen (EU, USA, UK) 2,5 m
1.3.3.3 Weitere technische Daten
Ventile elektromagnetisch
Abmessungen (B × H × T) mm 495 x 456 x 314
Gewicht in kg 35,5
Lärmpegel in dB (A) < 53
max. Audioalarm dB (A) 90
Verschmutzungsgrad (nach IEC 60664-1) 2
Überspannungskategorie (nach IEC 60664-1) II
1.3.3.4 Umgebungsbedingungen
Nur geeignet zum Betrieb in Gebäuden
Zulässige Umgebungstemperatur (in Betrieb) +10 °C … +40 °C
Zulässige Lagerungstemperatur –10 °C … +60 °C
Max. rel. Feuchtigkeit 80% (bis 31°C) linear
abnehmend bis 50%
relativer Luftfeuchte
bei 40°C
Max. zulässige Höhe über dem Meeresspiegel 2000 m
(in Betrieb)
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 15

Allgemeines
16 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
300 Modul
1.3.4 Technische Daten PhoeniXL
1.3.4.1 Physikalische Daten
Max. Einlassdruck 15 mbar
Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate
– im Vakuummodus
� mit Scroll Pumpe ≤ 8·10 -12 mbar l / s
� mit ölgedichteter Vorpumpe ≤ 5·10 -12 mbar l / s
– im Schnüffelmodus

1.3.4.2 Elektrische Daten
Netzspannung 100 - 230 V
50 Hz / 60 Hz
Leistungsaufnahme 350 VA
Schutzart IP40
Netzleitungen (EU, USA, UK) 2,5 m
1.3.4.3 Weitere technische Daten
Ventile elektromagnetisch
Abmessungen (B × H × T) mm 495 x 456 x 314
Gewicht in kg 29,5
Lärmpegel in dB (A) < 54
max. Audioalarm dB (A) 90
Verschmutzungsgrad (nach IEC 60664-1) 2
Überspannungskategorie (nach IEC 60664-1) II
1.3.4.4 Umgebungsbedingungen
Nur geeignet zum Betrieb in Gebäuden
Zulässige Umgebungstemperatur (in Betrieb) +10 °C … +40 °C
Zulässige Lagerungstemperatur –10 °C … +60 °C
Max. rel. Feuchtigkeit 80% (bis 31°C) linear
abnehmend bis 50%
relativer Luftfeuchte
bei 40°C
Max. zulässige Höhe über dem Meeresspiegel 2000 m
(in Betrieb)
1.4 Auspacken
Bitte packen Sie den PhoeniXL unmittelbar nach Erhalt aus, selbst wenn
das Gerät erst später installiert wird.
Untersuchen Sie die Versandverpackung auf etwaige äußere Beschädigungen
. Das gesamte Verpackungsmaterial entfernen.
Prüfen Sie, ob die Lieferung des PhoeniXL vollständig ist (siehe Kapitel
1.4.1) und unterziehen Sie den PhoeniXL einer sorgfältigen Sichtprüfung.
Falls eine Beschädigung entdeckt wird, teilen Sie dies unverzüglich dem
Spediteur und dem Versicherer mit. Falls ein beschädigtes Teil ersetzt
werden muss, setzen Sie sich bitte mit unserem Vetrieb in Verbindung.
Für den Fall von Reklamationen, das Verpackungsmaterial aufbewahren.
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 17

Allgemeines
18 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
1.4.1 Lieferumfang
� Lecksuchgerät PhoeniXL
� Netzleitung
� Satz Sicherungen
� Dokumentenmappe
– Technisches Handbuch und Ersatzteilliste PhoeniXL
� Schlauchstutzen
� 2 L-Verschraubungen (Schlauchanschlüsse)
� Blindflansch DN25KF
� Spannring DN25KF
� Zentrierring DN25KF
1.4.2 Zubehör und Optionen
Die nachfolgend aufgeführten Teile können zusätzlich bestellt werden:
� Schnüffelleitung SL300 252003
� Leak Ware ( Software zur Datenerfassung ) 14090
� Helium Schnüffler QUICK-TEST 15594
� Fernbedienungssatz bestehend aus: 252002
– Fernbedienung
– Kabel 4 m
– Befestigungssatz
� Verlängerungskabel, 10 m zur Fernbedienung 14022
� Sprühpistole mit Schlauch 16555
� Satz Anschlusstecker 20028782
� Teilstromsystem (nur PhoeniXL 300 ) 14020 (zur
Nr.250000)
Kat-
14028 ( zur Kat-
Nr.251000)
1.4.2.1 Schnüffelleitung SL300
Durch den Einsatz der Schnüffelleitung kann der PhoeniXL als Schnüffellecksuchgerät
eingesetzt werden. Die Länge der Schnüffelleitung beträgt
4m.
Installation:
Die Schnüffelleitung ist mit dem Kleinflansch KF 25 an den Einlassflansch
des PhoeniXL anzuschließen. Der Stecker der Schnüffelleitung ist mit der
Buchse „Option“ des PhoeniXL zu verbinden.

Funktion:
Die grüne LED leuchtet, wenn
- der PhoeniXL betriebsbereit ist, und
- der eingestellte Trigger Level nicht überschritten ist.
Die rote LED leuchtet, wenn
– der PhoeniXL nicht betriebsbereit ist oder
– der eingestellte Trigger Level überschritten ist.
Durch Drücken der Taste im Handgriff wird die Zero Funktion aktiviert,
nochmaliges Drücken der Taste hebt die Funktion wieder auf. (siehe Kapitel
4.1.2.4)
Ersatz/Verschleißteile zur Schnüffelleitung
� Schnüffelspitze 120 mm starr 12213
� Schnüffelspitze 385 mm starr 12215
� Schnüffelspitze 120 mm flexibel 12214
� Schnüffelspitze 385 mm flexibel 12216
� Kapillarfilter Metallausführung 12217
� Kapillarfilter Kunststoff (5 Stk.) 20003501
� Sinterfilter mit Dichtung ( 5Stk.) 20003500
� Filzscheiben zu Kapillarfilter (50 Stk.) 200001116
1.4.2.2 Fernbedienung
Die Fernbedienung erlaubt den Betrieb des PhoeniXL aus einer Entfernung
von bis zu 30 m (je nach Kabellänge). Über die Fernbedienung lassen sich
die Funktionen START, STOP/VENT (STOP/Belüften), ZERO (Nullpunkt)
ausführen sowie die Lautstärke erhöhen oder erniedrigen; und die Leckrate
wird auf der Balkenanzeige angezeigt. Siehe Kapitel 4.1.6 und 4.1.7 .
1.4.2.3 Teilstromsystem (nur PhoeniXL 300 )
Durch das Teilstromsystem wird das Testobjekt zusätzlich mit einer Hilfspumpe
evakuiert. Unter Verwendung der Option Teilstromsystem ergeben
sich folgende Vorteile:
� schnellere Ansprechzeiten
� Messbereitschaft bereits ab 1000 mbar Einlassdruck
� schnelles Fluten großer Testobjekte
Das Teilstromsystem besteht aus den Komponenten Teilstromventilblock
mit Eckventil DN 25 KF, Steuerkabel und Vakuumschlauch mit Verbindungsmaterial.
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 19

Allgemeines
20 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Der Teilstomventilblock mit dem Eckventil wird mit dem Einlassflansch
des PhoeniXL300 verbunden, das Steuerkabel an den Eingang Option
angeschlossen. Der Vakuumschlauch wird mit der Hilfspumpe verbunden.
Der PhoeniXL 300 muss dementsprechend konfiguriert werden. Wie diese
Einstellungen vorgenommen werden, wird im Kapitel 6.6.1.4 beschrieben.
Weitere detaillierte Informationen entnehmen Sie bitte der GA 10.277 zum
Teilstromsystem.

2 Installation
2.1 Aufstellungsort
Sie können einen Stromschlag bekommen!
Es darf deshalb keine Flüssigkeit in das Gerät gelangen.
Halten Sie alle Flüssigkeiten vom Gerät fern.
Kälte oder Hitze können das Gerät zerstören.
Zwischen 10°C und 40°C ist das Gerät betriebsbereit.
Zwischen -10°C bis +60°C kann das Gerät gelagert werden.
Das Gerät kann beschädigt werden,
wenn Sie die falschen Reinigungsmittel benutzen
oder in der Nähe aufbewahren.
Basen, Säuren und Lösungsmittel niemals zur Reinigung benutzen
und an einem anderen Ort aufbewahren.
Das Gerät kann überhitzen.
Lufteinlass- und Luftaustrittsöffnung frei halten.
Es wird empfohlen, in einem Bereich von 10 m um den PhoeniX (Abb.2)
herum alle größeren Heliumquellen auf das Vorhandensein größerer Lecks
hin zu untersuchen.
1
Abb. 2: Frontansicht des PhoeniXL
1 Einlassflansch 2 Bedienfeld
2
Vorsicht
Achtung
Achtung
Achtung
Installation
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 21

Installation
22 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
2.2 Elektrische Anschlüsse
2.2.1 Netzanschluss
Allgemein gilt, dass die örtlichen Bestimmungen, die für elektrische Verbindungen
gelten, einzuhalten sind.
Vorsicht Sie können einen Stromschlag bekommen.
Sie dürfen das Gerät nicht ohne angeschlossenen Schutzleiter
betreiben. Benutzen Sie nur 3-adrige Netzleitungen mit Schutzleiter.
Achtung Das Gerät kann durch falsche Spannung zerstört werden.
Die Spannung muss im Bereich 230V (+/- 5%) bzw. 115V (+/-
5%), je nach verwendeter Geräteversion, liegen.
Prüfen Sie die Netzspannung bevor Sie das Gerät anschließen.
Die Angaben zur Netzspannung für den PhoeniXL befinden sich auf dem
Typenschild unter der Netzbuchse Abb. 3/4 . Diese Spannung ist fest vorgegeben
und kann nicht geändert werden.
Für jede Netzleitungsader ist eine getrennte Sicherung im Netzschalter
integriert worden.
Das Gerät wird über eine steckbare Netzleitung, welche mit dem Gerät
geliefert wird, an die Netzspannung angeschlossen. Dazu ist an der Seite
des Gerätes eine Netzbuchse Abb. 3/4 vorgesehen.
Bild links:
1. Vent
2. Auspuff
3. Gasballast
4. Ein- und Aus-
Schalter
Netzanschluß
Bild rechts:
5. Serial RS232
6. Control 2
7. Record
8. Control
9. Option
10. Remote
Abb. 3 Seitenansichten PhoeniXL mit Anschlüssen

2.2.2 Anschlüsse für Zubehör und Steuersignale
2.2.2.1 Zubehör Option (Accessories)
An diesem Anschluss Abb. 3/9 kann unter anderem die Schnüffelleitung
SL300 oder ein Teilstromsystem angeschlossen werden:
Kontakt 1 und 3 sind zusammen über eine träge 0,8 A Sicherung abgesichert.
Die hier zur Verfügung stehende Leistung ist auf 10 W begrenzt. Die
Kontakte sind von oben nach unten durchnumeriert.
Kontakt Signal
1 +24 V, Dauerspannung, Stromversorgung für die Schnüffelleitung
SL300 oder Teilstromventil.
2 GND24 (Bezugspotential für die 24 V Spannung)
3 +24V, vom PhoeniXL geschaltet für z.B. externes Belüftungsventil
4, 5, 6, 7,
8
2.2.2.2 Digitalausgang Control (Digital Out)
Die folgenden Relaisausgänge (Abb.3/8) stehen für die weitere Signalverarbeitung
zur Verfügung. Die Höchstbelastbarkeit der Relaiskontakte liegt
bei 60V AC/1A.
Kontakt Signal
Diese Kontakte werden in Verbindung mit Zubehörteilen von
Leybold verwendet.
1 SPS-Eingang frei konfigurierbar
2 SPS-Eingang frei konfigurierbar
3 SPS-Eingang frei konfigurierbar
4 GND
5 bis 7 SPS-Ausgang frei definierbar
8 bis 10 SPS-Ausgang frei definierbar
11 bis 13 SPS-Ausgang frei definierbar
14 bis 16 SPS-Ausgang frei definierbar
Für die Kontakte 5 bis 16 gilt jeweils, dass die erste Zahl der Mittenkontakt,
die zweite Zahl der Arbeitskontakt und die dritte Zahl der Ruhekontakt
ist.
Weitere Informationen siehe Kapitel 6.6.4.4.
Installation
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 23

Installation
24 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
2.2.2.3 Digitaleingang Control 2 (Digital In)
Diese Eingänge (Abb 3/6) können benutzt werden, um den PhoeniXL mit
einer programmierbaren Steuerung (SPS) zu betreiben.
Um eine Verwechslung mit dem Anschluß „Record“ (Abb. 3/7) zu vermeiden,
sind die Kontakte 1 und 4 blockiert. Um den Stecker passend zu
machen, müssen an dem Stecker die entsprechenden Führungsnasen
entfernt werden. Dies kann mit einem Messer oder Zange geschehen.
Kontakt Signal
1 SPS-Eingang frei konfigurierbar
2 SPS-Eingang frei konfigurierbar
3 SPS-Eingang frei konfigurierbar
4 SPS GND
Die digitalen Eingänge funktionieren nur, wenn der Steuerungsort entsprechend
konfiguriert ist (siehe Kapitel 6.6.4.1)
Weitere Information siehe Kapitel 6.6.4.5
2.2.2.4 Schreiber (Recorder)
Der Schreiberausgang Abb. 3/7 kann zur Aufzeichnung der Leckrate, des
Einlassdruckes und des Vorvakuumdruckes benutzt werden.
Die Messwerte werden über ein Analogsignal im Bereich von 0 V … 10 V
ausgegeben. Die Auflösung ist auf 10 mV begrenzt. Das Gerät, das an
den Schreiberausgang angeschlossen wird (z. B. ein X/t Schreiber), sollte
einen Eingangswiderstand von mindestens 2.5 kΩ aufweisen. Die
Messspannung liegt an Kontakt 1 und 4 an, das Bezugspotential (GND)
liegt an den Kontakten 2 und 3 an. Die Kontakte sind von unten nach
oben durchnumeriert.
Weitere Information siehe Kapitel 6.6.4.2 und 6.6.4.6.
Die Schreiberausgänge sind gegenüber den anderen Anschlüssen elektrisch
isoliert. Falls dennoch Brummstörungen auftreten sollten, empfiehlt
es sich, den PhoeniXL und den Schreiber an der gleichen Netzphase zu
betreiben. Sollte dies nicht möglich sein, gilt es sicherzustellen, dass die
Massen beider Geräte auf dem gleichen Potential liegen.
Pin Signal
1 Auswahl von Leckrate, Einlassdruck P1 oder Vorvakuumdruck P2
2 GND (Bezugspotential)
3 GND (Bezugspotential)
4 Auswahl von Leckrate, Einlassdruck P1 oder Vorvakuumdruck P2

2.2.2.5 RS232
Diese RS 232 Schnittstelle Abb. 3/5 ist als DCE (Data Communications
Equipment) auf deutsch als DÜE (Datenübertragungseinrichtung) ausgelegt
und erlaubt den Anschluss eines PCs zur Überwachung und Datenaufzeichnung.
Die Verbindung erfolgt über eine 9-polige Sub-D Buchse
und handelsüblichen Schnittstellenkabel (1:1 Kabel). Siehe Kapitel 6.6.4.3
und Schnittstellenbeschreibung (SB 10.218) für weitergehende Informationen.
Pin Signal
1 24V Schaltbar, ab Werk nicht zugeschaltet
2 RxD
3 TxD
4 GND 24V
5 GND
6 DSR
7 CTS
8 RTS
9 frei
2.2.2.6 Fernbedienung (Remote Control)
Diese Fernbedienungsschnittstelle Abb. 3/10 ist als serielle Schnittstelle
zur Steuerung des PhoeniXL über eine Fernbedienung ausgeführt. Die
Fernbedienung kann über ein Anschlusskabel mit RJ45 Stecker angeschlossen
werden. Siehe Schnittstellenbeschreibung (SB 10.218) für weitergehende
Informationen. Die Fernbedienung ist nicht im normalen
Lieferumfang des PhoeniXL enthalten.
Pin Signal
2 +24V (Sicherung 0,8 A träge)
3 0 V
4 RXD (intern. RS232)
5 TXD (intern. RS232)
Installation
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 25

Installation
26 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
2.3 Vakuumanschlüsse
2.3.1 Einlass
Der Einlass befindet sich oben auf dem PhoeniXL (Abb. 2/1). Es handelt
sich hierbei um einen DN 25 KF Flansch.
Wird der Vakuum-Leckprüfmodus (siehe Kapitel 6.3) ausgewählt, dann
müssen der Prüfling oder die Vakuumkammer an diesem Flansch angeschlossen
werden .
Der Einlass (Abb. 2/1) wird auch zum Anschluss der Schnüffelleitung
SL300 verwendet.
2.3.2 Auspuff
Der Anschluss für die Auspuffleitung befindet sich an der Seite des
PhoeniXL (Abb. 3/2).
Beim PhoeniXL300 ist in der Auspuffleitung ein Filter montiert, der die beim
Betrieb der Drehschieberpumpe entstehenden Öldämpfe auffängt. Der
Auspufffilter ist im Rahmen der Wartung zu entleeren (siehe Kapitel 9.1.7).
Vorsicht Giftige Öldämpfe können zu Leberschäden führen.
Den Ausspuffanschluss müssen Sie beim Betrieb in geschlossenen Räumen
anschließen und über eine Schlauchleitung ins Freie führen.
Über den mitgelieferten Adapter kann am Auspuffanschluss (Abb. 3/2)
eine Schlauchleitung angeschlossen und ins Freie geführt werden.
2.3.3 Belüftungsanschluss
Normalerweise werden die Prüflinge nach Abschluss der Prüfung mit
Umgebungsluft belüftet. Falls erforderlich, können die Prüflinge mit einem
anderen Gas (z.B. Frischluft, trockene Luft, Stickstoff u.a.) auf Atmosphährendruck
belüftet werden. In diesen Fällen muss ein Belüftungsschlauch
an dem Schlauchanschluss Abb. 3/1 angeschlossen werden.
2.3.4 Gasballastanschluss
Für die Betriebsart Gasballast sollte bei Verwendung des PhoeniXL als
Helium-Lecksuchgerät ein heliumfreies Gas bei Atmosphährendruck
benutzt werden. Die Umgebungsluft kann aufgrund von Sprühen oder
Auffüllen von Behältern mit größeren Mengen an Helium verseucht sein. In
solchen Fällen sollte eine Gasversorgungsleitung (d.h. Stickstoff, Frischluft
o.ä.) über den Schlauchanschluss Abb. 3/3 angeschlossen werden. Der
Druck in dieser Gasleitung darf 1050 mbar nicht überschreiten.
Die Anschlüsse 1, 2 und 3 in Abb. 3 sind Schnellanschlüsse für Schläuche
mit einem Durchmesser von 8/6 mm.
2.3.5 Anschluss einer externen Pumpe ( nur
PhoeniXL 300 Modul )
Der PhoeniXL 300 Modul bietet 2 Möglichkeiten die externe Vorpumpe an
den DN 25 KF Anschlussflansch anzuschließen, an der Seite oder unter
dem Boden des PhoeniXL. (Abmessungen s. Anhang)
Der Anschluss kann wahlweise je nach Anwendung erfolgen, bei

Werksauslieferung ist der seitliche Anschluss vorgesehen.
Bei einem Wechsel des Anschluss bitte wie folgt vorgehen:
1. Mechanikhaube entfernen siehe Kapitel 9.1.2
2. Flanschverbindung des seitlichen Anschlussflansch lösen
3. Blindflansch des Anschlussflansch im Boden entfernen, dazu den
PhoeniXL vorsichtig auf die Elektronikseite legen
4. Verbindungsstück in den Anschlussflansch im Boden einschrauben
5. Schlauchverbindung zur Vorpumpe anflanschen
6. Blindflansch an den seitlichen Anschlussflansch anflanschen
7. Mechanikseite wieder aufsetzen
2.4 Auslieferungszustand
Die folgenden Parameter werden wie angegeben gesetzt, wenn man im
Menü des PhoeniXL unter Einstellungen → Parameterer laden/speichern
(siehe Kapitel 6.6.6) den Punkt „Defaultwerte laden“ anwählt:
Skalierung: linear
Anzeigebereich: 4 Dekaden
Zeitachse: 32 Sekunden
LCD invers: Aus
Untergrundanzeige in Stand-By: Aus
Automatische Kalibrieraufforderung: Aus
Masse: 4 (Helium)
Schreiberausgang: Leckrate
Lautstärke: 2
Leckrateneinheit: mbar l / s
Betriebsart: Vakuum
Triggerlevel 1: 1E-9 mbar l / s
Triggerlevel 2: 1E-8 mbar l / s
Triggerlevel 3: 1E-7 mbar l / s
Leckrate externes Testleck (Vakuum): 1E-7 mbar l / s
Leckrate externes Testleck (Schnüffel): 1E-5 mbar l /s
Belüftungsverzögerung: 2 Sekunden
Automatisches Spülen (nur PhoeniXL 300 und Modul) An
Druckeinheit: mbar
Mindestlautstärke: 0
Installation
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 27

Installation
28 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Beep: An
Maximale Evakuierungszeit: 30 Minuten
Audio Alarm Typ: Trigger Alarm
Maximaler Einlassdruck beim Schnüffeln: 0,15 mbar
Minimaler Einlassdruck beim Schnüfffeln: 0,05 mbar
Steuerungsort: Lokal
Alarm-Verzögerung: 30 Sekunden
Leckraten-Filter: AUTO
Zero: Freigegeben
Vakuumbereiche Normal
Obere Anzeigegrenze 1E-5 mbar l / s
Service Meldung für Auspuff-Filter (nur PhoeniXL 300 ) An

3 Überprüfungen
vor der
Inbetriebnahme
In diesem Kapitel werden die Schritte zur Erstinbetriebnahme beschrieben.
Es wird erklärt, wie der PhoeniXL einzuschalten ist, wie man Messungen
durchführen kann und wie eine interne Kalibrierung abläuft.
Falls sich bei der Erstinbetriebnahme der PhoeniXL nicht so verhält wie
erwartet oder sich seltsam verhält, kann das Lecksuchgerät jederzeit über
seinen Netzschalter ausgeschaltet werden.
3.1 Benötigte Teile
Nachstehend aufgeführte Teile werden benötigt:
� DN 25 KF Blindflansch (falls nicht schon am Einlassflansch montiert).
� Ein Helium-Testleck mit DN 25 KF Anschluß (oder entsprechender
Adapter).
� Für den PhoeniXL 300 Modul muss eine externe Vorvakuumpumpe an
den DN 25 KF an der Seite oder unter dem Gerät angeschlossen sein
(siehe Kapitel 2.3.5).
3.2 Erstinbetriebnahme
Bitte die nachstehende Beschreibung der Erstinbetriebnahme Schritt für
Schritt nachvollziehen. Siehe Kapitel 5 für eine ausführlichere Beschreibung.
3.2.1 Hochlauf / Starten
1. Den PhoeniXL auspacken und auf äußerlich sichtbare Schäden hin
untersuchen (siehe Kapitel 1.4).
2. Das Gerät an die Netzspannung anschließen (siehe Kapitel 2.2.1 )
3. Den PhoeniXL über den Netzschalter Abb. 3/4 einschalten.
Kälte oder Hitze können das Gerät zerstören.
Zwischen +10°C und +40°C ist das Gerät betriebsbereit.
Zwischen -10°C und +60°C kann das Gerät gelagert werden.
Nach dem Einschalten wird auf dem Display der Bedieneinheit (Abb. 2/2)
ein Willkommen Bild angezeigt, gefolgt von Statusinformationen zur
Geschwindigkeit der Turbopumpe, dem Vorvakuumdruck, der Emission
und der aktiven Kathode des Massenspektrometers.
Der Startvorgang dauert max. 2 Minuten und dessen Ende wird von einem
kurzen Signalton angezeigt. Der PhoeniXL befindet sich nun im Stand-by-
Modus (Bereitschaft). Abb 4.
Überprüfung
Achtung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 29

Überprüfung
30 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4. Prüfen, dass der Einlass (Abb. 2/1) blindgeflanscht ist. Sollte dies nicht
der Fall sein, dann einen Blindflansch mit O-Ring-Dichtung am Einlass
anflanschen.
5. Die START TASTE Abb. 4/10 betätigen. Der PhoeniXL beginnt mit
dem Abpumpen. Bei einem Einlassdruck < 15 mbar erfolgt die erste
Messanzeige. Der PhoeniXL befindet sich im Messmodus.
6. Die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, und der PhoeniXL geht in den
Bereitschaftsmodus (Stand-by). Wird die STOP Taste für einige
Sekunden betätigt, wird der Einlass des PhoeniXL belüftet.
7. Zur Beendigung des Hochlaufes bitte mit Schritt Nr. 21 fortfahren. Zur
Kalibrierung bitte mit Schritt Nr. 8 fortfahren.
1
2
3
4
9
Abb. 4 Bedieneinheit mit Stand-by Display
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
1 Taste Nr. 1 8 Taste Nr. 8
2 Taste Nr. 2 9 LCD Anzeige
3 Taste Nr. 3 10 Start Taste
4 Taste Nr. 4 11 Zero Taste
5 Taste Nr. 5 12 Stop Taste
6 Taste Nr. 6 13 Menu Taste
7 Taste Nr. 7
3.2.2 Interne Kalibrierung
8. Zur Durchführung einer internen Kalibrierung siehe auch Kapitel 7.2.1.
Zum Erzielen besserer quantitativer Messergebnisse sollte der
PhoeniXL 15 … 20 Minuten in Betrieb sein.
� Die CAL (Kalibrierung) Taste (Taste Nr. 5 Abb. 4/5) betätigen, um das
Kalibriermenü aufzurufen.
� intern auswählen (Abb. 23), um die interne Kalibrierung auszuführen.
Die interne automatische Kalibrierung startet und benötigt ca. 30
Sekunden. Nach erfolgreicher Beendigung erfolgt eine akustische und
visuelle Anzeige.
9. Zum Abschluß die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, bis die Meldung
STANDBY / BELÜFTET auf dem Display erscheint.
5
6
7
8
13
10
11
12

3.2.3 Überprüfung mit einem externen Testleck
Zur Überprüfung der Messgenauigkeit mit einem externen Testleck können
die nachstehend beschriebenen Schritte durchgeführt werden.
10. Den Blindflansch vom Einlass (Abb.2/1) entfernen und ein geöffnetes
Helium-Testleck am Einlass anschließen.
11. Die START Taste Abb. 4/10 betätigen. Der Einlass wird evakuiert und
die Leckrate des externen Testlecks wird gemessen und angezeigt.
12. Die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, um die Messung zu beenden.
Der PhoeniXL geht in den Bereitschaftsmodus (Stand-by).
13. Zum Abschluß die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, bis die Meldung
STANDBY / BELÜFTET auf dem Display erscheint. Nun befindet sich
der Einlass im belüfteten Zustand.
14. Das Helium-Testleck vom Einlass trennen und den Einlass wieder
blindflanschen.
3.2.4 Messen an einem Prüfling (Vakuummethode)
15. Den Blindflansch vom Einlass entfernen und die Verbindung zum Prüfling
oder den Prüfling am Einlaßflansch anschließen.
16. Die START Taste Abb. 4/10 betätigen. Der Prüfling wird evakuiert.
17. Den Prüfling von außen mit Helium besprühen. Die Leckrate des Prüflings
wird im Display angezeigt.
18. Die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, um die Messung zu beenden.
Der PhoeniXL geht in den Bereitschaftsmodus (Stand-by).
19. Zum Abschluß die STOP Taste Abb. 4/12 betätigen, bis die Meldung
STANDBY / BELÜFTET auf dem Display erscheint. Nun befindet sich
der Einlass im belüfteten Zustand.
20. Den Prüfling vom Einlass trennen und den Einlass wieder blindflanschen.
3.2.5 Ausschalten
21. Wenn sich der PhoeniXL in Standby oder STANDBY/BELÜFTET
befindet, kann dieser über dessen Netzschalter Abb. 3/4 ausgeschaltet
werden.
Damit ist ein erster Arbeitsgang abgeschlossen.
Überprüfung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 31

Funktionsweise
32 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4 Beschreibung und
Funktionsweise
4.1 Einführung
Der PhoeniXL wird vorwiegend als Helium-Lecksuchgerät für Vakuumanwendungen
verwendet, d.h. der Prüfling wird bei der Prüfung evakuiert.
Das Vakuum wird mit Hilfe des integrierten Pumpsystems erzeugt.
Beim PhoeniXL300 Modul muss eine externe Vorpumpe angeschlossen
werden, da er ohne Vorpumpe ausgeliefert wird. Die DN 25 KF
Anschlüsse befinden sich an der Seite und unter dem Gerät. (siehe Kapitel
2.3.5)
Eine weitere Betriebsart des PhoeniXL ist der Schnüffelmodus, welcher
nur in Verbindung mit einer Schnüffelleitung (siehe Kapitel 1.4.2) genutzt
werden kann.
4.1.1 Vakuumsystem
Das folgende Vakuumdiagramm zeigt die wichtigsten Komponenten im
Inneren des PhoeniXL 300 :
1
2
3
4
Abb. 5 Vakuum-Diagramm PhoeniXL 300
6
5

Pos. Beschreibung
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches
Sektorfeld-Massenspektrometer)
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS
benötigten Hochvakuums)
3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2
4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für
die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)
5 Einlassflansch
6 Pirani Messsystem für Eingangsdruck P1
V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse
Das Massenspektrometer (MS) besteht aus Ionenquelle, einer Kathode,
magnetischer Trenneinheit und Ionenfänger.
Die in das Massenspektrometer gelangenden Gasmoleküle werden von
der Ionenquelle ionisiert. Diese positiv geladenen Teilchen werden auf
einer Kreisbahn in das Magnetfeld hinein beschleunigt. Der Radius dieser
Kreisbahn hängt vom Verhältnis zwischen Masse und elektrischer Ladung
der Ionen ab. Bei Einstellung auf Masse 4 (Default) sind nur Heliumionen in
der Lage, diesen Filter zu passieren, um so den Ionenfänger zu erreichen,
wo der Fluss der Ionen als elektrischer Strom erfasst wird. Bei Einstellungen
auf eine andere Masse (z.B. Masse 2) sind nur die entsprechenden
Ionen in der Lage, den Filter zu passieren.
Zum Betrieb des Massenspektrometers ist ein Vakuumdruck im Bereich
von 1·10-4 mbar oder weniger erforderlich. Dieser Druck wird von der Turbomolekularpumpe
erzeugt, die wiederum von einer Drehschieberpumpe
oder trockenen Vorvakuumpumpe unterstützt wird.
Neben der Funktion des Pumpsystems zur Erzeugung und Beibehaltung
des Druckes im Massenspektrometer, dient das Pumpsystem zur Evakuierung
der Prüflinge. Es wird zu jeder Zeit sichergestellt, dass der Druck im
Massenspektrometer niedrig genug ist. Die Ventile V1, V2a, V2b, V4a
steuern den Gasfluss während der Messung. Ventile V3 und V5 werden
zur Belüftung des Systems und der Turbopumpe eingesetzt, Ventil V6
steuert den Gasballast der Vorvakuumpumpe. Ventil V7 öffnet und schließt
das interne Testleck während des Kalibriervorgangs.
Wenn der Druck im Prüfling geringer als der Umgebungsdruck ist, kann im
Falle eines Lecks im Prüfling Helium oder Wasserstoff (Formiergas), mit
dem der Prüfling angesprüht wird, in diesen eindringen. Sobald es die
Druckbedingungen erlauben, öffnet sich eines der Ventile in Richtung der
TMP (siehe Kapitel 4.1.3). Dann kann Helium entgegen der Pumprichtung
der TMP (also im Gegenstrom) in das Massenspektrometer gelangen.
Funktionsweise
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 33

Funktionsweise
34 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4.1.1.1 Vakuumdiagramm PhoeniXL300 dry
Der PhoeniXL 300 dry unterscheidet sich zum PhoeniXL 300 darin, dass er
eine Membranpumpe (ölfreies System) als Vorvakuumpumpe hat. Ferner
besitzt er ein weiteres Ventil, das Ventil V4b (Proportionalventil), welches
schrittweise geöffnet, den Einlassdruck in die TMP regelt.
3
2
P 2
Membranpumpe
1
4
V 2a
MS
300 dry
Abb. 6: Vakuumdiagramm PhoeniXL
V 1
Pos. Beschreibung
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches
Sektorfeld-Massenspektrometer)
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS
benötigten Hochvakuums)
3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2
4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für
die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)
5 Einlassflansch
6 Pirani Messsystem für Eingangsdruck P1
V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse
V 2b
6
V 7
V
4 b
V 4 a
V 6
V 5
P 1
V 3
5

4.1.1.2 Vakuumdiagramm PhoeniXL300 Modul
Das PhoeniXL300 Modul unterscheidet sich von den vorher genannten
Geräten dadurch, dass es keine Vorvakuumpumpe besitzt, und nur mit
einer externen Pumpe betrieben werden kann. Hierbei kann das Saugvermögen
dieser Vorpumpe zwischen 2,5 und 65m 3 /h betragen. Die Vorvakuumpumpe
kann ölgedichtet (z.B. eine Trivac D25B) oder trocken (z.B.
eine Scrollpumpe) sein.
P 2
externe Pumpe
2
3
4
1
V 2a
MS
Abb. 7: Vakuumdiagram PhoeniXL300 Modul
V 6
Pos. Beschreibung
1 MS: Massenspektrometer, Heliumsensor (180° magnetisches
Sektorfeld-Massenspektrometer)
2 Turbomolekularpumpe (TMP, dient zur Erzeugung des für das MS
benötigten Hochvakuums)
3 Pirani Messsystem für Vorvakuumdruck P2
4 Vorvakuumpumpe (dient zur Erzeugung des Vorvakuumdruckes für
die TMP und pumpt zudem die Prüflinge ab)
5 Einlassflansch
6 Pirani Messsystem für Einlassdruck P1
V1 … V7: Magnetventile zur Steuerung der Gasflüsse
V 2b
V 1
6
V 7
V 4a
V 5
P 1
V 3
5
Funktionsweise
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 35

Funktionsweise
36 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4.1.2 Bedieneinheit
Die Bedieneinheit Abb. 8 enthält ein Flüssigkristalldisplay (LC Display), die
START, STOP, ZERO (Untergrundunterdrückung) und MENU (Menü)
Tasten sowie acht weitere Tasten für die verschiedenen Menüs und Eingaben.
1
2
3
4
Abb. 8 Bedieneinheit
9
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
1 Taste Nr. 1 8 Taste Nr. 8
2 Taste Nr. 2 9 LCD Anzeige
3 Taste Nr. 3 10 Start Taste
4 Taste Nr. 4 11 Zero Taste
5 Taste Nr. 5 12 Stop Taste
6 Taste Nr. 6 13 Menu Taste
7 Taste Nr. 7
4.1.2.1 LCD Anzeige
Die LCD Anzeige Abb. 8/9 stellt die Kommunikationsschnittstelle mit dem
Gerätebediener dar. Über das Display werden Leckraten, Statusmeldungen
des PhoeniXL, Meldungen, Warnungen und Fehlermeldungen ausgegeben.
Außerdem werden verschiedene Funktionen angezeigt, die über die
Tasten Nr. 1 bis Nr. 8 angewählt werden können.
4.1.2.2 START Taste
Mit Betätigung der START Taste Abb. 8/10 beginnt der PhoeniXL mit den
Messungen,wobei der Prüfling evakuiert wird. Der aktuell gemessene
Wert wird im Display angezeigt. Wird im Messmodus die START Taste
nochmals betätigt, wird die maximale Leckrate zusätzlich im Display
angezeigt, die seit „START“ aufgetreten ist (Haltefunktion) . Durch erneutes
Drücken der START-Taste wird die Haltefunktion neu initialisiert.
4.1.2.3 STOP Taste
Die Betätigung der STOP Taste Abb. 8/12 beendet die Messungen. Wenn
diese Taste länger betätigt wird, wird der Einlass entsprechend den
Bedingungen, die im Menü Verzögerung der Belüftung definiert wurden,
belüftet. Siehe Kapitel 6.6.1.2 um die Zeitparameter für die Belüftung einzustellen.
5
6
7
8
13
10
11
12

4.1.2.4 ZERO Taste
Die Betätigung der ZERO Taste Abb. 8/11 aktiviert die Untergrundunterdrükkung.
(Siehe auch Kapitel 4.1.6)
Bei Betätigung der ZERO Taste wird die aktuell gemessene Leckrate als
Untergrundsignal gespeichert und von allen in der Folge durchgeführten
Messungen abgezogen. Daraus ergeben sich nachstehend aufgeführte
Anzeigebereiche:
1·10 -8 mbar l / s
1·10 -12 mbar l / s
in GROSS
in FINE
Nach Betätigung der ZERO-Taste (Abb.9, t1) wird die Untergrundunterdrückung
automatisch dem Verlauf der fallenden Leckratensignals (Abb.
9, t2) angepasst. Fällt das Messsignal unter den gespeicherten Untergrundwert,
wird dieser automatisch dem Untergrundsignal gleichgesetzt.
Sobald das Signal wieder steigt, bleibt der gespeicherte Untergrundwert
konstant. Signalanstiege werden klar als Leck angezeigt. Das Messen
kleinster Leckraten wird damit sehr erleichtert.
Dadurch ist auch bei schnell fallendem Signal das Erkennen von Lecks
möglich.
Abb. 9 Untergrundunterdrückung aktivieren
Abb. 10 Untergrundunterdrückung deaktivieren
Funktionsweise
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 37

Funktionsweise
38 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Um die Untergrundunterdrückung wieder aufzuheben, genügt es, die
ZERO Taste nochmals zu drücken. Damit wird der gespeicherte Wert auf
Null gesetzt, das Untergrundsignal wird nicht mehr abgezogen (Abb.10).
4.1.2.5 MENU (MENÜ) Taste
Durch Betätigung der Taste MENU (Abb. 8/13) wird das Auswahlmenü
auf dem Display angezeigt. Dies funktioniert unabhängig vom Betriebsmodus,
außer im Fall eines Kalibriervorganges.
Wird das Menü während des aktuellen Betriebs des PhoeniXL geöffnet,
wird der Bediener zu der letzten Menüseite geführt, in der das Menü verlassen
wurde.
Die nochmalige Betätigung der Menü Taste MENU führt dann zurück zu
der Anzeige des vorherigen Betriebsmodus, und es wird die vorherige
Anzeigedarstellung angezeigt.
4.1.2.6 Tasten
Die Funktion der acht Tasten links bzw. rechts vom Display Abb. 8/1 … /4
und /5 … /8 hängt vom aktuell ausgewählten Menü ab.
Sonderfunktionen Wenn in einem Untermenü Einstellungen gewählt werden können, haben
zwei der Tasten fast immer dieselbe Funktion:
� Taste Nr. 1 Abb. 8/1 ist mit der Funktion zurück/abbrechen belegt.
Hiermit wird ein Untermenü verlassen ohne die aktuellen Einstellungen
zu verändern und die vorherige Menüseite wird wieder angezeigt.
� Taste Nr. 8 Abb. 8/8 ist die Bestätigungstaste (OK).
Die ausgewählten oder geänderten Einstellungen werden gespeichert,
und die vorherige Menüseite wird wieder angezeigt.
4.1.2.7 Numerische Eingaben
Wird eine Menüseite geöffnet, in der numerische Eingaben gemacht werden
können, muss folgendermaßen verfahren werden:
� Wenn nichts geändert werden soll, Taste Nr. 1 Abbrechen betätigen.
� Wenn die numerische Eingabe geändert werden soll:
1. Die Ziffer, deren Wert sich ändern lässt, wird invertiert dargestellt. Mit
Hilfe von (Taste Nr. 8) und (Taste Nr. 4) kann die zu
ändernde Stelle ausgewählt werden. (Abb 11)
2. Um die Ziffer an der ausgewählten Stelle zu ändern, die Taste mit dem
entsprechenden Ziffernpaar betätigen. Es öffnet sich daraufhin ein
Untermenü, in dem der gewünschte Ziffernwert ausgewählt werden
kann (Abb. 12). Das Untermenü schließt danach automatisch, und die
nächste Eingabestelle des ganzen Zahlenwertes wird invertiert dargestellt.
(vgl. Bsp. unten)
3. Nachdem die letzte Ziffer erreicht wurde, müssen alle Änderungen
durch die Eingabe der OK - Taste (Taste Nr. 8) bestätigt werden. Falls
eine Ziffer falsch eingegeben wurde, kann mit (Taste Nr. 4) die
entsprechende Ziffer erneut ausgewählt und gemäß 2. geändert werden.

Abb. 11 Display: Eingabe des Trigger level 1, Auswahl der zu ändernden
Stelle
Um die Triggerschwelle von 1.0 · 10-9 mbar l / s auf 3 · 10-9 mbar l / s zu
ändern, zuerst darauf achten, dass die erste Ziffer invertiert dargestellt ist.
Falls dies nicht der Fall sein sollte, mit (Taste Nr. 8) und (Taste
Nr. 4) die erste Ziffer anwählen. Dann die Taste 2/3 (Taste Nr. 3) Abb. 11
betätigen. Es öffnet sich ein Untermenü (Abb. 12), in dem mit der Taste 4
der gewünschte Wert 3 gewählt werden kann.
Abb. 12 Display: Triggerlevel 1, Numerische Eingabe, Veränderung der
ersten Ziffer
Funktionsweise
Beispiel
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 39

Funktionsweise
40 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4.1.3 Vakuummethode
Für die Lecksuche an einem Prüfling (Vakuummethode) muss dieser evakuiert
sein, damit von außen gesprühtes Helium oder Wasserstoff (Formiergas)
aufgrund der Druckdifferenz durch vorhandene Leckagen in den
Prüfling eindringen und somit vom PhoeniXL nachgewiesen werden kann.
Die Evakuierung des Prüflings - Taste START - erfolgt durch die Drehschieber-
bzw. Membranpumpe . Bei größeren Prüflingen kann gegebenenfalls
eine zusätzliche externe Teilstrompumpe mit einem
entsprechenden Verbindungsventil hierzu parallel geschaltet werden.
Zur Evakuierung wird das Einlassventil V1 geöffnet (Abb. 5). Gleichzeitig
werden alle anderen offenen Ventile geschlossen, um einen unerlaubten
Druckanstieg im Massenspektrometer zu vermeiden.
In diesem Zustand (Ventil V2a geschlosse, Abb. 5) läuft die Turbomolekularpumpe
ohne Unterstzützung der Vorvakuumpumpe. Da aber in der
Regel aus dem Massenspektrometer kein Gas gefördert wird, bleibt p2 konstant bzw. steigt nur langsam.
Dieser beschriebene Zustand für die Evakuierung bleibt erhalten, bis der
Einlassdruck p1 auf ≤15 mbar gefallen ist. Nun werden zusätzlich die Ventile
V2a und V2b geöffnet. Eventuell vorhandenes Helium oder Wasserstoff
kann nun gegen die Pumpenrichtung der Turbomolekularpumpe ins
Massenspektrometer gelangen und nachgewiesen werden. Dieser
Messmodus wird GROSS genannt. In diesem Modus können Leckraten
bis 10 -8 mbar l / s nachgewiesen werden.
Da die Vorvakuumpumpe über die Ventile V1, V2a und V2b den Prüfling
weiter evakuiert, wird der Einlassdruck p1 weiter fallen (Abb. 5). Wird der
Wert p1 < 0,2 mbar erreicht, schaltet der PhoeniXL in den FINE-Modus
um, d.h. Ventil V1 und V2b schließen und Ventil V4a öffnet, so dass der
Gasstrom seitlich in die Turbomolekularpumpe gelangt. Hiermit werden
zwei Vorteile erreicht:
a) Ein Teil des großen Saugvermögens der Turbomolekularpumpe steht
zur weiteren Evakuierung des Prüflings zur Verfügung. Die Ansprechzeiten
des PhoeniXL werden kürzer (Ansprechzeit umgekehrt proportional
zum Saugvermögen).
b) Die Vorteile des Gegenstromverfahren können auch im FINE-Modus
genutzt werden.
Im FINE-Modus wird die volle Empfindlichkeit des PhoeniXL erreicht.
Das Umschalten von GROSS nach FINE des PhoeniXL 300 dry erfolgt, aufgrund
des niedrigeren Enddruckes der Membranpumpe, mit Hilfe des
Proportionalventils V4b (Abb. 6). Fällt der Einlassdruck P1 auf < 3,5 mbar
ab, werden die Ventile V1 und V2b geschlossen (V2a bleibt geöffnet), und
gleichzeitig wird das Ventil V4b schrittweise geöffnet. Wenn das Ventil
V4b ganz geöffnet ist, wird zusätzlich das Ventil V4a (P1 < 0,1 mbar) hinzugeschaltet
(FINE-Modus). Bei Umschaltung in den PRECISION-Modus
ist nur das Ventil V4b geöffne, das Ventil V4a ist geschlossen.
Wird die Lecksuche beendet - Taste STOP - so werden alle Ventile bis auf
V2a geschlossen (Stand-by Zustand).
Beim Belüften (des Prüflings) wird das Ventil V3 geöffnet.

4.1.4 Teilstrombetrieb (nur PhoeniXL 300 )
Im Teilstrombetrieb wird das Testobjekt zusätzlich mit einer Hilfspumpe
evakuiert. Unter Verwendung der Option Teilstromsystem (Kat.-Nr. 14020)
ergeben sich folgende Vorteile:
� schnellere Ansprechzeiten
� Messbereitschaft bereits ab 1000 mbar Einlassdruck
� schnelles Fluten großer Testobjekte
Alternativ zu einem Teilstrompumpsatz kann eine externe Hilfspumpe
auch für den PhoeniXL 300 dry und PhoeniXL 300 Modul über ein T-Stück
angeschlossen werden. Allerdings ist der PhoeniXL dann nicht ab
1000 mbar messbereit.
4.1.5 Schnüffelmodus
Für den Schnüffelmodus wird eine Schnüffelleitung (vorzugsweise die
Standard-Schnüffelleitung Kat.-Nr. 252003) an den Einlassflansch (Abb.
2/1) angeschlossen. Nach Auswahl der Betriebsart Schnüffeln und Betätigung
der START Taste öffnet das Ventil V1(Abb.5) und eine Leckrate wird
angezeigt. Durch den konstant geringen Gasstrom durch die Schnüffelleitung
schaltet die Gerätesoftware direkt in den FINE Modus (siehe Kapitel
4.1.3), in dem das Gerät verbleibt. Der Einlassdruck fällt dann nicht weiter.
Steigt oder fällt der Einlaßdruck über festgelegte Werte hinaus, werden
Warnungsmeldungen ausgegeben. Im Schnüffelmodus ist die Nachweisgrenze

Funktionsweise
42 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4.1.6 Bedienelemente auf der Fernbedienung
(Optional)
Abb. 13 Fernbedienung
1 Taste ZERO 7 Anzeige Overflow
(Messbereichüberschreitung)
2 Taste STOP / VENT 8 Skala Prüflingsdruck
3 Taste START 9 Exponent
4 LED-Balkenanzeige 10 LED LOCK
5 Anzeige Underflow
(Messbereichsunterschreitung)
11 Akustisches Signal leiser
6 Skala Leckrate 12 Akustisches Signal lauter
Taste Start Ausgehend von den Betriebszuständen Stand-by oder Vent des
PhoeniXL wird mit der Taste START (Abb.13/3) mit dem Evakuieren der
Messbetrieb des angeschlossenen Prüflings begonnen. Der PhoeniXL
arbeitet dabei entweder mit einer automatischen Messbereichswahl, oder
zeigt Messwerte nur in einem festen vom Bediener gewählten Messbereich
an (Menüpunkt: Anzeigebereich).
Die Messbereitschaft wird dem Bediener durch die grüne LED an der
Taste START signalisiert. Während der Abpumpzeit blinkt diese LED.
Sobald die Messbereitschaft erreicht ist, leuchtet sie dauernd.
Beim Drücken der Taste START im Zustand Stand-by wird ein neuer
interner Nullpunkt übernommen, sofern sich der PhoeniXL zuvor für mindestens
20 s in einer der beiden Zustände Stand-by oder Vent befand.
11
10
12

Die Taste STOP / VENT (Abb.13/2) hat abhängig von der Betätigungsdauer
zwei unterschiedliche Funktionen:
� Funktion Stop
Ausgehend vom Messbetrieb des PhoeniXL wird durch kurzes Drücken
der Taste STOP das Evakuieren des Prüflings und der Messbetrieb unterbrochen.
Der Druck auf die Taste muss dabei kürzer sein als die eingestellte
Zeit der Belüftungsverzögerung. Diese Zeit beträgt bei Auslieferung
2 s. Der PhoeniXL geht in den Stand-by-Zustand, d.h. alle Ventile bis auf
V2a werden geschlossen (Abb. 5). Dem Bediener wird dieser Zustand
durch Erlöschen der grünen LED im Taster START (Abb.13/3) signalisiert.
Nach Drücken der Taste STOP / VENT erscheint im LC-Display die Meldung
„Stand-by Vacuum“ (Abb.8).
� Funktion Vent
Wenn die Taste STOP / VENT für länger als die eingestellte Zeit der Belüftungsverzögerung
gedrückt wird, wird nach dieser Zeit der angeschlossene
Prüfling geflutet. Dies geschieht durch Öffnen des Flutventils V3
(Abb. 5). Dieser Betriebszustand wird dem Bediener durch Aufleuchten
der grünen LED in der Taste STOP / VENT gemeldet.
Das Flutventil kann wieder geschlossen werden durch nochmaliges kurzes
Drücken der Taste STOP / VENT. Der PhoeniXL geht dann in den Zustand
Stand-by. Die Anzeige „VENT Vacuum“ erlischt wieder.
Eine konstante Leckratenanzeige kann durch Drücken der Taste ZERO
unterdrückt werden, z.B. ein konstanter Helium-Untergrund eines Prüflings.
Die Taste ist nur im Messbetrieb aktiv (siehe Kapitel 4.1.2.4).
Bei Verwendung des Leckratenfilters AUTO und Aktivierung von ZERO
wird die Anzeigegrenze in den empfindlichsten Bereich gesetzt, z.B. 1·12
mbar l / s.
Der angezeigte Exponent auf der Fernbedienung bleibt bei „Zero“ erhalten,
wenn die Leckratenanzeige sich immer in der oberen Dekade der Balkenanzeige
befindet. Wird die Leckrate in der unteren Dekade angezeigt, wird
bei „Zero“ der Exponent um eins erniedrigt. Damit erreicht man, dass die
angezeigt Leckrate immer um mindestens eine Dekade unterdrückt wird.
Hierdurch wird eine höhere Auflösung erreicht.
Die Leckrate 4,1 · 10 -8 mbar l / s kann auf der Fernbedienung auf 2 Arten
dargestellt werden:
a) Der Exponent zeigt -8 und die Balkenanzeige erleuchtet im schmalen
Teil voll und im breiten Teil bis zur Zahl 4.
b) Der Exponent zeigt -7 und die Balkenanzeige erleuchtet nur im unteren
schmalen Teil bis zur Zahl 0,4.
In beiden Fällen ist nach Drücken von ZERO der Exponent -8 und die Balkenanzeige
erlischt.
Bei ausgeschalteter Untergrundanzeige wird nach Drücken der ZERO-
Taste der momentane Messwert abgezogen und als „Nullpunkt“ gespeichert.
Der geräteinterne Nullpunkt wird dabei nicht geändert.
Durch das Drücken der Taste ZERO kann die Nachweisgrenze des Gerätes
nicht erniedrigt werden.
Das Ausschalten der ZERO-Funktion geschieht durch nochmaliges Drükken
der Taste ZERO. Die ZERO-Funktion wird automatisch ausgeschaltet,
wenn die Taste STOP / VENT betätigt wird.
Funktionsweise
Taste STOP / VENT
Taste ZERO
Beispiel:
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 43

Funktionsweise
44 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Die Funktion ZERO wirkt auf alle Ausgabeeinrichtungen, wie LC-Display,
Schreiber, Schwellwert und RS232 Schnittstelle.
Akustisches Signal Das akustische Signal dient zur Darstellung der Leckrate. Ein akustisches
Signal wird auch bei Fehlermeldungen erzeugt.
Mit der links neben dem Lautsprecher dargestellten Taste wird die Lautstärke
des Signals vergößert (Abb. 13/12). Mit der rechts neben dem
Lautsprecher dargestellten Taste wird die Lautstärke vermindert (Abb. 13/
11).
Zur Kontrolle wird nach Drücken der Taste (Abb. 13/11 oder 13/12) für 2
Sekunden ein Ton mit der eingestellten Lautstärke ausgegeben. Gleichzeitig
wird die Lautstärke auf der Balkenanzeige der Fernbedienung angezeigt
(Abb. 13/4).
4.1.7 Anzeigeelemente auf der Fernbedienung
Messbereichsanzeige Hier erfolgt die Darstellung der Leckrate in Form eines Balkens. Bei Überschreitung
des Messbereichs leuchtet der obere Pfeil an der Balkenanzeige
der Fernbedienung (Overflow) (Abb. 13/7) und bei Unterschreitung
des Messbereichs leuchtet der untere Pfeil der Balkenanzeige (Underflow)
(Abb. 13/5).
Rechts oben neben der Balkenanzeige wird der entsprechende Exponent
angezeigt (Abb. 13/9)
Auf der Balkenanzeige können zwei Leckratendekaden abgebildet werden.
Das Lichtfeld der oberen Leckratendekade (1 … 10) ist doppelt so
breit wie das der unteren Dekade (0,1 … 1). (Abb. 13/4).
LED LOCK Die Leuchtdiode LOCK leuchtet, wenn die Fernbedienung gesperrt ist
(Abb. 13/10).

5 Betrieb des
PhoeniXL
Der PhoeniXL wird durch Betätigen des Netzschalters (siehe Kapitel 3.2.1)
eingeschaltet. Nach

Betrieb
46 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Wenn das Display zu hell oder zu dunkel ist, lässt sich die Kontrasteinstellung
verändern (siehe Kapitel 6.2.4.)
Während des Hochlaufs kann die Menü-Taste gedrückt werden (siehe
Kapitel 4.1.2.5), um in das Auswählmenü zu gelangen.
5.3 Anzeigen im Stand-by Modus
Im Stand-by werden im Display die Stati für die Betriebsart, die gewählte
Masse sowie der Status Ein/Aus für den Gasballast angezeigt (siehe Abb.
4). Darüberhinaus kann auch aus dem Stand-by Modus die Kalibrierung
aufgerufen (siehe Kapitel 7) werden, der Spülvorgang gestartet (siehe
Kapitel 2.3.4) sowie der Einlass belüftet werden (Abb. 4/3).
5.3.1 Gasballast/Spülvorgang
Im Stand-by Modus kann über die Taste 7 (Abb. 8/7) der Gasballast der
Vorpumpe manuell ein- bzw. ausgeschaltet werden. Der Gasballast dient
zum Abbau eines zu großen Heliumuntergrundes. Außerdem wird durch
den Gasballast eine Kondensation von Wasserdampf in der Pumpe abgebaut.
Nach 20 Minuten schließt das Gasballast-Ventil automatisch, um
den Ölverlust der Pumpe zu begrenzen.
Diese Funktion kann bei den PhoeniXL 300 dry und PhoeniXL 300 Modul so
eingestellt werden, dass jedes Mal, wenn das Lecksuchgerät nach Standby
schaltet, automatisch ein Spülvorgang für 20 Sekunden ausgelöst wird
(siehe Kapitel 6.6.1.1). Während dieses Spülvorgangs wird die Membranbzw.
Srollpumpe über das Ventil V6 gespült (Abb. 6 bzw. 7).
Achtung Die Pumpe kann geschädigt oder zerstört werden.
Lassen Sie das Lecksuchgerät mit geöffnetem Gasballastventil
laufen (mindestens 20 Minuten), bis das Pumpenöl von gelösten
Dämpfen befreit ist.
5.4 Das Display im Messmodus
Im Messmodus lassen sich Leckraten auf zweierlei Weise anzeigen:
� Numerisch, kombiniert mit einer Balkenanzeige Abb. 14
� Als Trend: numerisch, kombiniert mit einem Diagramm (Leckrate
gegen Zeit) Abb. 15
In der unteren rechten Ecke des Displays (neben der Taste Nr. 8, Abb. 14
bzw. 15) befindet sich ein Symbol, welches die Umschaltungmöglichkeiten
zwischen den beiden vorgenannten Anzeigearten durch Betätigung
dieser Taste Nr. 8 anzeigt. Siehe Kapitel 6.2.1 und 6.2.2 für eine Erläuterung
der verschiedenen Anzeigearten.
Der Zugriff auf die Kalibrierfunktion (Taste Nr. 5, CAL, Abb.14 bzw. 15)
und die Lautstärke für das akustische Signal (Taste Nr. 2 und Nr. 3,
Abb.14 bzw.15) ist in beiden Anzeigearten gleich. Auch die Statussymbole
in der obersten Zeile sind in beiden Anzeigearten gleich.

Abb. 14 Display: Messmodus mit Balkenanzeige
5.4.1 Aufrufen der Kalibrierfunktion
In beiden Anzeigearten wird Taste Nr. 5 CAL (Abb.14 bzw. 15) verwendet,
um die Kalibrierroutine aufzurufen. Siehe Kapitel 7 für weitere Informationen
zum Kalibriervorgang.
5.4.2 Lautstärke für das akustische Signal
Auf der linken Seite sind zwei Lautsprechersymbole dargestellt, kombiniert
mit den Zeichen + und - (Abb. 14 und Abb. 15). Durch die Betätigung der
entsprechenden Tasten (Tasten Nr. 2 und Nr. 3) kann die Lautstärke auf
einen gewünschten Wert eingestellt werden. In der obersten Displayzeile
findet sich ein weiteres Lautsprechersymbol, kombiniert mit einer Zahl.
Diese Zahl zeigt die aktuelle Lautstärke an (im Bereich von 0 bis 15).
Siehe Kapitel 6.4.5 Lautstärke für Informationen zu Lautstärke, Alarmen
und Signaltönen.
5.4.3 Statuszeile des Displays
Die Statuszeile oben im Display (Abb. 14 bzw. 15) informiert den Bediener
über folgendes (von links nach rechts gelesen):
Displaysymbole
Bedeutung Erläugerung
Lautstärke Siehe Kapitel 5.4.2 Lautstärke für das akustische
Signal.
S1 Trigger 1 Wenn die Triggerschwelle 1 überschritten
wird, dann wird dieses Symbol invertiert
dargestellt.
S2 Trigger 2 analog Trigger 1
S3 Trigger 3 analog Trigger 1
Warndreieck Siehe Kapitel 8.1
VAC Betriebsart VAC oder SNIFF zeigen die ausgewählte
Betriebsart an (siehe Kapitel 6.3).
Betrieb
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 47

Betrieb
48 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
FINE Vakuumbereiche Abhängig vom Einlassdruck befindet sich
der PhoeniXL im GROSS, PRECISION (nur
PhoenixL300 dry ) oder FINE Modus, welcher
hier angezeigt wird (siehe Kapitel
4.1.3).
ZERO ZERO Zeigt an, ob die Untergrundunterdrükkungsfunktion
aktiv ist.
5.4.4 Messmodus mit Balkenanzeige
Auf dem Display wird im Messzustand die Leckrate in großen Zahlen
angezeigt, siehe Abb. 14. Ausserdem wird die Maßeinheit der Leckrate
angezeigt (siehe Kapitel 6.4.4), und unter der Leckrate der Einlassdruck in
kleineren Zahlen.
Darunter wird die gleiche Leckrate graphisch als Balken dargestellt. Die
Skala dieses Balkens, d.h. die Anzahl der dargestellten Dekaden, kann
über das Menü definiert werden (siehe Kapitel 6.2.1). Die programmierten
Triggerschwellen (siehe Kapitel 6.4.1 und 6.4.2) sind im Balken durch
kurze vertikale Striche angezeigt: Ein gerader Strich für Trigger 1 und ein
punktierter Strich für Trigger 2.
5.4.5 Messmodus mit Trendanzeige
Im Trend Modus wird die gemessene Leckrate über die Zeit in einem Diagramm
angezeigt Abb. 15. Zusätzlich zur aktuell gemessenen Leckrate
wird auch der Einlassdruck als Zahl angezeigt. Die Zeitachse kann über
einen Menüpunkt definiert werden (siehe Kapitel 6.2.3). Die Intensitätsachse
(Y-Achse) wird in gleicher Weise wie für die Balkenanzeige definiert
(siehe Kapitel 6.2.1 und 6.2.2).
Abb. 15 Display: Messmodus mit Trendanzeige

6 Beschreibung der
Menüpunkte
Durch die Betätigung der MENU (Menü) Taste (Abb. 8/13) wird das Hauptmenü
bzw. die zuletzt aufgerufene Menüseite unabhängig von dem aktuellen
Betriebszustand des PhoeniXL dargestellt.
Das Hauptmenü Abb. 16 führt den Bediener zu mehreren Untermenüs,
welche in den folgenden Kapiteln beschrieben werden. Das Hauptmenü
ist für alle Lecksuchgerät der PhoeniXL Familie identisch.
Auf der folgenden Seite befindet sich eine Gesamtübersicht zu allen
Menüpunkten und der Menüstruktur Abb. 17.
Die dargestellte Menüstruktur bezieht sich auf den PhoeniXL 300 . Abweichende
Menüpunkte oder Einstellmöglichkeiten für die Modelle
PhoeniXL 300 dry und PhoeniXL 300 Modul sind im jeweiligen Menüpunkt
beschrieben.
6.1 Hauptmenü
Abb. 16 Display: Hauptmenü
Im Hauptmenü werden 7 Untermenüs angezeigt. In diesen Untermenüs
sind technische Funktionen des PhoeniXL logisch zusammengefasst worden.
Von hier aus lassen sich die weiteren Ebenen des Menübaumes
erreichen.
In allen folgenden Kapiteln wird der Pfad zur jeweils beschriebenen Menüzeile
unter der Kapitelüberschrift angezeigt. Dieser Pfad wird durch ein
Quadrat (�) angezeigt.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 49

Menüpunkte
Hauptmenü
50 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
1. Ebene 2. Ebene 3. Ebene
Anzeige Skalierung linear/logarithmisch
Anzeigebereich auto/manuell
Zeitachse
Kontrast
Untergrund in Stand-by
Untere Anzeigegrenze
Betriebsart Schnüffeln/Vakuum
Trigger & Alarme Triggerlevel 1
Triggerlevel 2
Triggerlevel 3
Einheiten
Lautstärke
Alarmverzögerung
Audioalarm Typ
CAL (Kalibrierung) Intern
Extern
Einstellungen Vakuumeinstellungen Verzögerung Belüftung
Vakuumbereiche
Teilstrom / Vorpumpe konfigurieren
Schnüffelfaktor
Maschinenfaktor
Leckrate internes Testleck
Filter & Untergrund
Masse
Untergrundbestimmung
reich
Untergrundunterdrückung
Leckraten Filter
Einlassbe-
Schnittstellen Steuerungsort
Diverses
Parameter laden / speichern
Schreiberausgang definieren
RS232
SPS-Ausgänge definieren (Control,
Digital Out)
SPS-Eingänge definieren (Control 2,
Digital In)
Skalierung Schreiberausgang
SPS Abtastrate
Datum/Uhrzeit
Sprache
Kalibrieraufforderung
Serviceintervall Vorpumpe
Serviceintervall Auspuff-Ölfilter
Wartungssmeldung Auspuff-Ölfilter
Überwachung Maximale Evakuierungszeit
Druckgrenzen für Schnüffelmodus
Druckgrenzen für Vakuumbereich
Information Einstellungen anzeigen
Interne Daten anzeigen
Vakuumschema
Fehlerliste anzeigen
Kalibrier-Historie anzeigen
Kalibrier-Faktoren
Service
Benutzerberechtigung Zero
Zugang zur CAL-Funktion
Menü Pin ändern
Abb. 17 Übersicht Menüstruktur

Erläuterung zu Abb. 17:
Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung
1 Zurück Rückkehr zur vorherigen Anzeige.
2 Anzeige Anzeigeeinstellungen wie Skalierung,
Kontrast, Heliumuntergrund.
Siehe Kapitel 6.2.
3 Betriebsart Auswahl der Betriebsarten Vakuum
und Schnüffeln
Siehe Kapitel 6.3.
4 Trigger & Alarme Einstellung von Maßeinheit, Triggerschwellen
und Alarmen.
Siehe Kapitel 6.4.
5 CAL (Kalibrierung) Kalibrierung des PhoeniXL.
Siehe Kapitel 6.5.
6 Einstellungen Einstellung interner Geräteparameter.
Siehe Kapitel 6.6.
7 Info Informationen über Einstellungen (elektrische
Daten und Vakuumdaten) und
Servicemenü.
Siehe Kapitel 6.7.
8 Benutzerberechtigung Zugriffsbeschränkungen.
Siehe Kapitel 6.8.
6.2 Anzeige
� Hauptmenü > Anzeige
In diesem Menü Abb. 18 sind alle Funktionen, die die Art und Weise der
Datendarstellung beeinflussen, zusammengefasst.
Abb. 18 Display: Anzeige-Menü
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 51

Menüpunkte
52 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Erläuterung zu Abb. 18:
Tasten Nr. Bezeichnung Beschreibung
1 Zurück Rückkehr zum Hauptmenü.
2 Skalierung
linear / logarithmisch
3 Anzeigenbereich
auto/manuell
Einstellungen für Balkenanzeige
und Trend Modus.
Siehe Kapitel 6.2.1
Manuelle oder automatische
Messbereichswahl. Siehe Kapitel
6.2.2
4 Zeitachse Zeitachse im Trend Modus. Siehe
Kapitel 6.2.3
5 Kontrast Einstellungen des Kontrastes im
Display. Siehe Kapitel 6.2.4
6 Untergrund in Stand-by Untergrundanzeige in Stand-by EIN
oder AUS. Siehe Kapitel 6.2.5
8 Untere Anzeigegrenze Einstellung der angezeigten, unteren
Nachweisgrenze im Display.
Siehe Kapitel 6.2.6
6.2.1 Skalierung linear/logarithmisch
� Hauptmenü > Anzeige > Skalierung linear/logarithmisch
Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige (Balken unter den Ziffern
im Messmodus) und für die Y-Achse (Leckrate) der Trend Anzeige.
Die Skala für die Balkenanzeige und y-Achse ist entweder linear oder logarithmisch.
Mit Hilfe der Pfeile (Auf und Ab) wird festgelegt, wie viele Dekaden
die Balkenanzeige bzw. y-Achse anzeigen.
Empfohlen wird die Verwendung einer logarithmischen Skala, weil sich die
Leckraten leicht über mehrere Dekaden hinweg ändern können. Werkseinstellung
ist logarithmisch mit 4 Dekaden.
Taste Nr. 2: Linear
Mit Betätigung dieser Taste wird die lineare Skalierung, beginnend bei Null,
aktiviert.
Taste Nr. 3: ↓
Die Betätigung dieser Taste verringert die Anzahl der dargestellten Dekaden.
Die Minimalzahl ist jedoch 2 Dekaden. Dies ist nur auswählbar, wenn
zuvor log (Taste Nr. 6) ausgewählt wurde.
Taste Nr. 6: Logarithmisch
Es wird eine logarithmische Skalierung verwendet.
Taste Nr. 7: ↑
Die Betätigung dieser Taste erhöht die Anzahl der dargestellten Dekaden.
Die Maximalzahl ist jedoch 9 Dekaden. Dies ist nur auswählbar, wenn
zuvor log (Taste Nr. 6) ausgewählt wurde.

6.2.2 Anzeigebereich auto/manuell
� Hauptmenü > Anzeige > Anzeigebereich auto/manuell
Die obere Grenze für die angezeigte Leckrate kann manuell oder automatisch
eingestellt werden. Diese Einstellungen gelten für die Balkenanzeige
(Balken unter den Ziffern im Messmodus) und für die Y-Achse (Leckrate)
der Trend-Anzeige.
Durch die hier definierte obere Grenze wird automatisch die untere
Grenze, basierend auf der Anzahl der definierten Dekaden, festgelegt
(siehe Kapitel 6.2.1).
Taste Nr. 2: Manuell
Die obere Grenze des Anzeigebereiches kann manuell festgelegt werden.
Taste Nr. 3: ↓
Wenn Manuell ausgewählt wurde, kann hierdurch die obere Anzeigegrenze
verringert werden. Der Minimalwert beträgt 10-11 mbar l / s.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: Automatisch
Die obere Grenze des Anzeigebereiches wird automatisch festgelegt.
Taste Nr. 7: ↑
Wenn Manuell ausgewählt wurde, kann hierdurch die obere Anzeigegrenze
erhöht werden. Der Maximalwert beträgt 10 +3 mbar l / s.
Taste Nr. 8:
Einstellungen speichern und zum vorherigen Menü zurückehren.
Wird eine lineare Skala ausgewählt, dann ist die untere Grenze immer Null.
Die obere Grenze ist nur ein Standardwert. Wenn die manuelle Bereichswahl
ausgewählt wurde, kann die Dekadenanzahl in der Messanzeige (s.
Abb. 14 oder 15) über die Tasten Nr. 6 und Nr. 7 erhöht oder erniedrigt
werden.
6.2.3 Zeitachse
� Hauptmenü > Anzeige > Zeitachse
Die Länge der Zeitachse in der Trendanzeige lässt sich in mehreren Schritten
von 16 Sekunden bis 960 Sekunden ändern.
Taste Nr. 3: ↓
Verkürzung der Zeitachse. Der Minimalwert beträgt 16 Sekunden.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: ↑
Verlängerung der Zeitachse. Der Maximalwert beträgt 960 Sekunden.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 53

Menüpunkte
54 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.2.4 Kontrast
� Hauptmenü > Anzeige > Kontrast
Der Kontrast des Displays ist veränderbar.
Unter normalen Bedingungen wird eine Kontrasteinstellung von ca. 50
empfohlen. (Werkseinstellung)
Falls aus Versehen das Display zu hell oder zu dunkel eingestellt wurde,
so dass nichts mehr abgelesen werden kann, kann dies wie folgt geändert
werden:
Den PhoeniXL ausschalten und wieder einschalten. Während der Hochlaufphase
Taste Nr. 3 oder Nr. 7 so lange betätigen, bis sich das Display
wieder gut ablesen lässt. Diese Einstellung wird nur dauerhaft im EPROM
abgespeichert, wenn die Einstellung im Kontrastmenü bestätigt wird.
Erfolgt keine Bestätigung, dann gelten beim erneuten Einschalten die
alten Einstellungen.
Taste Nr. 3: ↓
Den Kontrast verringern (dunkler). Der Minimalwert ist 0.
Taste Nr. 4: Anzeige invertieren
Das Display wird invertiert dargestellt, d.h. Hintergrund dunkel und Schrift
hell.
Taste Nr. 7: ↑
Den Kontrast erhöhen (heller). Der Maximalwert ist 99.
6.2.5 Untergrund in Stand-by
� Hauptmenü > Anzeige > Untergrund in Stand-by
Im Stand-by-Modus kann die interne Untergrund-Leckrate angezeigt
(EIN) bzw. nicht angezeigt werden (AUS). Die Werkseinstellung ist AUS.
Taste Nr. 3: AUS
Die Untergrund-Leckrate wird nicht angezeigt.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: EIN
Die Untergrund-Leckrate wird angezeigt.
Der interne Untergrund wird vom Restgas (z.B. Helium) erzeugt, welches
noch nicht abgepumpt wurde. Die Quellen für das Restgas sind Luft oder
absorbierte Gase von den inneren Oberflächen des Lecksuchgeräts. Dieser
Untergrund wird niemals ganz verschwinden. Sehr saubere Systeme,
welche sehr lange abgepumpt wurden, weisen einen Untergrund in
Bereich von 10-11 mbar l / s auf. Unter normalen Bedingungen ist mit
einem Untergrund im Bereich von 10 -10 mbar l / s bis 10 -9 mbar l / s zu
rechnen.
Bei Betätigung der START Taste wird dieser aktuell gemessene interne
Untergrund von allen weiteren Messungen automatisch abgezogen.
Dadurch wird sichergestellt, dass nur die Netto-Leckrate des Prüflings
gemessen wird.
Wenn der PhoeniXL wieder in den Stand-by/Belüfteten Modus versetzt

wird, dann wird ein neuer Untergrund frühestens nach 25 Sekunden übernommen.
Der aktualisierte Wert wird unterstrichen dargestellt. Dies
bedeutet bei Betätigung der START Taste und unterstrichenem Untergrundwert,
dass das aktuelle Untergrundsignal abgezogen wird. Bei Betätigung
der Start-Taste und nicht unterstrichenem Untergrundwert, wird
das alte Untergrundsignal, welches zuletzt im Stand-by-Modus ermittelt
war, abgezogen.
6.2.6 Untere Anzeigegrenze
� Hauptmenü > Anzeige > Untere Anzeigegrenze
Diese Einstellung begrenzt im Messbetrieb die Anzeige der Leckrate nach
unten. Sie ist nur für die Vakuum-Betriebsart wirksam.
Tasten Nr. 3, 7:
Verändern der unteren Anzeigegrenze zwischen 1 · 10 -9 und
1·10 -12 mbar l / s, der PhoeniXL 300 dry kann nur zwischen 1 · 10 -9 und
1·10 -11 mbar l / s eingestellt werden.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
6.3 Betriebsart
� Hauptmenü > Betriebsart
Das Menü Betriebsart Abb. 19 erlaubt durch ein Untermenü die Auswahl
der unterschiedlichen Betriebsarten. In der Mitte des Displays wird die
aktuelle angewählte Betriebsart angezeigt.
Abb. 19 Display:Menü Betriebsart
Erläuterung zu Abb. 19:
Taste Nr. Bezeichn. Beschreibung
1 Abbrechen Rückehr zum Hauptmenü ohne Änderung.
3 Schnüffeln Der Schnüffelmodus wird benutzt.
Siehe Kapitel 4.1.5.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 55

Menüpunkte
56 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Erläuterung zu Abb. 19:
Taste Nr. Bezeichn. Beschreibung
7 Vakuum Der Vakuum Modus wird benutzt.
siehe Kapitel 4.1.3.
8 OK Einstellungen speichern und zurück zum Hauptmenü.
6.4 Trigger & Alarme
� Hauptmenü > Trigger & Alarme
Die Triggerschwellen, die Lautstärke des akustischen Signals sowie die
Einheit für die Leckraten und Drücke können in diesem Menü eingestellt
werden. Abb. 20.
Abb. 20 Display: Menü Trigger & Alarme
Erläuterung zu Abb. 20:
Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung
1 Zurück Zurück zum Hauptmenü.
2 Triggerlevel 1 Festlegung der Triggerschwelle 1.
Siehe Kapitel 6.4.1
3 Triggerlevel 2 Festlegung der Triggerschwelle 2.
Siehe Kapitel 6.4.2
4 Trigger level 3 Festlegung der Triggerschwelle 3.
Siehe Kapitel 6.4.3
5 Einheiten Auswahl der Maßeinheiten für Leckraten
und Drücke. Siehe Kapitel 6.4.4
6 Lautstärke Siehe Kapitel 6.4.5
7 Alarmverzögerung Siehe Kapitel 6.4.6
8 Audioalarm Typ Auswahl der verschiedenen Alarmtypen.
Siehe Kapitel 6.4.7

6.4.1 Triggerlevel 1
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Triggerlevel 1
Der Wert für die Triggerschwelle 1 kann hier eingegeben werden. Siehe
Kapitel 4.1.2.7 für die Beschreibung der Eingabe.
Trigger 1, 2 und Trigger 3 sind programmierbare Schaltschwellen. Wenn
diese Schwellen überschritten werden, reagiert der PhoeniXL wie folgt:
In der Statuszeile des Displays werden die Symbole für Trigger 1, 2 und
Trigger 3 invertiert dargestellt, sobald die eingestellten Leckraten überschritten
werden (d. h. wenn die gemessene Leckrate den eingestellten
Wert überschreitet). Siehe Abbildungen 14 und 15.
Das Trigger-Relais des Digitalausgangs schaltet. Siehe Kapitel 6.6.4.4 für
weitere Einzelheiten.
Triggerschwelle 1 definiert außerdem die Auslösschwellen für die verschiedenen
Alarme (siehe Kapitel 6.4.7).
6.4.2 Triggerlevel 2
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Triggerlevel 2
Der Wert für die Triggerschwelle 2 kann hier eingegeben werden. Siehe
Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung der Eingabe.
Wird die Triggerschwelle 2 überschritten, dann schaltet das entsprechende
Relais. In der Statuszeile wird das Symbol für Triggerlevel 2 invertiert
dargestellt (siehe Kapitel 6.4.1).
6.4.3 Triggerlevel 3
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Triggerlevel 3
Der Wert für die Triggerschwelle 3 kann hier eingegeben werden. Siehe
Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung der Eingabe.
Wird die Triggerschwelle 3 überschritten, dann schaltet das entsprechende
Relais. In der Statuszeile wird das Symbol für Triggerlevel 3 invertiert
dargestellt (siehe Kapitel 6.4.1).
6.4.4 Einheiten
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Einheiten
Die vorzugsweise verwendeten Maßeinheiten können ausgewählt werden.
Es kann zwischen 4 Druck-Maßeinheiten (mbar, Pa, atm, Torr) und 5
Leckraten-Maßeinheiten (mbar l / s, Pa m 3 /s, Torr l / s, atm cc/s, sft 3 /yr )
gewählt werden.
Im Modus Schnüffeln sind zusätzlich folgende Maßeinheiten wählbar:
ppm, g/a eq (Heliumleckrate equivalent zu R134a), oz/yr eq (Heliumleckrate
equivalent zu R134a).
Display
Menüpunkte
Relaisausgang
Alarm/Lautsprecher
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 57

Menüpunkte
58 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Taste Nr. 2: ↑
Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Druckeinheit auszuwählen.
Taste Nr. 3: ↓
Die Auswahlzeilen nach unten durchlaufen, um eine Druckeinheit auszuwählen.
Taste Nr. 6: ↑
Die Auswahlzeilen nach oben durchlaufen, um eine Leckrateneinheit auszuwählen.
Taste Nr. 7: ↓
Die Auswahlzeilen nach unten durchlaufen, um eine Leckrateneinheit auszuwählen.
6.4.5 Lautstärke
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Lautstärke
Die Mindest-Lautstärke und die aktuelle Lautstärke des akustischen
Alarmsignals können hier eingestellt werden.
Die Mindest-Lautstärke (Alarmsignal) kann nicht unterschritten werden.
Dadurch wird verhindert, dass die Lautstärkeeinstellung versehentlich
unter einen Wert eingestellt wird, der unter dem Umgebungslärm liegt.
Die aktuelle Lautstärke kann zwischen 15 (Maximum) und dem als Mindest-Lautstärke
definierten Wert eingestellt werden.
Taste Nr. 2: ↓
Mindest-Lautstärke verringern. Der Minimalwert ist 0.
Taste Nr. 3: ↓
Aktuelle Lautstärke verringern. Der kleinste einstellbare Wert ist durch die
Mindest-Lautstärke begrenzt.
Taste Nr. 4: Beep aus/ein
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: ↑
Mindest-Lautstärke erhöhen. Der Maximalwert beträgt 15.
Taste Nr. 7: ↑
Aktuelle Lautstärke erhöhen. Der Maximalwert beträgt 15.
6.4.6 Alarmverzögerung
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Alarmverzögerung
In einigen Anwendungen (zum Beispiel während des Abpumpens eines
„Prüfkammersystems“) kann es erforderlich sein, einen Alarm für einige

Zeit nach der Betätigung der START Taste zu unterdrücken.
Die Alarmverzögerungszeit kann hier geändert werden.
Taste Nr. 3: ↓
Alarmverzögerungszeit verringern. Der Minimalwert beträgt 0 s.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: ↑
Alarmverzögerungszeit erhöhen. Der Maximalwert beträgt 10 Minuten bis
unendlich.
Nach Betätigung der START Taste wird das akustische Signal aktiviert,
sobald die Leckrate unter Triggerschwelle 1 fällt oder nachdem die Alarmverzögerungszeit
abgelaufen ist. Diese Einstellung gilt nur für die akustischen
Alarmarten „Setpoint“ und „Triggeralarm“ (siehe Kapitel 6.4.7).
6.4.7 Audioalarm Typ
� Hauptmenü > Trigger & Alarme > Audioalarm Typ
Je nach Aufgabenstellung kann der optimale Alarmtyp gewählt werden.
Taste Nr. 2: Pinpoint
Diese Funktion dient der Lokalisierung eines Lecks von bekannter Größe.
Einzelheiten siehe Kapitel 6.4.7.1
Taste Nr. 3: Prop. Leckrate
Die Tonhöhe ist proportional zum Leckratensignal. Die Alarmart ist die am
häufigsten genutzte. Siehe Kapitel 6.4.7.2
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: Setpoint
Die Tonhöhe ist proportional zur Leckrate, ein Ton ertönt aber nur, wenn
die Leckrate den Trigger 1 überschritten hat. Einzelheiten siehe Kapitel
6.4.7.3
Taste Nr. 7: Triggeralarm
Es ertönt ein konstantes Alarmsignal, sobald Triggerschwelle 1 überschritten
wird. Einzelheiten siehe Kapitel 6.4.7.4
6.4.7.1 Pinpoint
Der Ton des akustischen Signals ändert seine Frequenz nur innerhalb
eines Leckratenfensters Abb. 21, welches einen Bereich von einer Dekade
unterhalb des Wertes von Triggerschwelle 1 bis eine Dekade über dem
Wert für Triggerschwelle 1 umfasst. Unterhalb dieses Fensters ist der Ton
konstant niedrig und oberhalb des Fensters ist er konstant hoch.
Beispiel: Die Triggerschwelle 1 beträgt 4·10-7 mbar l / s. Somit reicht das
Fenster von 4·10 -8 mbar l / s bis zu 4·10 -6 mbar l / s.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 59

Menüpunkte
60 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
f
2570 Hz -
491 Hz -
0.1 • Tr. 1 Tr. 1 10 • TR. 1
Abb. 21 Pinpoint: Frequenzänderung im Leckratenfenster (Tr.1 =
Triggerlevel 1, LR = Leckrate, f = Frequenz)
6.4.7.2 Prop. Leckrate
Die Frequenz des akustischen Signals ist proportional zur Balkenanzeige.
Der Frequenzbereich beträgt 300 Hz bis 3300 Hz. Siehe Kapitel 6.2.1 zur
Festlegung der Anzahl von Dekaden.
6.4.7.3 Setpoint
Das akustische Signal ist aus, solange die Leckrate kleiner als der Wert für
die Triggerschwelle 1 ist. Über der Triggerschwelle 1 ändert sich die Tonhöhe
proportional zur Leckrate Abb. 22.
f
3000 Hz -
375 Hz -
Kein Ton
no tone
Tr. 1
Abb. 22 Setpoint: Frequenzänderung oberhalb der Triggerschwelle 1
(Tr1. = Triggerlevel 1, LR = Leckrate, f = Frequenz)
6.4.7.4 Triggeralarm
Sobald die Leckrate den Wert für Triggerschwelle 1 überschreitet, wird ein
Mehrfrequenzsignal erzeugt. Dieses ändert sich nicht bei sich ändernder
Leckrate.
LR
1000 • TR.1 LR

6.5 CAL (Kalibrierung)
� Hauptmenü > CAL (Kalibrierung)
Im Kalibrierungsmenü (Abb 23) kann zwischen interner und externer Kalibrierung
ausgewählt werden.
Siehe Kapitel 7 für eine detaillierte Beschreibung des Kalibriervorgangs.
Abb. 23 Display: Menü CAL (Kalibrierung)
6.6 Einstellungen
� Hauptmenü > Einstellungen
Dieses Menü Abb. 24 erlaubt die Anzeige und Änderung von Einstellungen
des Gerätes.
Abb. 24 Display: Menü Einstellungen
Erläuterung zu Abb. 24:
Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung
1 Zurück Zurück zum Hauptmenü
2 Vakuumeinstellungen Einstellungen, die das Vakuumsystem
betreffen. Siehe Kapitel 6.6.1
3 Filter & Untergrund Auswahl des Leckratenfilters. Siehe
Kapitel 6.6.2
4 Masse Umschaltung zwischen Helium und
Wasserstoff. Siehe Kapitel 6.6.3
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 61

Menüpunkte
62 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Erläuterung zu Abb. 24:
Taste Nr. Bezeichnung Beschreibung
5 Schnittstellen Hier können die Belegungen der Schreiberausgänge
(Analogausgänge) definiert
und der Ort der Steuerung (lokal,
RS232, PLC) ausgewählt werden.
Siehe Kapitel 6.6.4
6 Diverses Selten notwendige Einstellungen können
hier vorgenommen werden (Datum,
Sprache). Siehe Kapitel 6.6.5
7 Parameter laden / spei- Siehe Kapitel 6.6.6
chern
8 Überwachung Schutz- und Bedienfunktionen des
PhoeniXL können gewählt werden.
Siehe 6.6.7
6.6.1 Vakuumeinstellungen
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen
Dieses Menü erlaubt die Anzeige und Änderung der Einstellungen für das
Vakuumsystem.
Taste Nr. 3: Verzögerung Belüftung
Siehe Kapitel 6.6.1.2
Taste Nr. 4: Vakuumbereiche
Siehe Kapitel 6.6.1.3
Taste Nr. 5: Teilstrom konfigurieren
Siehe Kapitel 6.6.1.4
Taste Nr. 6: Schnüffelfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.5
Taste Nr. 7: Maschinenfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.6
Taste Nr. 8: Leckrate internes Testleck
Siehe Kapitel 6.6.1.7

Das Menü für die Vakuumeinstellungen des PhoeniXL 300 dry erlaubt die
Anzeige und Änderung der Einstellungen für das Vakuumsystem wie folgt:
Taste Nr. 2: Automatisches Spülen
Siehe Kapitel 6.6.1.1
Taste Nr. 3: Verzögerung Belüftung
Siehe Kapitel 6.6.1.2
Taste Nr. 4: Vakuumbereiche
Siehe Kapitel 6.6.1.3
Taste Nr. 6: Schnüffelfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.5
Taste Nr. 7: Maschinenfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.6
Taste Nr. 8: Leckrate internes Testleck
Siehe Kapitel 6.6.1.7
Das Menü des PhoeniXL 300 Modul erlaubt die Anzeige und Änderung der
Einstellungen für das Vakuumsystem wie folgt:
Taste Nr. 2: Automatisches Spülen
Siehe Kapitel 6.6.1.1
Taste Nr. 3: Verzögerung Belüftung
Siehe Kapitel 6.6.1.2
Taste Nr. 4: Vakuumbereiche
Siehe Kapitel 6.6.1.3
Taste Nr. 5: Vorpumpe konfigurieren
Siehe Kapitel 6.6.1.4
Taste Nr. 6: Schnüffelfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.5
Taste Nr. 7: Maschinenfaktor
Siehe Kapitel 6.6.1.6
Taste Nr. 8: Leckrate internes Testleck
Siehe Kapitel 6.6.1.7
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 63

Menüpunkte
64 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.1.1 Automatisches Spülen
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Automatisches
Spülen
Durch dieses Menü ist es möglich einen automatischen Spülvorgang von
20 Sekunden Dauer einzustellen.
Diese Einstellung ist nur für den PhoeniXL 300 dry 300 Modul
und PhoeniXL
möglich (siehe Kapitel 5.3.1).
Taste Nr. 2: Aus
Das automatische Spülen ist ausgeschaltet.
Taste Nr. 6: An
Das automatische Spülen ist eingeschaltet. Beim Wechsel von Messen
nach Stand-by wird die Vorpumpe automatisch für 20 Sekunden gespült.
6.6.1.2 Verzögerung Belüftung
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Verzögerung
Belüftung
Durch dieses Menü ist es möglich die Verzögerungszeit einzustellen, die
verstreicht bis der Einlass belüftet wird, nachdem die STOP Taste betätigt
wurde. Wenn die STOP Taste für eine Dauer betätigt wird, die kürzer ist
als die eingegebene Belüftungsverzögerungszeit, dann geht der PhoeniXL
in den Stand-by-Modus und ist nicht belüftet.
Wenn die STOP Taste für eine Dauer betätigt wird, die länger ist als die
eingegebene Belüftungsverzögerungszeit, wird der Einlass belüftet.
Taste Nr. 2: Sofort
Der Einlass wird sofort bei Betätigung der STOP Taste belüftet.
Taste Nr. 3: Nach 1 Sekunde
Der Einlass wird nach einer Verzögerungszeit von 1 Sekunde belüftet.
Taste Nr. 4: Nach 1,5 Sekunden
Der Einlass wird nach einer Verzögerungszeit von 1,5 Sekunden belüftet.
Taste Nr. 5: ?
Taste Nr. 6: Nach 2 Sekunden
Der Einlass wird nach einer Verzögerungszeit von 2 Sekunden belüftet.
Taste Nr. 7: Keine Belüftung
Der Einlass kann nicht über die STOP Taste belüftet werden.

6.6.1.3 Vakuumbereiche
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen >
Vakuumbereiche
Durch dieses Menü ist es möglich, verschiedene Messmodi zum Ablauf
der Lecksuche einzustellen. Die Einstellung ist nur in der Betriebsart
VAKUUM (siehe Kapitel 6.3) wirksam.
Taste Nr. 2: Nur GROSS
In dieser Messart bleibt der PhoeniXL nach Unterschreiten von 15 mbar
(Default) am Einlassflansch im GROSS Bereich (siehe 4.1.3). Bei Anzeigen
des Drucks am Einlassflansch > 15 mbar schaltet der PhoeniXL
direkt in die Betriebsart Evakuieren.
Taste Nr. 3: Nur FINE
In dieser Messart bleibt der PhoeniXL nach Unterschreiten von 0,2 mbar
(Default) am Einlassflansch im FINE Betrieb (s. Kap. 4.1.3). Ventil V1 wird
geschlossen (Abb 5 und 7). Bei Ansteigen des Drucks am Einlassflansch
> 0,2 mbar schaltet der PhoeniXL direkt in den Zustand Evakuieren. Die
untere Anzeigegrenze der Messart Nur FINE liegt bei 1 · 10 -10 mbar l / s.
Der Vorteil von Nur FINE ist, dass in dieser Einstellung während des
Messbetriebs keine Ventile schalten.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: Teilstrom konfigurieren/Vorpumpe konfigurieren
Das Saugvermögen der Vorpumpe sowie die Quick-Pumpzeit wird über
dieseTaste eingestellt.
Taste Nr. 7: Normal (Default)
Das ist die Werkseinstellung. Das Lecksuchgerät durchläuft alle Vakuumbereiche
wie in Kapitel 4.1.3 beschrieben.
Der PhoeniXL 300 dry lässt folgende Vakuumbereiche zu:
Taste Nr. 2: Nur GROSS
In dieser Messart bleibt der PhoeniXL 300 dry nach Unterschreiten von
15 mbar (Default) am Einlassflansch im GROSS Bereich (siehe 4.1.3). Bei
Anzeigen des Drucks am Einlassflansch > 15 mbar schaltet der
PhoeniXL 300 dry direkt in den Zustand Evakuieren.
Taste Nr. 3: Nur FINE
In dieser Messart bleibt der PhoeniXL300 dry nach Unterschreiten von
0,1 mbar (Default) am Einlassflansch im FINE Betrieb (s.4.1.3). Ventil V1
wird geschlossen (Abb. 6). Bei Ansteigen des Drucks am Einlassflansch
> 0,1 mbar schaltet der PhoeniXL 300 dry direkt in den Zustand Evakuieren.
Die untere Anzeigegrenze von Nur FINE liegt bei 1 · 10-10 mbar l / s.
Der Vorteil von Nur FINE ist, dass in dieser Einstellung während des
Messbetriebs keine Ventile schalten.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: Precision
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 65

Menüpunkte
66 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
300 dry
In dieser Messart wird die maximale Empfindlichkeit des PhoeniXL
erreicht. Dabei ist ab 0,1 mbar (Default) nur das Ventil V4b (Proportionalventil)
geöffnet.
Taste Nr. 7: Normal (default)
Mit dieser Einstellung durchläuft der PhoeniXL 300 dry die Vakuumbereiche
von GROSS bis FINE (s. Kap. 4.1.3). Dies ist die Werkseinstellung.
6.6.1.4 Teilstrom / Vorpumpe konfigurieren
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen >
Teilstrom / Vorpumpe konfigurieren
Dieser Menüpunkt ermöglicht Einstellungen bei der Benutzung eines Teilstromsystems
beim PhoeniXL 300 . Im Teilstrombetrieb wird das Testobjekt
zusätzlich mittels einer Hilfspumpe evakuiert, was eine Messbereitschaft
bereits ab 1000 mbar zulässt. Diese Einstellung ist bei dem Lecksuchgerät
PhoeniXL 300 dry nicht möglich. Der PhoeniXL 300 Modul erlaubt eine Auswahl
der Vorpumpen zwischen Trocken und Nass sowie die Einstellung
des Saugvermögen.
� Teilstrom konfigurieren für PhoeniXL 300
Taste Nr. 2: ↓
Saugvermögen der Hilfspumpe verringern, Minimalwert 4m³/h. Die
Angabe des nominellen Saugvermögens der Teilstrompumpe kann durch
Drücken der Taste bis auf 4m³/h verringert werden. Die Werkseinstellung
ist 25m³/h.
Taste Nr. 3: ↓
Quickpumpzeit verringern, Minimum 0 Sekunden. Die Quickpumpzeit legt
fest, wie lange das Ventil V10 im Teilstromventilblock geöffnet ist (detaillierte
Beschreibung enthält die Gebrauchsanweisung „GA 10.277“ zum
Teilstromsystem).
Bei TQ = 0 Sekunden wird bei Start das Ventil V10 zunächst gar nicht
geöffnet. Zu empfehlen bei großen Volumina und schmutzigen Prüflingen.
Bei TQ = unendlich wird bei Start das Ventil V10 geöffnet. Bei einem Einlassdruck
p1 < 15 mbar geht der PhoeniXL 300 in den Messbetrieb und
zeigt Leckraten an. Diese Einstellung empfiehlt sich, wenn es akzeptabel
ist, eine Weile bis zum Erreichen des Messbetriebes zu warten und eine
Leckratenanzeige vorher nicht notwendig ist.
Bei TQ zwischen 0 Sekunden und unendlich versucht der PhoeniXL 300
während dieser Zeit, mit geöffneten V10 einen Einlassdruck < 15 mbar zu
erreichen. Nach dieser Zeit wird V10 geschlossen und der PhoeniXL 300
geht in den Messbetrieb (Helium/Wasserstoff gelangt über die Blende des
Ventilblocks ins Gerät).
Taste Nr. 4: Verhalten Ventil V8 des Teilstromsystems ändern
Geschlossen: Im Teilstrombetrieb schaltet das Eckventil V8 (s. GA
10.277) abhängig vom Einlassdruck.
Offen: Eckventil bleibt immer offen, selbst wenn der Einlassdruck niedrig
genug ist.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: ↑

Saugvermögen der Hilfspumpe vergrössern, Maximalwert 80m³/h. Über
diese Taste kann das Saugvermögen der Teilstrompumpe erhöht werden.
Werkseinstellung 25 m 3 /h.
Taste Nr. 7: ↑
Ermöglicht eine Vergrößerung der Quickpumpzeit bis auf den Maximalwert
unendlich
� Vorpumpe konfigurieren für PhoeniXL 300 Modul :
Taste Nr. 2: ↓
Saugvermögen der Hilfspumpe verringern, Minimalwert 4m³/h. Die
Angabe des nominellen Saugvermögens der Teilstrompumpe kann durch
Drücken der Taste bis auf 4m³/h verringert werden. Die Werkeinstellung
ist 25m³/h.
Taste Nr. 3: Auswahl der Vorpumpe, Trocken
Der PhoeniXL 300 Modul kann wahlweise mit einer trockenen (z.B. Scroll
Pumpe) oder einer nassen (ölgedichteten) Vorpumpe betrieben werden.
Über diese Taste erfolgt die Auswahl trockene Vorpumpe.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: ↑
Saugvermögen der Hilfspumpe vergrössern, Maximalwert 80m³/h.
Werkseinstellung 25 m 3 /h. Über diese Taste kann das Saugvermögen der
Teilstrompumpe erhöht werden.
Taste Nr. 7: Auswahl der Vorpumpe, Nass
Der PhoeniXL 300 Modul kann wahlweise mit einer trockenen (z.B. Scroll
Pumpe) oder einer nassen (ölgedichteten) Vorpumpe betrieben werden.
Über diese Taste erfolgt die Auswahl nasse Vorpumpe.
6.6.1.5 Schnüffelfaktor
Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Schnüffelfaktor
Der Schnüffelfaktor berücksichtigt nach einer internen Kalibrierung ein
externes Teilstromverhältniss, z.B. mit dem Quicktest oder einer Hilfspumpe
mit Schnüffelleitung über ein T-Stück.
Beim internen Kalibrieren wird die interne Empfindlichkeit des PhoeniXL
eingestellt. Der errechnete Zahlenwert wird mit dem Korrekturfaktor multipliziert
und ergibt den neuen Kalibrierfaktor für die Schnüffellecksuche.
Taste Nr. 4: Default Wert setzen
Es wird der Default Wert 1 für die Schnüffelleitung SL300 eingestellt oder
der Korrekturfaktor (1000) für den Gebrauch eines Quicktests eingestellt.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 67

Menüpunkte
68 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.1.6 Maschinenfaktor
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen > Maschinenfakto
r
Der Maschinenfaktor berücksicht die Tatsache, dass ein externes Pumpsystem
parallel verwendet wird. Auf der Basis der internen Kalibrierung
wären in einem solchen Fall alle gemessenen Leckraten zu klein. Die
gemessenen Leckraten werden mit dem Maschinenfaktor multipliziert und
die Ergebnisse angezeigt. Dieser Faktor wird nur im Vakuummodus (und
nicht im Schnüffelmodus) verwendet.
Siehe Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung der Eingabe.
Der Maschinenfaktor kann, unter Berücksichtigung des He-Saugvermögen
vom PhoeniXL und der externen Pumpe, abgeschätzt werden.
Da die effektiven Saugvermögen, bedingt durch die Leitwerte der Vakuumverbindungen,
üblicherweise nicht bekannt sind, empfiehlt sich eine
indirekte Messung.
1. PhoeniXL in Betrieb nehmen
2. Als erstes eine interne Kalibrierung mit dem Maschinenfaktor 1 durchführen.
Siehe Kapitel 7
3. Ein externes Testleck (z.B. Sollwert 2,0 · 10 -6 mbar l / s) an die Prüfkammer
anschließen.
4. Leckrate (Istwert) des externen Testleck messen, z.B. 5 · 10 -8 mbar l /s
(PhoeniXL und externes Pumpsystem in Betrieb).
5. Der Maschinenfaktor errechnet sich aus dem Quotienten von Soll- und
Istwert: 2·10 -6 mbar l /s / 5·10 -8 mbar l /s = Maschinenfaktor 40.
6. Der so ermittelte Maschinenfaktor ist in der Menüseite einzugeben
7. Erneute interne Kalibrierung durchführen, damit der Maschinenfaktor
übernommen wird.
8. Alle im weiteren gemessenen Signale werden mit dem Faktor 40 multipliziert
und dann angezeigt.
6.6.1.7 Leckrate internes Testleck
� Hauptmenü > Einstellungen > Vakuumeinstellungen >
Leckrate internes Testleck
Der Wert des internen Testlecks kann hier eingegeben werden. Siehe
Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung dieser Eingabe.
Normalerweise besteht keine Notwendigkeit, die Angaben zur Leckrate
des internen Testlecks zu ändern, es sei denn, dieses wurde ausgetauscht
oder überprüft und neu eingestellt. Eine falsche Angabe zur Leckrate
des internen Testlecks führt zu falschen Leckratenmessungen!

6.6.2 Filter & Untergrund
� Hauptmenü > Einstellungen > Filter & Untergrund
Der Leckratenfiltertyp und die Untergrundbehandlung kann ausgewählt
werden. Die Werkseinstellung für den Leckratenfilter ist AUTO.
Taste Nr. 2: Untergrundbestimmung Einlassbereich
Mit dieser Funktion kann der Untergrund des Einlassbereichs bestimmt
werden. siehe Kapitel 6.6.2.1
Taste Nr. 3: Untergrundunterdrückung
Auswahl der internen Behandlung des Untergrundes,
siehe Kapitel 6.6.2.2
Taste Nr. 7: Leckraten Filter
Auswahl des Filtertyps, siehe Kapitel 6.6.2.3
6.6.2.1 Untergrundbestimmung Einlassbereich
� Hauptmenü > Einstellungen > Filter & Untergrund >
Untergrundbestimmung Einlassbereich
Mit dieser Funktion kann der Untergrund des Einlassbereichs bestimmt
werden. Der PhoeniXL muss sich hiefür in folgendem Zustand befinden:
1. Modus Vakuum
2. Zustand Stand-by seit mindestens 25 Sekunden
3. Einlass blindgeflanscht
4. PhoeniXL seit mindestens 20 Minuten eingeschaltet.
Nach dem Start der Funktion pumpt der PhoeniXL den Einlass ab, frühestens
nach 2 Minuten kann der nun gemessene Wert als „Untergrund des
Einlassbereichs“ übernommen werden. Der Wert wird netzausfallsicher
übernommen.
Menüpunkte
I
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 69

Menüpunkte
70 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.2.2 Untergrundunterdrückung
� Hauptmenü > Einstellungen > Filter & Untergrund >
Untergrundunterdrückung
Taste Nr. 3: Aus
Es findet keine Untergrundunterdrückung statt. Die angezeigte Leckrate
ist der vom Vorverstärker gemessene Wert. Diese Funktion sollte nur von
erfahrenen Anwendern ausgewählt werden, da unter Umständen eine
positive Leckratenanzeige erfolgen kann.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: Einlassbereich
Zusätzlich zum internen Untergrund wird der Untergrund des Einlassbereichs
bei START mit abgezogen. Da der PhoeniXL den Untergrund des
Einlassbereichs nicht während der Betriebsart Stand-by bestimmen
kann, muss dieser Wert durch die Funktion „Untergrundbestimmung Einlassbereich“
bestimmt werden. Siehe Kapitel 6.6.2.1
Taste Nr. 7: Nur intern
Bei Start wird der interne Untergrund bestimmt und vom Leckratensignal
abgezogen (Werkseinstellung). Diese Einstellung entspricht der Einstellung
des L200.
6.6.2.3 Leckraten Filter
Hauptmenü > Einstellungen >
Filter & Untergrund > Leckraten Filter
Taste Nr. 3: Fixed
Es wird ein Filter mit einer festen Zeitkonstante verwendet
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: Auto
Auto stellt sicher, das die Mittelungszeiten optimal an den jeweiligen
Leckratenbereich angepasst wird. Dies ist die Werkseinstellung.
Auto stellt sicher, dass die Signale in optimierten Zeitintervallen gemittelt
werden, und zwar basierend auf dem jeweiligen Leckratenbereich. Die
Einstellung Auto eliminiert zudem Störungsspitzen, welche in keinem
Zusammenhang mit den Leckratensignalen stehen und liefert ungewöhnlich
kurze Reaktionszeiten auch bei geringen Leckratensignalen.
Der verwendete Algorithmus bietet eine ausgezeichnete Empfindlichkeit
und Reaktionszeit; die Nutzung dieser Einstellung wird ausdrücklich empfohlen.

6.6.3 Masse
� Hauptmenü > Einstellungen > Masse
Hier kann die Masse des verwendeten Prüfgases eingestellt werden. Dazu
muss sich der PhoeniXL im Stand-by-Modus befinden.
Taste Nr. 2: H2 (2 amu)
Wasserstoff mit einer Masse von 2 amu wird gemessen.
Taste Nr. 3: 3He (3 amu)
Das Heliumisotop mit der Masse 3 amu wird gemessen.
Taste Nr. 5: ?
Hilfestellung
Taste Nr. 7: 4He (4 amu)
Helium mit der Masse 4 amu wird gemessen (Werkseinstellung).
Nach Änderung der Masse sollte eine Kalibrierung für die gewählte Masse
durchgeführt werden (siehe Kapitel 7).
6.6.4 Schnittstellen
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen
Hier lassen sich die Parameter für die Schnittstellen eingeben.
Taste Nr. 2: Steuerungsort
Siehe Kapitel 6.6.4.1
Taste Nr. 3: Schreiberausgang definieren
Siehe Kapitel 6.6.4.2
Taste Nr. 4: RS232
Siehe Kapitel 6.6.4.3
Taste Nr. 5: SPS-Ausgänge definieren
Siehe Kapitel 6.6.4.4
Taste Nr. 6: SPS-Eingänge definieren
Siehe Kapitel 6.6.4.5
Taste Nr. 7: Skalierung Schreiberausgang
Siehe Kapitel 6.6.4.6
Taste Nr. 8: SPS Abtastrate
Siehe Kapitel 6.6.4.7
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 71

Menüpunkte
72 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
p 1 und p 2
6.6.4.1 Steuerungsort
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > Steuerungsort
Taste Nr. 2: SPS
Der PhoeniXL wird über den Digitaleingang (siehe Kapitel 2.2.2.3) gesteuert.
Die START, STOP und ZERO Tasten am Gerät sind deaktiviert.
Taste Nr. 3: RS232
Der PhoeniXL wird über die RS232-Schnittstelle von einem externen
Computer gesteuert. In dieser Betriebsart kann der PhoeniXL nicht über
die Tastatur bedient werden.
Taste Nr. 5: Lokal & SPS
Der PhoeniXL wird sowohl über die START, STOP und ZERO-Tasten der
Gerätebedienung als auch über die Digitaleingänge gesteuert.
Taste Nr. 6: Lokal & RS232
Der PhoeniXL wird sowohl über die START, STOP und ZERO-Tasten der
Gerätebedienung als auch über die RS232-Schnittstelle gesteuert.
Taste Nr. 7: Lokal
Der PhoeniXL wird über die Tasten START, STOP und ZERO auf der
Gerätebedienung oder der optionalen Fernbedienung gesteuert (Werkseinstellung).
6.6.4.2 Schreiberausgang definieren
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen >
Schreiberausgang definieren
Diese Einstellung definiert das Verhalten des Schreiberausganges. Mit
den linken Tasten kann der Ausgangs - Pin gewählt werden, mit den rechten
Tasten wird diesem Ausgang eine Funktion zugeordnet.
Der Schreiberausgang Abb. 25 ist 2-kanalig und lässt sich individuell konfigurieren.
Die aktuelle Einstellung kann unter Info/Interne Daten anzeigen/
Seite 10 angesehen werden.
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 V
-12 -10 -8 -6
-4 -2 0 +2
10 10 10 10 10 10 10 10
LR in Kanal 1
Abb. 25 Schreiberausgang: Leckratenbereich in Kanal 1 (LR = Leckrate)
Off
Die Ausgangsspannung am Schreiberausgang ist 0V.
P1 (L200)
Die Einstellung des Einlaßdruckes P1 erfolgt wie bei einem L200, d.h.
1000mbar entsprechen 4V mit 0,5V/Dekade logarithmisch skaliert.
P1 (Pirani)
Der Einlassdruck P1 des PhoeniXL wird logarithmisch ausgegeben.

P2 (L200)
Die Einstellung des Vorvakuumdruckes P2 erfolgt wie bei einem L200,
d.h. 1000mbar entsprechen 4V mit 0,5V/Dekade logarithmisch skaliert
P2 (Pirani)
Der Vorvakuumdruck P2 des PhoeniXL wird logarithmisch ausgegeben.
LR mantisse
Die Leckraten Mantisse wird linear von 1 - 10V ausgegeben.
LR exponent
Der Exponent wird als Stufenfunktion ausgegeben: U = 1 - 10V in Schritten
von 0,5V pro Dekade, beginnend bei 1V = 1 · 10 -12 .
LR linear
Die Ausgangsspannungen sind linear skaliert. Die Ausgangsspannung
beträgt 0 - 10V in einstellbaren Schriten von 0,5 bis 10V pro Dekade.
LR log
Die Ausgangsspannungen sind logarithmisch skaliert. Die Ausgangsspannung
beträgt 1 - 10V in einstellbaren Schritten von 0,5 bis 10V pro
Dekade (Abb.26).
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 V
-3 -1 +1 +3
10 10 10 10
Abb. 26 Leckratenbereich log, 0,5V/Dekade
6.6.4.3 RS232
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen > RS232
Taste Nr. 2: Baudrate und Ende-Zeichen
Erlaubt die Einstellungen der Baudrate zwischen 1200 und 19200, sowie
die Wahl des Endezeichens zwischen CR + LF, CR oder LF.
Taste Nr. 3: Data, Parity, Stop bits
Einstellungen von Data (7 oder 8), Parity (Even, Odd, None) und Stop bits
(1 oder 2).
Taste Nr. 7: RS232 Protokoll
Das Ausgabeprotokoll der RS232 kann hier ausgewählt werden zwischen:
L200 Format, Diagnose, L200 Leakware und ASCII-Code.
Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem
PhoeniXL geeignet.
Bitte in der Betriebsart „Single Part Measurement“ die Funktion „STORE
DATE“ ausführen, damit die Messwertaufzeichnung startet.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 73

Menüpunkte
74 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.4.4 SPS-Ausgänge definieren (Control, Digital
Out)
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen >
SPS-Ausgänge definieren (Control, Digital Out)
Die folgenden Relaisausgänge stehen für die weitere Signalverarbeitung
zur Verfügung. Die Höchstbelastbarkeit der Relaiskontakte liegt bei
60V AC/1A. Vergleiche Kap. 2.2.2.2.
Kontakt Signal
1 SPS-Eingang frei konfigurierbar
2 SPS-Eingang frei konfigurierbar
3 SPS-Eingang frei konfigurierbar
4 GND
5 bis 7 SPS-Ausgang frei definierbar
8 bis 10 SPS-Ausgang frei definierbar
11 bis 13 SPS-Ausgang frei definierbar
14 bis 16 SPS-Ausgang frei definierbar
Für die Kontakte 5 bis 16 gilt jeweils, dass die erste Zahl der Mittenkontakt,
die zweite Zahl der Arbeitskontakt und die dritte Zahl der Ruhekontakt
ist.
Die aktuelle Pinbelegung kann unter Info/Interne Daten anzeigen/Seite 7
angezeigt werden.
Beschreibung der Funktionsweise der digitalen Ausgänge:
Folgende Funktionen können über den SPS-Ausgang definiert werden:
Trigger 1
Der Triggerlevel 1 wird überwacht; das Relais wird aktiviert wenn der Triggerlevel
1 unterschritten ist
Trigger 2
Triggerlevel 2 analog Trigger l.
Trigger 3
Triggerlevel 3 analog Trigger 1.
Zero active
Das Relais wird aktiviert, wenn die Zero-Funktion eingeschaltet ist.
Ready
Das Relais ist deaktiviert, falls das Gerät messbereit ist (Emission eingeschaltet,
kein Fehler).
CAL active
Das Relais ist aktiviert, falls sich das Gerät in der Kalibrierroutine befindet.
CAL Request
Relais ist aktiviert, falls Aufforderung zur (internen) Kalibrierung ansteht.
Sonderfall: Während einer externen Kalibrierung zeigt ein offener CAL
Request-Ausgang an, dass das externe Testleck geschlossen werden
muss.

Fail
Relais ist aktiviert, falls ein Fehler ausgegeben wird.
Warning
Relais ist aktiviert, falls eine Warnung ausgegeben wird.
Gasballast
Relais ist deaktiviert, falls Gasballast aktiv ist.
Recorder Strobe
Relais ist deaktiviert, falls Recorder-Ausgang ungültig ist. Wird nur verwendet,
falls Recorder-Ausgang auf „Leckrate“ steht.
Open
Der Eingang ist ständig geöffnet.
Close
Der Ausgang ist ständig geschlossen.
6.6.4.5 SPS-Eingänge definieren (Control 2, Digital
In)
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen >
SPS-Eingänge definieren (Control 2, Digital In)
Diese Eingänge können benutzt werden, um den PhoeniXL mit einer programmierbaren
Steuerung (SPS) zu betreiben.
Um eine Verwechslung mit dem Anschluß „Record“ (Abb. 2/7) zu vermeiden,
ist ein Einstecken des Steckers durch Kodierstifte blockiert. Um den
Stecker passend zu machen, müssen an dem Stecker die entsprechenden
Führungsnasen entfernt werden. Dies können Sie mit einem Messer
oder Seitenschneider durchführen.
Siehe Kapitel 2.2.2.3
Kontakt Signal
1 Frei konfigurierbar
2 Frei konfigurierbar
3 Frei konfigurierbar
4 SPS GND
Die Signale an diesen Eingängen werden nur akzeptiert, wenn der Steuerungsort
auf „SPS“ oder „Local und SPS“ steht. (Siehe Kapitel 6.6.4.1)
Die aktuelle Pinbelegung kann unter Info/Interne Daten anzeigen/Seite 8
angezeigt werden.
Beschreibung der Funktionsweise der digitalen Eingänge:
Zero
Wechsel Low nach High: Zero einschalten.
Wechsel High nach Low: Zero ausschalten.
Start
Wechsel Low nach High: START ausführen.
Stop
Wechsel Low nach High: STOP ausführen.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 75

Menüpunkte
76 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Falls dieser Eingang länger als die unter Kapitel 6.6.1.2 angegebenen Zeit
HIGH ist, zusätzlich belüften.
Gasballast
Wechsel Low nach High: Spülen einschalten.
Wechsel High nach Low: Spülen ausschalten.
Clear
Wechsel Low nach High: Fehlermeldung bestätigen.
CAL
Wechsel Low nach High:
Falls sich das Gerät im Stand-by Zustand befindet: Internes automatisches
Kalibrieren starten. Falls sich das Gerät im Mess-Zustand befindet:
Externes Kalibrieren starten (Voraussetzung für erfolgreiche Kalibrierung:
externes Testleck muss geöffnet sein und Leckraten-Signal stabil.)
Wechsel High nach Low:
Bei externer Kalibrierung: Bestätigung, dass externes Testleck geschlossen
ist und das Leckraten-Signal stabil ist.
CAL intern
Wechsel Low nach High: Unabhängig vom Messberieb des PhoeniXL
wird eine interne Kalibrierung durchgeführt.
CAL extern
Wechsel Low nach High: Unabhängig vom Messberieb des PhoeniXL
wird eine externe Kalibrierung durchgeführt
6.6.4.6 Skalierung Schreiberausgang
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen >
Skalierung Schreiberausgang
In diesem Untermenü lässt sich die Skalierung der Schreiberausgänge
einstellen. Diese Auswahl ist nur möglich, wenn die Leckrate linear (LR lin)
oder logarithmisch (LR log) ausgewählt ist. (s.Kap. 6.6.4.2)
Taste Nr. 2: ↓
Verringerung der Dekade
Die Dekade der oberen Leckrate kann verringert werden.
Taste Nr. 3: ↓
Skalierung verringern
Skalierung des vorher eingestellten Bereichs in Schritten von 0,5, 1, 2,
2,5 5 oder 10V/Dekade verkleinern, wobei der Gesamtbereich 10V
umfasst.
Taste Nr. 5: ?
Hilfsfunktion
Taste Nr. 6 ↑
Vergrößerung der Dekade
Die Dekade der oberen Leckrate kann vergrößert werden.
Taste Nr. 7: ↑

Skalierung vergrößern
Skalierung des vorher eingestellten Bereichs in Schritten von 0,5, 1, 2,
2,5 5 oder 10V/Dekade vergrößern, wobei der Gesamtbereich 10V
umfasst.
6.6.4.7 SPS Abtastrate
� Hauptmenü > Einstellungen > Schnittstellen >
SPS Abtastrate
Taste Nr. 3: ↓
Verringerung der Abtastrate der SPS-Steuerung
Verringerung der SPS-Abtastrate bis auf minimal 10ms. Dies kann u.U.
bei einem Austausch zwischen L200 und PhoeniXL notwendig werden
um die Kompabilität zu gewährleisten.
Taste Nr. 6: ↑
Vergrößerung der Abtastrate der SPS-Steuerung
Vergrößerung der Abtastrate auf maximal 100ms.
6.6.5 Diverses
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses
In diesem Untermenü können das aktuelle Datum und die aktuelle Zeit, die
bevorzugte Sprache und die Servicemeldungen eingestellt werden.
Taste Nr. 2: Datum/Uhrzeit
Siehe Kapitel 6.6.5.1
Taste Nr. 3: Sprache
Siehe Kapitel 6.6.5.2
Taste Nr. 4: Kalibrieraufforderung
Siehe Kapitel 6.6.5.3
Taste Nr. 5: Serviceintervall Vorpumpe
Siehe Kapitel 6.6.5.4
Taste Nr. 7: Serviceintervall Ölfilter
Siehe Kapitel 6.6.5.5
Taste Nr. 8: Wartungsmeldung Ölfilter
Siehe Kapitel 6.6.5.6.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 77

Menüpunkte
78 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.5.1 Datum/Uhrzeit
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Datum/Uhrzeit
In den zwei Untermenüs können die Einstellungen für Datum und Zeit
geändert werden. Siehe Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung der Eingabe.
6.6.5.2 Sprache
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Sprache
Die bevorzugte Sprache im Display kann hier ausgewählt werden. Die
Werkseinstellung ist Englisch.
Taste Nr. 3: Deutsch
Anzeigetexte in deutscher Sprache
Taste Nr. 7: Englisch
Anzeigetexte in englischer Sprache
6.6.5.3 Kalibrieraufforderung
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Kalibrieraufforderung
Hier lässt sich einstellen, ob der Bediener an die Notwendigkeit einer Kalibrierung
erinnert werden soll oder nicht. Die Werkseinstellung ist „Aus“.
Taste Nr. 3: Aus
Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt nicht.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: An
Die Aufforderung zur Kalibrierung erfolgt.
Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist, erfolgt eine entsprechende
Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich
die Temperatur im PhoeniXL seit der letzten Kalibrierung um mehr als
5 °C verändert hat.

6.6.5.4 Serviceintervall Vorpumpe
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Serviceintervall Vorpumpe
Hier kann das Wartungsintervall der Vorpumpe eingegeben werden. Diese
Einstellung ist abhängig vom Gebrauch des PhoeniXL, sollte aber spätestens
nach 4000h oder einem Jahr erfolgen. Siehe auch Gebrauchsanleitung
der Trivac D2,5E und Kapitel 9.1.1.
Diese Einstellung ist nur für den PhoeniXL 300 möglich.
Taste Nr. 3: ↓
Verringerung des Wartungsintervalls in 500 h (Std.) Schritten.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: ↑
Erhöhung des Wartungsintervalls in 500 h (Std.) Schritten. Obergrenze
4000 h.
6.6.5.5 Serviceintervall Auspuff-Ölfilter
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Serviceintervall Auspuff-Ölfilter
Diese Einstellung ist nur für den PhoeniXL 300 möglich.
Das Serviceintervall des Auspuff-Ölfilters wird hier eingestellt. Die Auswahl
hängt von der Anwendung des PhoeniXL ab. Bei Anwendungen mit
hohem Gasdurchsatz ist das Serviceintervall kleiner zu wählen. Siehe auch
Kapitel 9.1.1.
Taste Nr. 3: ↓
Verringerung der Stundenzahl
Das Serviceintervall kann bis auf 1000h reduziert werden.
Taste Nr. 7: ↑
Vergrösserung der Stundenzahl
Das Serviceintervall kann bis auf 4000h erhöht werden.
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 79

Menüpunkte
80 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.6.5.6 Wartungssmeldung Auspuff-Ölfilter
� Hauptmenü > Einstellungen > Diverses > Wartungssmeldung Auspuff-
Ölfilter
Der Auspuff-Ölfilter muss regelmäßig gewartet werden, um die ordnungsgemäße
Funktion des PhoeniXL 300 sicherzustellen. Wird diese Meldung
aktiviert, erinnert der PhoeniXL den Bediener an die fällige Wartung. Siehe
auch Kapitel 9.1.1.
Diese Einstellung ist nur für den PhoeniXL 300 möglich.
Taste Nr. 3: Aus
Taste Nr. 5: Hilfstext
Taste Nr. 7: An
6.6.6 Parameter laden / speichern
� Hauptmenü > Einstellungen > Parameter laden / speichern
Ermöglicht die Speicherung und das Laden individueller Einstellungen
oder das Rücksetzen auf die Werkseinstellungen.
Taste Nr. 2 bis Taste Nr. 4:
Die aktuellen Einstellungen können unter einem frei wählbaren Namen
gespeichert werden. Die Speicherung von 3 verschiedenen Sätzen ist
möglich.
Siehe Kapitel 6.6.6.1
Taste Nr. 5: Defaultwerte laden
Die Werkseinstellungen werden geladen.
Taste Nr. 6 bis Taste Nr. 8:
Einer von 3 individuell erstellten und gespeicherten Parametersätzen kann
geladen werden. Siehe Kapitel 6.6.6.2
6.6.6.1 Speichern eines Parametersatzes
Durch Betätigen der Tasten 2, 3 oder 4 wird die Speicherung der aktuellen
Parameter eingeleitet. Hierzu wird dem Parametersatz ein Name gegeben.
Soll der vorgeschlagene Name geändert werden, kann dies mittels
Taste 4 „Bezeichung ändern“ getan werden. Ansonsten Taste 8 „speichern“
betätigen, ggfl. „Abbrechen“ (Taste 1).

6.6.6.2 Laden eines Parametersatzes
� Hauptmenü > Einstellungen > Parameter laden / speichern > Laden
eines Parametersatzes
Durch Betätigen der Tasten 6, 7 oder 8 kann einer der 3 gespeicherten
Parametersätze aufgerufen werden. Dieser Satz wird zunächst eingeblendet
und kann dann akzeptiert (Taste 8) oder abgelehnt werden (Taste 1).
6.6.7 Überwachung
� Hauptmenü > Einstellungen > Überwachung
In diesem Untermenü werden die Überwachungsgrenzen definiert.
Taste Nr. 3: Druckgrenze für Vakuumbereich
Siehe Kapitel 6.6.7.1
Taste Nr. 6: Druckgrenzen für Schnüffelmodus
Siehe Kapitel 6.6.7.2
Taste Nr. 7: Maximale Evakuierungszeit
Siehe Kapitel 6.6.7.3
6.6.7.1 Druckgrenze für Vakuumbereiche
� Hauptmenü > Einstellungen > Überwachung > Druckgrenze für Vakuumbereich
Mit dieser Funktion können die werkseitig eingestellten Umschaltpunkte
zwischen den Vakuumbereichen Evakuieren - GROSS - FINE verändert
werden. Dies kann erforderlich sein, wenn mit dem PhoeniXL andere Gase
als Luft abgepumpt werden. Das Drucksignal der gasartabhängigen Einlassdruckanzeige
(Pirani) kann dann entsprechend andere Umschaltwerte
der PhoeniXL Ablaufsteuerung liefern. Durch Veränderung der voreingestellten
Umschaltpunkte kann dies ausgeglichen werden.
Taste Nr. 2: ↓
Umschaltschwelle EVAC-GROSS verkleinern. Einstellung zwischen 15 bis
3 mbar (Defaultwert 15 mbar) wählbar
Taste Nr. 3 ↓
Umschaltschwelle GROSS-FINE verkleinern. Einstellung zwischen 0,2 bis
0,05 mbar (Defaultwert 0,2 mbar) wählbar.
Taste Nr. 4 Einstellungen für ARGON
Auswahl der Defaulteinstellung für Argon oder für Luft (nach nochmaligen
Drücken)
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6 ↑
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 81

Menüpunkte
82 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Umschaltschwelle EVAC-GROSS vergrößern. Einstellung zwischen 3 bis
15 mbar (Defaultwert 15 mbar) wählbar
Taste Nr. 7: ↑
Umschaltschwelle GROSS-FINE vergrößern. Einstellung zwischen 0,05
bis 0,2 mbar (Defaultwert 0,2 mbar) wählbar
6.6.7.2 Druckgrenzen für Schnüffelmodus
� Hauptmenü > Einstellungen > Überwachung > Druckgrenzen für
Schnüffelmodus
Diese Funktion wird im Schnüffelmodus automatisch aktiviert. Die Druckgrenzen
definieren einen maximalen und einen minimalen Einlassdruck.
Falls der Druck nicht in diesem Bereich liegt, werden Warnmeldungen
ausgegeben (W62 bzw. W63, s. Kap. 8.2):
Einlassdruck > Obergrenze: Kapillare defekt.
Einlassdruck < Untergrenze: Gasfluss durch die Kapillare ist zu gering
(blockierte Kapillare).
Taste Nr. 2: ↓
Verringerung des maximalen Drucks.
Taste Nr. 3: ↓
Verringerung des minimalen Drucks, Untergrenze 0,05 mbar (Werkseinstellung)
Taste Nr. 4 Einstellung für Quicktest setzen
Einstellungen bei Benutzung des Quicktest (max. Druck 0,05 mbar, min.
Druck 0 mbar) oder „Defaultwert setzen“ (nach nochmaligen Drücken)
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Tasten Nr. 6: ↑
Erhöhung des maximalen Drucks,Obergrenze 0,15 mbar (Werkseinstellung).
Taste Nr. 7 ↑
Erhöhung des minimalen Drucks

6.6.7.3 Maximale Evakuierungszeit
� Hauptmenü > Einstellungen > Überwachung > Maximale Evakuierungszeit
Mit diesem Menüpunkt wird festgelegt, wann eine Grobleckmeldung erfolgen
soll. Die Groblecküberwachung arbeitet zweistufig und die Grenzwerte
können bei Bedarf angepasst werden (Werkseinstellung 30 min.).
Dieser Menüpunkt ist insbesondere bei Serienprüfungen mit immer gleichen
Prüfbedingungen hilfreich.
Nach dem Drücken der Taste Start wird der Prüfling evakuiert. Sind innerhalb
der hier einzustellenden Zeiten die entsprechenden Druckbedingungen
(p1< 100 mbar) nicht erreicht oder unterschritten, so wird der
Abpumpprozess abgebrochen und im Display erfolgt eine Warnmeldung.
(W76 bzw. W75, siehe Kapitel 8.2).
Die zu wählenden Zeiten hängen einerseits von der gewünschten Reaktionszeit
für die Grobleckmeldung ab und andererseits vom vorhandenen
Prüflingsvolumen und effektiven Saugvermögen.
Falls die Zeitdauer unendlich gewählt wird, sollte der Ölstand der Drehschieberpumpe
häufiger geprüft werden.
Taste Nr. 2: ↓
Herabsetzen der Evakuierungszeit bis p1 < 100 mbar, minimaler Wert 1s.
Innerhalb der hier eingestellten Zeitdauer muss der Einlassdruck am Testflansch
100 mbar unterschritten haben. Die Dauer kann zwischen 1
Sekunde und 9 Minuten frei eingestellt bzw. auf unendlich gestellt werden.
Taste Nr. 3: ↓
Herabsetzen der Zeitdauer bis Messbereitschaft erreicht, minimaler Wert
5s. Innerhalb dieser Zeitdauer muss die Messbereitschaft erreicht sein,
d.h. der Einlassdruck muss auf < 15 mbar (entsprechend der eingestellten
Druckgrenzen in Kap. 6.6.7.1) abgefallen sein. Die Dauer kann zwischen
5 Sekunden und 30 Minuten frei eingestellt bzw. auf unendlich
gestellt werden.
Taste Nr. 5: ?
Hilfestellung
Taste Nr. 6: ↑
Heraufsetzen der Evakuierungszeit bis p1 < 100 mbar, maximaler Wert
unendlich.
Taste Nr. 7: ↑
Heraufsetzen der Zeitdauer bis Messbereitschaft erreicht, maximaler Wert
unendlich
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 83

Menüpunkte
84 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.7 Information
� Hauptmenü > Information
Das Information Menü Abb. 27 erlaubt den Zugang zu Untermenüs, durch
die verschiedene Informationen zum PhoeniXL angezeigt werden können.
Abb. 27 Display: Menü Information
Erläuterung zu Abb 27:
Taste Nr. 2: Einstellungen anzeigen
Die aktuellen Einstellungen werden auf 5 Seiten angezeigt, z. B. Triggerschwellen,
Lautstärke, Datum und Zeit.
Taste Nr. 3: Interne Daten anzeigen
Informationen zu den gemessenen internen Daten werden auf 10 Seiten
angezeigt.
Taste Nr. 4: Vakuumschema
Das Vakuumschema des PhoeniXL wird angezeigt. Aus diesem Diagramm
ist unter anderem ersichtlich, welche Ventile zur Zeit geöffnet bzw.
geschlossen sind (siehe Kapitel 4.1.1).
Taste Nr. 5: Fehlerliste anzeigen
Die Liste mit aufgetretenen Fehlermeldungen und Warnungen wird angezeigt,
vgl.. Fehler- und Warnungsmeldungen (Kapitel 8.2).
Taste Nr. 6: Kalibrier-Historie anzeigen
Eine Liste der durchgeführten Kalibriervorgänge wird angezeigt.
Taste Nr. 7: Kalibrier-Faktoren
Die Kalibrier-Faktoren für die verschiedenen Massen und der Maschinenfaktor
werden angezeigt.
Taste Nr. 8: Service
Siehe Kapitel 6.7.1

6.7.1 Service
� Hauptmenü > Information > Service
Über das Service-Menü lassen sich spezielle Sonderfunktionen ausführen
(z. B. manuelles Schalten der Ventile). Der Zugang zum Service-Menü ist
durch eine PIN geschützt. Diese PIN wird nicht bei Lieferung des Lecksuchgeräts
mitgeteilt, sondern erst nach entsprechender Service-Schulung.
6.8 Benutzerberechtigung
� Hauptmenü > Benutzerberechtigung
Über dieses Menü kann der Zugriff auf gewisse Funktionen des PhoeniXL
beschränkt werden. Abb. 28.
Abb. 28 Display: Menü Benutzerberechtigung
Erläuterung Abb. 28:
Taste Nr. 3: Zero
Siehe Kapitel 6.8.1
Taste Nr. 4: Zugang zur CAL-Funktion
Siehe Kapitel 6.8.2
Taste Nr. 8: Menü Pin ändern
Siehe Kapitel 6.8.3
Menüpunkte
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 85

Menüpunkte
86 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
6.8.1 Zero
� Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Zero
Diese Einstellung aktiviert (bzw. deaktiviert) die Funktion der ZERO Taste
auf der Bedieneinheit.
Taste Nr. 3: verriegelt
Taste ZERO gesperrt
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 6: ZERO bei FEIN
Bei Erreichen des FEIN Modus wird die ZERO-Funktion automatisch eingeleitet.
Taste Nr. 7: freigeben
Taste ZERO freigegeben. Dies ist die Werkseinstellung
6.8.2 Zugang zur CAL-Funktion
� Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Zugang zur CAL-Funktion
Hier lässt sich auswählen, ob der Zugriff auf die Kalibrierfunktion
beschränkt sein soll oder nicht.
Taste Nr. 3: Aus
Die Kalibrierfunktion lässt sich nur über das Hauptmenü aufrufen. Wenn
die Menü PIN (siehe Kapitel 6.8.3) aktiviert ist, wird diese PIN benötigt,
um eine Kalibrierung zu starten.
Taste Nr. 5: ?
Hilfstext
Taste Nr. 7: An
Die Kalibrierfunktion ist im Hauptmenü während des Stand-by-Modus
und im Messmodus verfügbar (Werkseinstellung, siehe Kapitel 7.2).
6.8.3 Menü Pin ändern
� Hauptmenü > Benutzerberechtigung > Menü Pin ändern
Der Zugriff auf das Menü kann durch die Eingabe oder Änderung der persönlichen
Identifikationsnummer (PIN) beschränkt werden. Es erfolgt keine
PIN Überprüfung, wenn diese auf 0000 gesetzt wird.
Die Werkseinstellung für die PIN ist die Zahl 0013
Siehe Kapitel 4.1.2.7 für eine Beschreibung der Eingabe.

7 Kalibrierung
7.1 Einführung
Der PhoeniXL kann auf zweierlei Weise kalibriert werden:
� Interne Kalibrierung durch das interne Testleck.
� Externe Kalibrierung mit Hilfe eines zusätzlichen Testlecks, welches am
Einlass oder am Prüfling bzw. Prüfkammer angeschlossen wird.
Bei Verwendung des PhoeniXL als Helium-Lecksuchgerät im Vakuummodus
reicht im allgemeinen eine interne Kalibrierung aus (Applikationsabhängig).
Jedoch kann nach einer internen Kalibrierung aufgrund der
Unsicherheiten und Temperaturabhängigkeit der angezeigte Leckratenwert
vom aufgedruckten Wert des angeschlossenen externen Testlecks
abweichen. In diesem Fall ist zum Erreichen genauer Messwerte eine
externe Kalibrierung notwendig.
Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer auf ein
maximales Signal abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die
bekannte Leckrate des internen oder externen Testlecks bezogen.
Obwohl der PhoeniXL sehr stabil ist, wird dennoch von Zeit zu Zeit eine
Kalibrierung empfohlen: mindestens einmal am Tag bei ständiger Nutzung
oder jeweils vor Gebrauch bei seltener Nutzung. So wird sichergestellt,
dass Änderungen in der Umgebungstemperatur, Verunreinigungen oder
andere Einflüsse die Messgenauigkeit nicht beeinträchtigen.
Damit eine optimale Kalibrierung erreicht wird, sollte der PhoeniXL mindestens
20 Minuten warmgelaufen sein. Falls eine Kalibrierroutine vorher eingeleitet
wird, wird eine Warnung ausgegeben, die gegebenenfalls ignoriert
werden kann.
7.2 Die Kalibrierroutinen
Die Kalibrierroutine lässt sich durch Betätigung der Taste CAL (Taste Nr. 5)
von drei verschiedene Stellen aufrufen:
� Im Hauptmenü (Abb 16) oder
� Im Stand-by (Abb 8) oder
� Im Messmodus (Abb 14 & 15)
Der Zugang über Stand-by oder Messmodus kann u.U. gesperrt sein
(siehe Kapitel 6.8.2). In diesem Fall ist die entsprechende Taste nicht
beschriftet.
Nachdem die Kalibrierung eingeleitet wurde, muss der Bediener zwischen
interner und externer Kalibrierung auswählen. Dazu ist die entsprechende
Taste zu betätigen (Abb 23, Kap. 6.5).
Eine begonnene Kalibrierung kann zu jeder Zeit durch die Betätigung der
STOP Taste oder durch die Betätigung der Taste Nr. 1 (Abbruch) beendet
werden (Abb 29-35).
Kalibrierung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 87

Kalibrierung
88 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
7.2.1 Interne Kalibrierung
Der PhoeniXL startet automatisch die interne Kalibrierung bei Drücken von
intern. Dazu sollte der PhoeniXL auf die Masse 4 eingestellt sein (Werkseinstellung).
Während des Kalibriervorganges wird das Massenspektrometer
(bei Einstellung auf Masse 4) auf ein maximales Helium-Signal
abgestimmt, und dieses Signal wird dann auf die bekannte Leckrate des
internen Testlecks bezogen.
Die Kalibrierung dauert ca. 30 Sekunden und es erfolgt eine akustische
und visuelle Anzeige, sobald die Kalibrierung erfolgreich beendet wurde.
7.2.2 Externe Kalibrierung
Für eine externe Kalibrierung muss, je nach Applikation, ein Testleck am
Prüfling oder direkt am Einlass (Abb. 2/1) des PhoeniXL angeschlossen
werden.
Nach Auswahl von „Externe Kalibrierung“ (Taste Nr. 8, Abb 23, Kap. 6.5)
werden folgende Meldungen angezeigt, und die beschriebenen Aktionen
sind durchzuführen.
� Sicherstellen, dass
die richtige Masse
eingestellt ist. Siehe
Kapitel 6.6.3
� Sicherstellen, dass
das Testleck angeschlossen
und offen
ist
� Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate
vergleichen. Bei Abweichungen die Taste Leckrate ändern (Taste Nr.
4) betätigen und den Wert korrigieren (Eingabe siehe Kapitel 4.1.2.7).
� Wenn die Leckraten übereinstimmen, START (Taste Nr. 8) betätigen.
Abb. 29 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 1
Abb. 30 Display: Externe Kalibrierung,Schritt 2
� Hier ist keine Aktion
erforderlich. Der
Prüfling wird evakuiert.

Abb. 31 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 3
Abb. 32 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 4
Abb. 33 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 5
Abb. 34 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 6
Abb. 35 Display: Externe Kalibrierung, Schritt 7
� Die Balkenanzeige
zeigt ein Signal, welches
nur wenig
schwanken darf. Ist
dies der Fall, OK
(Taste Nr. 8) betätigen.
� Hier ist keine Aktion
erforderlich. Das
Massenspektrometer
wird auf ein max.
Signal abgestimmt.
� Das angeschlossene
externe Testleck
schliessen.
� Wenn das Signal
stabil ist mit OK
(Taste Nr. 8) bestätigen.
� Der PhoeniXL zeigt
den alten und den
neu berechneten
Kalibrierfaktor an
(vgl. 7.3)
Kalibrierung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 89

Kalibrierung
90 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
7.3 Kalibrierfaktor-Wertebereich
Um fehlerhafte Kalibrierungen zu vermeiden, kontrolliert der PhoeniXL am
Ende der Kalibrier-Routine den Kalibrierfaktor auf Plausibilität:
Ist der neue Kalibrierfaktor nicht wesentlich größer oder kleiner (< Faktor
2) als der alte Kalibrierfaktor, so wird der neue Kalibrierfaktor automatisch
übernommen. Weicht der neue Kalibrierfaktor stärker von dem alten Kalibrierfaktor
ab, so kann der Anwender entscheiden, ob er den neuen Faktor
trotzdem übernehmen möchte (z. B. nach einer Änderung der
Anlagenkonfiguration) oder nicht (z. B. wegen einer Fehlbedienung).
Wird die Kalibrierung über SPS oder RS232 gestartet, so erfolgt keine
Plausibilitäts-Prüfung.
Bei einer internen Kalibrierung wird zusätzlich überwacht, ob der neu
berechnete Kalibrierfaktor größer als 10 oder kleiner als 0,1 ist. Ist dies der
Fall, so erscheint eine entsprechende Warnmeldung (siehe W81 bzw.
W82 in Kapitel 8.2) und die Kalibrierung wird abgebrochen.

8 Fehlermeldungen
und Warnungsmeldungen
Der PhoeniXL ist mit umfangreichen Möglichkeiten zur Selbstdiagnose
ausgestattet. Wenn eine Fehler- oder Warn-Bedingung erkannt wird, dann
wird diese durch das LC Display dem Bediener mitgeteilt.
Im Falle einer Fehler- oder Warnungsmeldung ertönt ein Signal. Dessen
Frequenz ändert sich alle 400 ms von 500 Hz bis 1200 Hz und umgekehrt,
so dass dieses Signal sich gut vom normalen Umgebungslärm abhebt.
Fehler- und Warnungsmeldungen werden gespeichert und lassen sich
später über die Menüinformation anzeigen (Siehe Kapitel 6.7).
8.1 Hinweise
Warnungen werden angezeigt,
� wenn der PhoeniXL einen anormalen Zustand feststellt oder
� wenn der PhoeniXL den Bediener an etwas erinnern möchte (z.B. dass
eine Kalibrierung erforderlich ist oder dass der Zeitraum zur nächsten
Wartung verstrichen ist).
Der PhoeniXL zeigt eine Meldung auf dem LC Display an und verbleibt im
Stand-by-Modus oder im Messmodus.
Die Warnungsmeldungen werden so lange auf dem Display angezeigt, bis
diese durch die Betätigung von OK (Taste Nr. 8) bestätigt wurden. Danach
kann der PhoeniXL wieder benutzt werden (ggf. mit einigen Einschränkungen).
Solange der Warnungszustand vorliegt, wird in der Statuszeile der
Messanzeige ein Warnungsdreieck angezeigt (Siehe Kapitel 5.4.3).
Fehlermeldungen sind Ereignisse, welche das Lecksuchgerät zwingen,
den Messbetrieb zu unterbrechen. In einem solchen Fall werden alle Ventile
bis auf Ventil 2a (Abb. 5,6,7) geschlossen (Stand-by-Modus).
Die Fehlermeldungen werden so lange auf dem Display angezeigt, bis
diese durch die Betätigung von „Neustart“ (Taste Nr. 8) bestätigt wurden.
Danach startet der PhoeniXL erneut. In manchen Fällen kann es sinnvoll
sein, einige Einstellungen oder Messwerte vor dem Neustart des PhoeniXL
zu überprüfen. Es ist daher auch möglich, die „Menü“ Taste (Taste Nr. 4
oder MENU Taste) zu betätigen, um das Menü des PhoeniXL aufzurufen.
Nach Verlassen des Menüs wird dieselbe Fehlermeldung wieder angezeigt.
Unter extremen Bedingungen (unbekannte Softwarefehler, übermäßig
hohe elektromagnetische Störpegel) verhindert die eingebaute Überwachungsfunktion
(Watchdog) den unkontrollierten Betrieb des PhoeniXL.
Diese Überwachungsfunktion erzwingt einen Neustart des PhoeniXL.
Danach läuft der PhoeniXL im Stand-by-Modus. Es wird keine Fehlermeldung
ausgegeben.
Meldungen
Warnungsmeldungen
Fehlermeldungen
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 91

Meldungen
92 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
8.2 Liste der Fehler- und Warnungsmeldungen
Auf den nachstehenden Seiten wird eine Liste aller Fehlermeldungen und
Warnungsmeldungen aufgeführt. Warnungsmeldungen beginnen mit dem
Buchstaben W gefolgt von einer Nummer. Fehlermeldungen (Errors)
beginnen mit dem Buchstaben E gefolgt von einer Nummer.
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W14 Service Intervall für Auspuff-Filter
ist abgelaufen
W17 Service-Intervall für Vorpumpe ist
abgelaufen!
W21 Zeitüberschreitung bei E-EPROM
Schreibbefehl
W22 Überlauf der E-EPROM-Parameter
Warteschlange
E23 24V für ext. Ausgang 1 ist zu
hoch
E24 24V für ext. Ausgang 1 ist zu
niedrig
E25 Abgesenkte Ventilspannung zu
niedrig (

Meldungen
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
E34 24V Spannung auf MSV-Karte ist
zu niedrig!
E35 Anoden-Katodenspannung ist zu
hoch!
E36 Anoden-Katodenspannung ist zu
niedrig!
E37 Führungsgröße Suppressorspannung
zu groß.
Signal MVPZN auf der MSV Platine ist aktiv. 24 V Spannung auf
MSV-Karte ist zu niedrig, U < 18,3 V.
Sicherung F1 auf der MSV Platine ist durchgebrannt.
DC/DC Wandler MSV Karte defekt
Anoden-Katodenspannung ist höher als U > 130 V.
MSV ist defekt.
Anoden-Katodenspannung ist kleiner als U < 30 V.
MSV ist defekt.
Signal MFSZH auf der MSV Platine ist aktiv. Suppressorsignal
Führungsgröße ist zu hoch.
Suppressorspannung ist von einem Kurzschluss betroffen.
MSV ist defekt.
E38 Suppressor-Potenzial zu hoch. Suppressor -Potenzial ist größer als 363V.
MSV ist defekt
E39 Suppressor-Potenzial zu niedrig. Suppressor-Potenzial ist kleiner als 297 V.
MSV ist defekt.
E40 Das Anodenpotenzial überschreitet
den Sollwert um mehr als
10%.
E41 Das Anodenpotenzial unterschreitet
den Sollwert um mehr als
10%.
E42 Führungsgröße Anodenpotenzial
zu groß!
E43 Katodenstrom ist zu hoch!
MSV Cat-Heater >>
Der Istwert der Anodenspannung überschreitet den Sollwert
um 10%. Der Sollwert kann im Servicemenü (unter „Info“) angezeigt
werden.
MSV ist defekt.
Der Istwert der Anodenspannung ist um 10% unter den Sollwert
gefallen. Der Sollwert kann im Servicemenü (unter „Info“)
angezeigt werden.
Lufteinbruch.
MSV ist defekt.
Signal MFAZH auf der MSV Platine ist aktiv.
Die Anodenspannung ist kurzgeschlossen.
Der Sollwert für die Anodenspannung ist zu hoch. Die Anodenspannung
ist auf 1.200 V begrenzt.
Signal MPKZH auf der MSV Platine ist aktiv. Katodenstrom ist
zu hoch, I > 3,6 A.
MSV ist defekt.
E44 Katodenstrom ist zu niedrig! Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv. Katodenstrom ist
zu gering, I < 0,2 A.
MSV ist defekt.
W45 Emission der Kathode 1 kann
nicht eingeschaltet werden.
W46 Emission der Kathode 2 kann
nicht eingeschaltet werden!
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission
für Kathode 1 kann nicht eingeschaltet werden. Der PhoeniXL
schaltet auf Kathode 2. Neue Ionenquelle bestellen.
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission
für Kathode 2 kann nicht eingeschaltet werden. Der PhoeniXL
schaltet auf Kathode 1. Neue Ionenquelle bestellen.
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 93

Meldungen
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
E47 Emission kann auf beiden Kathoden
nicht eingeschaltet werden!
94 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv. Die Emission
kann nicht eingeschaltet werden. Kathode durch Austauschen
der Ionenquelle ersetzen. Nach Austausch der Ionenquelle
muss es im Servicemenü möglich sein, beide Kathoden manuell
einzuschalten.
E48 Anodenheizung defekt! Signal MSAFD auf der MSV Platine ist aktiv. Sicherung für die
Anodenheizung ist durchgebrannt.
Sicherung F2 auf der MSV Platine ersetzen.
E50 Keine Kommunikation mit dem
Turbopumpen Wandler.
Takt vom Frequenzwandler ist ausgefallen. Keine Kommunikation
mit dem Frequenzwandler.
Sicherung F4 auf Verdrahtungsebene defekt.
E51 Unbekannter TMP Fehler Fehler an der TMP oder der Kommunikation mit dem Wandler
E52 Turbopumpen-Frequenz zu klein! Die Drehzahl der Turbomolekular-Pumpe ist zu klein.
Frequenzwandler ist defekt.
Turbomolekularpumpe ist defekt.
W53 Temperatur an der Elektronikbaugruppe
ist zu hoch! (55°C)
E54 Temperatur an der Elektronikbaugruppe
ist zu hoch! (60°C)
W55 Temperatur an der Elektronikbaugruppe
ist zu klein ( 40°C).
Die interne Belüftung (Lüfter) ist ausgefallen.
Der Luftfilter ist verschmutzt.
E56 Einlassdruck p1 zu niedrig! U P1 < 0,27 V;
Pirani-Sensor P1 defekt.
E58 Vorvakuumdruck p2 zu niedrig! U< 0,27 V
Pirani-Sensor p2 defekt
E60 p2>10 mbar nach 5 Minuten seit
dem Einschalten.
Umgebungstemperatur ist zu hoch (>40°C).
Die interne Belüftung (Lüfter) ist ausgefallen.
Die Luftfilter sind schmutzig und müssen ausgetauscht werden.
Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an,
dass T < 2 °C. Längere Hochlaufzeit für die Vorvakuumpumpe.
Temperatursensor ist defekt.
Hochlaufzeit der Vorvakuumpumpe ist zu lang.
Vorpumpe ist defekt.
Ventil V2 öffnet sich nicht (Abb. 5,6,7).
E61 Emission fehlerhaft. Emission konnte nicht eingeschaltet werden. MSV Baugruppe
signalisiert einen Fehler. MENB Emissionsstrom außerhalb des
zulässigen Bereiches.
MSV Karte defekt.
W62 Fluss durch Kapillare zu klein! Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schnüffelleitung
überwacht. Wenn der Druck unter einen Minimalwert fällt, ist
der Durchfluss durch die Kapillare zu gering (Verschmutzung),
Kapillare ist blockiert (Fremdkörper, Partikel) oder die untere
Druckgrenze zu hoch.
Der Minimalwert kann über das Menü eingestellt werden. Die
Werkseinstellung ist 0,05 mbar. Siehe Kapitel 6.6.7.2

Meldungen
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W63 Kapillaren gebrochen Im Schnüffelmodus wird der Einlassdruck der Schüffelleitung
überwacht. Wenn der Druck ein vorgebenenes Maximum überschreitet,
dann ist der Gasdurchfluss durch die Kapillare zu
hoch (nicht dicht, Bruch in der Kapillare). Der maximale Gasdurchsatz
kann über das Menü eingestellt werden. Die Werkseinstellung
ist 0,15 mbar. Siehe Kapitel 6.6.7.2.
E64 TMP-Fehler: Nenndrehzahl um
mehr als 10% überschritten
E65 TMP-Fehler: Maximale Durchlaufzeit
überschritten
E66 TMP-Fehler: Lagertemperatur zu
hoch (>67°C)
E67 TMP-Fehler: Kurzschluss in TMP-
Motor oder Verbindungskabel
E68 TMP-Fehler: Wandler Temperatur
zu hoch (>75°C)
E69 TMP-Fehler: Hochlaufzeit überschritten
E70 TMP-Fehler: TMP-Motortemperatur
zu hoch (>90 °C)
E71 TMP-Fehler: TMP konnte nicht
identifiziert werden
Nenndrehzahl um 10% überschritten.
Turbo.Drive S defekt, Leybold-Service benachrichtigen.
Pumpe läuft zu langsam hoch.
Vorvakuumdruck zu hoch, über Menüpunkt 6.6.7.1 Druckgrenze
für Vakuumbereiche herabsetzen.
Lager defekt, Leybold-Service benachrichtigen.
Maximale Lagertemperatur überschritten, Pumpe wird abgeschaltet.
Vorvakuumdruck zu hoch, Druckgrenze herabsetzen s. Kap.
6.6.7.1
Lüfter defekt, Lüfter austauschen
Umgebungstemperatur zu hoch, Kühlere Luft zuführen
Lager defekt, Pumpe durch Leybold-Service reparieren lassen
Kurzschluß im Pumpen-Motor, Leybold-Service benachrichtigen
Kurzschluß im Verbindungskabel, Verbindungskabel auf
Beschädigung prüfen, ggf. austauschen
Umgebungstemperatur zu hoch, Kühlere Luft zuführen
Vorvakuumdruck zu hoch, Druckgrenze herabsetzen s. Kap.
6.6.7.1
Vorvakuumdruck zu hoch, über Menüpunkt 6.6.7.1 Druckgrenze
für Vakuumbreiche herabsetzen.
Lager defekt, Leybold-Service benachrichtigen.
Vorvakuumdruck zu hoch, Druckgrenze herabsetzen s.
Kap.6.6.7.1
Lüfter defekt, Lüfter austauschen
Umgebungstemperatur zu hoch, Kühlere Luft zuführen
Lager defekt, Pumpe durch Leybold-Service reparieren lassen
TMP ist nicht angeschlossen
Pumpe mit Wandler nicht verbunden, Verbindungskabel prüfen
E73 Emission aus (P2 zu hoch) P2 > 0,2 oder 1,5 mbar wegen Lufteinbruch, d.h. der PhoeniXL
bzw. PhoeniXL300 dry wird versuchen, wieder in den Messmodus
zu gelangen.
W76 Maximale „Evakuierungszeit“
überschritten.
Prüfling hat ein Grobleck, Evakuierungszeit bis Messbereitschaft
zu lang.
Zu kurze Zeiteinstellung der maximalen Evakuierungszeit. S.
Kap. 6.6.7.3
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 95

Meldungen
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W77 Signalmaximum liegt außerhalb
des Massenabgleichbereichs!
W78 Signaldifferenz zwischen offenem
und geschlossenem Testleck ist
zu klein.
96 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte für den Massenabgleich
verschoben.
Leckraten-Signal während des Massenabgleichs war instabil.
Erneut kalibrieren.
Über das Servicemenü die Grundeinstellung für die Anodenspannung
überprüfen.
Testleck überprüfen.
Die Verstärker-Spannungsdifferenz zwischen offenem und
geschlossenem Ventil ist geringer als 10 mV. Das Testleck ist
nicht ordentlich geschlossen worden.
W79 Das Testleck Signal ist zu klein Das Testleck ist zu klein oder ist nicht geöffnet worden. Vorverstärkerspannung
< 10 mV.
W80 Bitte Gerät neu kalibrieren! Die automatische Kalibrieraufforderung ist aktiviert (Siehe Kapitel
6.6.5.3) und mindestens eine der folgenden Bedingungen ist
erfüllt:
� 30 Minuten seit Einschalten abgelaufen.
� Vorverstärkertemperatur hat sich seit der letzten Kalibrierung
um mehr als 5°C geändert.
� Massen-Einstellung wurde geändert.
W81 Kalibrierfaktor zu klein Der berechnete Kalibrierfaktor liegt außerhalb des zulässigen
Bereiches (< 0,1). Der alte Faktor wird beibehalten.
Mögliche Ursachen:
� Die für die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden
nicht eingehalten.
� Die Leckrate für das interne Testleck, die eingegeben wurde,
ist viel zu klein.
– Das interne Testleck ist defekt.
W82 Kalibrierfaktor zu groß! Der berechnete Kalibrierfaktor liegt außerhalb des zulässigen
Bereiches (> 10). Der alte Faktor wird beibehalten.
Mögliche Ursachen:
W83 Alle EEPROM-Parameter verloren!
Bitte überprüfen Sie die Einstellungen!
W84 EEPROM-Parameter initialisiert.
Bitte Einstellungen überprüfen!
� Die für die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden
nicht eingehalten.
� Die Leckrate für das interne Testleck, die eingegeben wurde,
ist zu groß.
� Das interne Testleck ist defekt oder leer.
EEPROM auf Verdrahtungsebene ist leer und wurde mit
Default-Werten initialisiert. Alle Parameter müssen erneut eingegeben
werden.
Falls die Warnung nach dem Wiedereinschalten erneut auftritt,
so ist vermutlich das EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt.
Software-Update

Meldungen
Nr. Angezeigte Meldung Beschreibung und mögliche Fehlerursachenbehebung
W85 EEPROM-Parameter verloren!
Bitte überprüfen Sie die Einstellungen!
Schreibzugriff wurde unterbrochen. Überprüfen Sie die Einstellungen.
Es wurde ein Software-Update durchgeführt. In diesem Fall
kann die Meldung normalerweise ignoriert werden.
Falls die Warnung nach dem Wiedereinschalten erneut auftritt,
so ist vermutlich das EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt.
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 97

Wartung
98 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
9 Wartung
9.1 Leybold Service
Falls Sie ein Gerät an Leybold schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei
von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert
ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an.
Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formular „Kontaminierungserklärung“
Abb. 1 benutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden. Eine
Kopie dieses Formulars, die Sie vervielfältigen können, ist in diesem technischen
Handbuch abgedruckt. Außerdem finden Sie ein geeignetes Formular
im Internet: www.leybold.com unter der Überschrift „Support &
Download“.
Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie es bei.
Diese Kontaminierungserklärung ist erforderlich zur Erfüllung gesetzlicher
Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter. Geräte ohne Kontaminierungserklärung
muss Leybold an den Absender zurückschicken.
Vor dem Versand bitte die gelben Schraubstopfen auf die Anschlüsse
EXHAUST und GASBALLAST montieren (Abb. 3/2 und 3/3).
9.1.1 Wartungsplan
Die Wartung am PhoeniXL ist bei Bedarf durchzuführen. Sie beschränkt
sich im allgemeinen auf das Wechseln des Öls in der Drehschieberpumpe
Trivac D2,5E, das Wechseln der Luftfilter und Reinigung bzw. Austausch
des Auspuff- Ölfilters.
Als vorbeugende Maßnahme empfiehlt es sich, ca. einmal pro Monat die
Drehschieberpumpe zu kontrollieren. Hierbei ist auf den Ölstand und die
Verfärbung des Öls zu achten.
Achtung PhoeniXL kann bei niedrigen Temperaturen Schwierigkeiten
beim Anlaufen haben.
Als Öl für die TRIVAC D2,5E im PhoeniXL darf deshalb nur Arctic-ÖL
(Kat-Nr. 20028181) verwendet werden.
Die oben genannte monatliche Kontrolle ist nur ein Richtwert. Bei starker
Auslastung des PhoeniXL und insbesondere bei Verwendung im Schnüffelbetrieb
sollten die Abstände kürzer sein. Die Drehschieberpumpe befindet
sich auf der Mechanikseite des PhoeniXL (Abb. 36) ganz unten.

9.1.2 Öffnen des PhoeniXL
2
3
Abb. 36 Rückseite PhoeniXL
1 Öffnung zum Abnehmen der Mechanikhaube
2 Vier Schrauben zum Lösen der Elektronikhaube
3 Mechanikhaube
4 Elektronikhaube
Sie können einen Stromschlag bekommen.
Ziehen Sie den Netzstecker, bevor Sie das Gerät öffnen.
Gehen Sie folgendermaßen vor:
1. PhoeniXL ausschalten.
2. Netzleitung am PhoeniXL herausziehen
3. PhoeniXL von anderen Vakuumkomponenten am Einlaßflansch trennen.
Abb. 37 Entriegelung der Mechanikhaube
1
4
Vorsicht
Wartung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 99

Wartung
100 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
4. PhoeniXL so drehen, dass dieser die in Abb. 36 gezeichnete Position
einnimmt.
5. Mit zwei Flachschraubendrehern in den Öffnungen (Abb. 37) die
Mechanikhaube an der unteren Seite aus der Verriegelung heben.
Dabei sollte durch eine Abwärtsbewegung der Schraubendreher die
Haube zunächst etwas nach vorne gezogen werden. Anschließend
kann durch eine Aufwärtsbewegung der Schraubendreher die Haube
angehoben und somit vollständig entriegelt werden.
6. Dann die Mechanikhaube bis zum Anschlag nach oben anheben und
nach vorne abheben.
7. Zum Entfernen der Elektronikhaube vier Kreutzschlitzschrauben entfernen.
Siehe Abb. 36/2.
8. Elektronikhaube nach hinten wegziehen und zur Seite legen.
9. Nach den Wartungsarbeiten zunächst wieder Elektronikhaube aufsetzen
und festschrauben (Abb. 36/2) und schließlich die Mechanikhaube
unten an den Öffnungen einschnappen lassen Abb. 36/1).
9.1.3 Wechsel der Filtermatten
Die Filtermatten dienen zur Staubfilterung der angesaugten Luft. Damit die
Durchlässigkeit der Filtermatten und damit eine ausreichende Kühlung
erhalten bleibt, sollten die Filtermatten gereinigt/gewechselt werden, wenn
sie sich dunkelgrau verfärben.
Filtermatten werden an zwei Stellen im PhoeniXL verwendet:
a.) am Lüftungsschlitz der Elektronikhaube (von außen teilweise sichtbar)
b.) am Lüfter der Turbomolekularpumpe (von außen teilweise sichtbar)
Zum Zwecke des Wechselns die Hauben wie beschrieben abnehmen
(siehe Kapitel 9.1.2).
zu a) Die Filtermatten sind mit jeweils einer Schraube an der Elektronikhaube
festgeschraubt. Die Schrauben abschrauben und Filtermatten
wechseln. (Katalog-Nummer 20099025)
zu b) Die Filtermatte wird mit einer Plastikhalterung vor dem Lüfter eingerastet.
Zum Entfernen die Halterung abnehmem, nach dem Tausch des
Filters die Halterung wieder aufstecken und einrasten lassen. (Kat.-Nr.
200001366)
Unter Umständen kann eine verschmutzte Matte auch durch einfaches
Ausklopfen bzw. Staubsaugen gereinigt und wiederverwendet werden.
In der Belüftungsleitung ist ein Staubfilter eingebaut. Dieser ist nach
Bedarf, vor allem bei starker Verschmutzung zu wechseln oder zu reinigen
(Kat.-Nr. 200000683).

9.1.4 Ölwechsel
Mechanikhaube gemäß Kapitel 9.1.2 entfernen.
Sie können einen Stromschlag bekommen.
Ziehen Sie den Netzstecker bevor Sie an der Pumpe arbeiten.
Wenn die Pumpe gefährliche Stoffe abgepumpt hat, die Art der Gefährdung
feststellen und geeignete Sicherheitsmaßnahmen treffen.
Öl kann die Umwelt schädigen.
Entsorgen Sie es fachgerecht und beachten Sie die geltenden
Umweltschutz-Vorschriften.
Der Ölwechsel ist der entsprechenden Gebrauchsanleitung GA 01.601 zu
entnehmen und genau einzuhalten.
Wie in Kapitel 9.1.1 schon erwähnt, darf für die Trivac D2,5E im PhoeniXL
nur Arctic-Öl verwendet werden.
Zum Abschluß wieder die Mechanikhaube aufsetzen, dabei unten an den
Öffnungen einschnappen lassen.
9.1.5 Reinigung
Das Gehäuse des PhoeniXL besteht aus lackierten Kunststoffteilen. Zur
Reinigung des Lecksuchgeräts sollten daher Mittel benutzt werden, wie
sie auch für andere Lack- oder Kunststoffoberflächen üblich sind (z.B.
leichte Haushaltsreiniger). In der Regel reicht ein feuchtes Tuch. Es sollten
keine Lösungsmittel verwendet werden, die Lacke lösen könnten (wie z.B.
Aceton).
Zur Reinigung der Lüftungsschlitze dient am besten eine weiche Bürste
oder ein Staubsauger.
9.1.6 Sicherungswechsel
Sie können einen Stromschlag bekommen.
Ziehen Sie den Netzstecker, bevor Sie das Gerät öffnen und die
Sicherung wechseln.
Vorgehensweise bei den Netzsicherungen:
1. PhoeniXL ausschalten und Netzleitung herausziehen.
2. Mit einem Schraubendreher den Deckel der Kaltgerätesteckdose von
rechts aufklappen. (Der Netzschalter wird hiervon nicht betroffen.) Die
Sicherungen können entnommen werden, indem die mit Pfeilen
gekennzeichneten Schubladen herausgezogen werden. Beim Wiedereinsetzen
ist darauf zu achten, dass die Pfeile nach unten zeigen.
Es müssen in jedem Fall zwei gleiche Sicherungen eingesetzt sein.
Erforderliche Sicherungen sind - T 10A (5x20mm) für 100V ... 230V.
3. Nach dem Wechsel der Sicherung(en) den Deckel der Kaltgerätesteckdose
wieder fest zudrücken.
4. Netzleitung am PhoeniXL einstecken und Gerät wieder einschalten.
Vorsicht
Achtung
Vorsicht
Wartung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 101

Wartung
Nr. 1 F1 auf MSV
Sicherungswert: T 2A
102 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
Neben diesen Netzsicherungen sind einige Funktionskreise einzeln abgesichert.
Nachfolgend sind diese Sicherungen aufgeführt (s. Tabelle). Siehe
auch Abb. 38.
Tauschen Sie diese Sicherungen folgendermaßen aus:
1. - PhoeniXL ausschalten
2. - Netzleitung am PhoeniXL herausziehen
Nr. 2 F2 auf MSV Wird nicht benötigt.
Nr. 3 F3 auf MSV
Sicherungswert: T 1A
Nr. 4 F4 auf MSV
Sicherungswert: M 0,032A
Nr. 5 F1 auf I/O Karte
Sicherungswert: T 0,8A
Nr. 6 F2 auf I/O Karte
Sicherungswert: T 0,2A
Nr. 7 F 1 auf VD
Sicherungswert: T 0,8A
Nr. 8 F 2 auf VD
Sicherungswert: T 4A
Nr. 9 F 3 auf VD
Sicherungswert: T 0,8A
Nr.10 F 4 auf VD
Sicherungswert: T 8A
3. - Mechanik- und Elektronikhaube nach Kapitel 9.1.2 entfernen
4. Sicherungen tauschen (vgl. folgende Tabelle und Abb 38)
5. Anschließend Elektronik- und Mechanikhaube in umgekehrter Reihenfolge
montieren.
24 V Systemspannung der Massenspektrometerversorgung.
Gerätebedienung lösen (2 Kreutzschlitzschrauben). Halteblech der
MSV-Karte lösen (2 Kreutzschlitzschrauben)
MSV Karte nach oben herausziehen. Hierzu Flachschraubendreher
nacheinander in die beiden seitlichen Aussparungen (oben) einführen
und an der STE-Karte abstützend die MSV Karte heraushebeln.
Zur Erzeugung von 24 V für DCDC-Wandler (+- 15 / 5 V)
Absicherung der Anoden- Spannung
Absicherung der 24 V OPTION Stecker.
Absicherung zuschaltbare 24 V für RS232 Schnittstelle
Versorgungsspannung der Fernbedienung
Versorgungsspannung 24 V für I/O Karte
Versorgungsspannung 24 V für Lüfter und Motorrelais
Absicherung der Vorpumpe
Die Nummerierung der oben aufgeführten Tabelle (1 bis 10) bezieht sich
auf die Abb. 38.
Wie in der Abb. 38 zu sehen, befinden sich die Sicherungen 1, 2, 3, und 4
auf der MSV Karte, die Sicherungen 5 und 6 auf der I/O Karte, sowie die
Sicherungen 7, 8, 9, und 10 auf der Verdrahtungsebene unter der MSV
Karte.

TMP-Wandler
TDS
10
STE Karte
Abb. 38 Anordnung Sicherungen
9.1.7 Auspuff-Filter
Nach längerem Betrieb kann sich im Auspuff-Ölfilter Öl aus der Pumpe
ansammeln. Sollte das der Fall sein, handeln Sie bitte wie folgt:
1. Den PhoeniXL ausschalten
2. Mechanikhaube entfernen. Siehe Kapitel 9.1.2
3. Den Filter in Pfeilrichtung (auf dem Filter angezeigt) abschrauben und
Entleeren.
4. Nach dem Entleeren oder Austausch (Kat.-Nr. 20028656) den Filter
wieder hineindrehen und handfest anziehen.
5. Zum Abschluß Mechanikhaube wieder aufsetzen.
9
1
9.2 Turbomolekularpumpe
3
MSV
I/O Karte
Für die Leybold Turbomolekularpumpe TW 70 LS wird empfohlen, spätestens
nach 20.000 Stunden einen Lagerwechsel durchzuführen. Für Einzelheiten
dazu siehe die entsprechende Bedienungsanleitungen von
Leybold (GA 05156.0101) oder nehmen Sie mit dem Leybold Service Kontakt
auf.
9.3 Eingebautes Testleck TL7
8
Das eingebaute Testleck TL7 mit Heliumvorrat dient zum einfachen
Abgleich des im PhoeniXL eingebauten Massenspektrometers sowie zur
Kalibrierung der Leckraten Anzeige.
Es ist mit einem Elektromagnetventil ausgestattet, dass über die Steuerung
des PhoeniXL betätigt wird.
7
4
2
6
5
Wartung
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 103

Wartung
104 ⏐GA10218_0201 - 3/2005
9.3.1 Technische Daten
Nenn - Leckratenbereich 10 -7 mbarl / s
Toleranz der Nenn - Leckrate +/- 15 %
Temperaturkoeffizient < 0,5 % / °C
Lecktyp Kapillare
Füllung Helium
9.3.2 Werksüberprüfung
Testlecks unterliegen keinen Verschleiß. Der Heliumverlust des Testlecks
TL7 ist mit kleiner 2 % pro Jahr vernachlässigbar. Trotzdem kann sich die
Leckrate durch Fremdeinflüsse im Laufe der Jahre ändern. Wir empfehlen
deshalb eine jährliche Werksüberprüfung.
Wird für ein Helium-Testleck ein Prüfzertifikat benötigt, kann dieses in
unserem Werk Köln erstellt werden. Werksüberprüfung und Zertifikat-
Erstellung werden nach Einsendung des Testlecks gegen Berechnung
ausgeführt.
Der auf dem Hauptschild angegebene Heliumstrom ist die tatsächliche
Leckrate, die das Testleck abgibt.

A
B
C
D
E
F
G
H
Anhang
Audioalarm Typ 58
Auspuff 26
Automatisches Spülen 64
Bedieneinheit 36
Bedienelemente auf der Fernbedienung 42
Begriffsdefinitionen 9
Belüftungsanschluss 26
Benutzerberechtigung 85
Betriebsart 55
CAL (Kalibrierung) 61
Digitalausgang Control 23
Digitaleingang Control 2 24
Einheiten 57
Einlass 26
Elektrische Anschlüsse 22
Externe Kalibrierung 88
Fehlermeldungen 91
Fernbedienung 19
Filter & Untergrund 69
Filtermatten, wechseln 100
Fine 9
Gasballast/Spülvorgang 46
Gasballastanschluss 26
Gross 9
Hauptmenü 49
Hochlauf / Starten 29
I
K
M
N
O
R
S
T
Anhang
Installation 21
Interne Kalibrierung 88
Ionenquelle 33
Kalibrierung 61
Maschinenfaktor 68
Massenspektrometer 33
MENU Taste 38
Messmodus mit Balkenanzeige 48
Messmodus mit Trendanzeige 48
Numerische Eingaben 38
Öffnen des PhoeniXL 99
Ölwechsel 101
RS232 73
Schnüffelleitung SL300 18
Schnüffelmodus 41
Schreiber 24
SPS-Ausgänge definieren 74
SPS-Eingänge definieren 75
START Taste 36
STOP Taste 36
Teilstrom / Vorpumpe konfigurieren 66
Teilstrombetrieb 41
TL7 103
Trigger 56
Trigger & Alarme 56
Triggerlevel 56
GA10218_0201 - 3/2005
⏐105

106⏐
Allgemeines
U
V
W
Z
Turbomolekularpumpe 103
Umgebungsbedingungen 14
Untergrund 54
Untergrundunterdrückung 70
Vakuumanschlüsse 26
Vakuumbereiche 65
Vakuum-Diagramm PhoeniXL300 32
Vakuumdiagramm PhoeniXL300 dry 34
Vakuumdiagramm PhoeniXL300 Modul 35
Vakuumeinstellungen 62
Vakuummethode 40
Vakuumsystem 32
Wartungsplan 98
Wechsel der Filtermatten 100
ZERO Taste 36
Zubehör Option 23
Zubehör und Optionen 18
GA10218_0201 - 3/2005

Abmaße PhoeniXL Familie in mm und inch. (in Klammern)
Dimensions PhoeniXL family in mm and inches (in brackets)..
Abb. 1 Abmaße PhoeniXL Hauptansicht (Front)
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 107

108⏐
Allgemeines
Abmessungen PhoeniXL Familie
in mm und inch. (in Klammern)
Dimensions PhoeniXL family in
mm and inches (in brackets)
Abb. 2 Abmaße PhoeniXL Seite (Netzanschluß- und Unterseite)
GA10218_0201 - 3/2005

Abmessungen
PhoeniXL 300 Modul in mm
und inch (in Klammern).
Dimensions PhoeniXL 300
Modul in mm and inches (in
brackets).
Abb. 3 Abmaße PhoeniXL 300 Modul (Netzanschluß- und Unterseite)
Allgemeines
GA10218_0201 - 3/2005 ⏐ 109

110⏐
Allgemeines
Abb. 4 CE-Erklärung
GA10218_0201 - 3/2005

EUROPA
Deutschland:
Leybold Vacuum
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Telefon: +49-221-
347-1234
Telefax: +49-221-
347-1245
www.leybold.com
sales@leybold.com
Leybold Vacuum
Service Center
Emil-Hoffmann-
Straße 43
50996 Köln-Sürth
service@leybold.com
Tel: 0221-347 14 39
Fax: 0221-347 19 45
Belgien:
Leybold Vacuum
Nederland B.V.
Belgisch bijkantoor
Leuvensesteenweg
542, 9A
1930 Zaventem
info@leybold.be
Vertrieb:
Tel.: +32-2-711 00 83
Fax: +32-2-720 83 38
Service:
Tel.: +32-2-711 00 82
Fax: +32-2-720 83 38
Frankreich:
Leybold Vacuum
France S.A.
7, Avenue du Quebec
Z.A. de Courtaboeuf,B.P.42
91942 Courtaboeuf
Cedex
leyboldvacuum@leybold.fr
Vertrieb und Service:
Tel.: +33-1-69 82 48
00
Fax: +33-1-69 07 57
38
Groß-Britannien
/
Irland:
Leybold Vacuum UK
Ltd.
Waterside Way,
Plough Lane
London SW17 0HB
Vertrieb:
sales@leybold.co.uk
Tel.: +44-20-8971
7000
Fax: +44-20-8971
7001
Service:
service@leybold.co.uk
Tel.: +44-20-8971
7030
Fax: +44-20-8971
7003
Unser weltweites Vertriebsund
Servicenetz
Italien:
Leybold Vacuum
Italia S.p.A.
8, Via Trasimeno
20128 Milano
Vertrieb:
sales@leybold.it
Tel.: +39-02-27 22 31
Fax: +39-02-27 20 96
41
Service:
service@leybold.it
Tel.: +39-02-27 22 31
Fax: +39-02-27 20 96
41
Niederlande:
Leybold Vacuum
Nederland B.V.
Computerweg 7
3542 DP Utrecht
mail@leybold.nl
Vertrieb und Service:
Tel.: +31-346-58 39
99
Fax: +31-346-58 39
90
Spanien:
Leybold Vacuum
España S.A.
C/. Huelva, 7
08940 Cornella de
Llobregat
(Barcelona)
leybold@leyboldspain.com
Vertrieb:
Tel.: +34-93-666 46
16
Fax: +34-93-666 43
70
Service:
Tel.: +34-93-666 49
51
Fax: +34-93-685 40
10
Schweden:
Leybold Vacuum
Scandinavia AB
Box 9084
40092 Göteborg
info@leybold.se
Vertrieb und Service:
Tel.: +46-31-68 84 70
Fax: +46-31-68 39 39
Schweiz/
Liechtenstein:
Leybold Vacuum
Schweiz AG
Leutschenbachstrasse
55
8050 Zürich
sales@leybold.ch
Vertrieb:
Tel.: +41-1-308 40 50
Fax: +41-1-302 43 73
Service:
Tel.: +41-1-308 40 62
Fax: +41-1-302 40 60
Leybold Vacuum Dresden GmbH
Zur Wetterwarte 50, Haus 304
D-01109 Dresden
Tel.: +49 (0) 351 88 55 00
Fax: +49 (0) 351 88 55 041
info@leybold-dresden.de
AMERIKA ASIEN
USA:
Leybold
USA Inc.
Vacuum
5700 Mellon Road
Export, PA 15632
info@leyboldvacuum.com
Vertrieb:
Eastern & Central
time zones Tel.: +1-
724-327-5700
Fax:
1217
+1-724-733-
Pacific, Mountain,
Alaskan & Hawaiian
time zones
Tel.:
9191
+1-480-752-
Fax:
9494
Service:
+1-480-752-
Tel.:
5700
+1-724-327-
Fax:
3799
+1-724-733-
Leybold Vacuum GmbH
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Tel.: +49 (0) 221 347-0
Fax: +40 (0) 221 347-1250
documentatio@leybold.com
Volksrepublik
China:
Leybold Vacuum
(Tianjin)
International Trade
Co., Ltd.
Beichen Economic
Development Area
(BEDA), Tianjin,
300400, China.
Tel.: +86-22-
26970808
Fax: +86-22-
26974061
Fax: +86-22-
26972017
leybold@leybold.com.cn
Leybold (Tianjin)
Vacuum Equipment
Manufacturing
Ltd
Co.
Beichen Economic
Development
(BEDA), Tianjin,
300400, China.
Area
Tel.:
26970808
+86-22-
Fax:
26974061,
+86-22-
Fax:
26972017
leybold@leybold.com.cn
+86-22-
Leybold (Tianjin)
Vacuum Equipment
Manufacturing
Co.Ltd.
Guangzhou Branch:
Add: G/F,#301 Building,
110 Dongguangzhuang
Rd,Tianhe
District,Guangzhou
510610, China.
Tel.:
7873
+86-20-8723-
Tel.:
7597
+86-20-8723-
Fax: +86-20-
87237875
leybold_gz@leybold.com.cn
Leybold
(Tianjin)
Vacuum
International
Co., Ltd.
Trade
Shanghai Branch:
Add: No.33, 76 Futedong
San Rd.,Waigaoqiao
Shanghai,
FTZ ,
200131, China.
Tel.:
4666
+86-21-5064-
Fax:
4668
+86-21-5064leybold_sh@leybold.com.cn
Japan:
Vertrieb:
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Head Office
Tobu A.K.Bldg.
4th Floor 23-3,
Shin-Yokohama 3chome
Kohoku-ku, Yokohama-shi
Kanagawa-ken 222-
0033
Tel.: +81-45-4713330
Fax: +81-45-4713323
Vertrieb:
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Osaka Branch Office
MURATA Bldg.7F
2-7-53, Nihi-Miyahara,
Yodogawa-ku
Osaka-shi 532-0004
Tel.: +81-6-6393-
5211
Fax: +81-6-6393-
5215
Service:
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Tsukuba Technical
S.C.
Tsukuba Minami
Daiichi
Kogyo Danchi
21, Kasumi-no-Sato,
Ami-machi nashikigun
Ibaraki-ken, 300-
0315
Tel.: +81-298-89-
2841
Fax: +81-298-89-
2838
Korea:
Leybold Vacuum
Korea Ltd.
#761-47, Yulkeum-ri,
SungHwan-eup,
Chonan
Choongchung-
Namdo,
330-807, Korea
Vertrieb:
Tel.: +82-41-580-
4431
Fax: +82-41-588-
3737
Service Center:
Tel.: +82-41-588-
3765
Fax: +82-41-588-
3769
Singapur:
Leybold Vacuum
Singapore Pte Ltd.
No.1,
International Business
Park,
B1-20B, The Synergy
Singapore 609917
Tel.: +65-66652910
Fax: +65-65668202
vacuum@leybold-
www.leybold.com
vac.com.sg
Taiwan:
Leybold Vacuum
Taiwan Ltd.
2F, No 416-1, Sec.3
Chung-Hsin Rd.,
Chu-Tung
Hsin-Chu, Taiwan,
R.O.C.
Tel.: +886-3-5833988
Fax: +886-3-5833999